用于检测晶片中的微裂纹的方法和系统技术方案

一种检查方法包括以下步骤：接收大体上沿第一轴从晶片的第一表面发出的光，以据此获得第一表面的第一图像，该晶片具有在其中形成的裂纹，并且第一图像包含裂纹的至少一个部分。该检查方法还包括以下步骤：接收大体上沿第二轴从晶片的第一表面发出的光，以据此获得第一表面的第二图像，第二图像包含裂纹的至少一个第二部分，第一表面与一平面大体上平行地延伸，并且第一轴在该平面上的正投影大体上垂直于第二轴在该平面上的正投影。该检查方法还包括以下步骤：根据第一图像中的裂纹的所述至少一个第一部分和第二图像中的裂纹的至少一个第二部分而构建第三图像。更具体地说，第三图像能够大体上处理以检查晶片中的裂纹。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体上涉及用于物体的检查的装置和方法，具体地说，本专利技术涉及一种用 于检查晶片的缺陷的装置和方法。
技术介绍
太阳能电池制造商例行地对其太阳能晶片执行检查。这是为了保证将任何有缺陷 的晶片识别出来以控制太阳能电池的质量。太阳能晶片是在制造太阳能电池时一般使用的硅晶体的薄片。太阳能晶片用作太 阳能电池的基板并且在成为实用的太阳能电池之前经历例如淀积、刻蚀和构图的一系列制 造工艺。因此，为了提高产出率并降低生产费用，从制造工艺的开始起就维护太阳能电池晶 片的质量是非常重要的。微裂纹是在太阳能晶片中的常见缺陷，由于一些微裂纹对于肉眼甚至对光学显微 镜来说都是不可见的，因此检测微裂纹极其困难。一种检测太阳能晶片中的微裂纹的方法 涉及了红外成像技术的使用。太阳能晶片由高纯度的硅制成，并且太阳能晶片在可见光下 表现为不透明。但是，由于硅的带隙能级，当利用具有大于1127nm的波长的光照射太阳能 晶片时，太阳能晶片表现为透明。具有1127nm的波长的光被归类为近红外线(NIR)辐射。NIR对于肉眼是不可见 的，但是可以被大多数市售的CCD或CMOS红外相机检测到。红外光源的例子为发光本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种检查方法，该检查方法包括以下步骤：接收大体上沿第一轴从晶片的第一表面发出的光，以据此获得所述第一表面的第一图像，所述晶片具有形成在其中的裂纹，所述第一图像包含所述裂纹的至少一个部分；接收大体上沿第二轴从所述晶片的所述第一表面发出的光，以据此获得所述第一表面的第二图像，所述第二图像包含所述裂纹的至少一个第二部分，所述第一表面与一平面大体上平行地延伸，并且所述第一轴在所述平面上的正投影大体上垂直于所述第二轴在所述平面上的正投影；以及根据所述第一图像中的所述裂纹的所述至少一个第一部分和所述第二图像中的所述裂纹的所述至少一个第二部分来构建第三图像，其中，所述第三图像大体上能够处理以检查所述晶片...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾淑玲，
申请(专利权)人：布鲁星企业私人有限公司，
类型：发明
国别省市：SG