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本发明所述方法和装置用于监测电子束的强度。为了探测所述电子束强度的变化，探测和评估所述电子束直接或间接产生的电磁辐射。这尤其是指紫外线辐射和／或可见光范围内的辐射。...
该专利属于ＫＨＳ有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＫＨＳ有限责任公司授权不得商用。

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