用于监测电子束强度的方法和装置制造方法及图纸

技术编号:7127079 阅读:234 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术所述方法和装置用于监测电子束的强度。为了探测所述电子束强度的变化,探测和评估所述电子束直接或间接产生的电磁辐射。这尤其是指紫外线辐射和/或可见光范围内的辐射。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
1.用于监测电子束强度的方法,其特征在于,探测和评估由电子束直接或间接产生的电子辐射或者电磁辐射,以便探测所述电子束强度的变化。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:G·凯尔
申请(专利权)人:KHS有限责任公司
类型:发明
国别省市:DE

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