【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及相干阵列激光合束的高功率激光器和高光束质量的无机械光束扫描系统，特别是一种基于衍射光学元件分束、合束和电控相控阵器件的高功率单主瓣光学 相控阵扫描装置及方法。
技术介绍
随着激光应用技术的发展，在激光雷达等领域需要高功率、高质量和高亮度的激光束，而且朝着小型化、全固态化、大功率化方向发展。一般来说，从单个激光器获得的输出功率是很有限的，建立高功率激光系统的一种有效的技术方案是使用激光器阵列，并且要求从阵列元件中输出的所有光束能够相干合成为单一光束。其中采用衍射光学元件具有衍射效率高、体积小、调节方便和可以大量复制等特点，受到国内外研究者的广泛关注。同时， 在激光雷达、激光通信等领域应用方面，为了能够快速有效的捕获跟踪空间远距离目标，需要扫描速度快和扫描精度高的激光光束扫描器，通常的激光光束扫描器大多采用机械扫描原理，缺点是受机械传动精度影响，扫描精度低，而且扫描速度慢，扫描系统体积大，难以微小化集成。非机械式的激光光束扫描器由于体积小、惯性小、扫描响应速度高和可靠性好等优点受到人们的青睐。在高功率高质量的相干阵列激光合束方面，人们提出了多种技术方案...
【技术保护点】
１．一种高功率高光束质量光学相控阵扫描装置，其特征在于该装置依次由主振激光器（１）、达曼光栅分束器（２）、第一傅立叶透镜（３）、电控相控阵（４）、第二傅立叶透镜（５）、激光放大器阵列（６）、达曼输入相位平板（７）、第三傅立叶透镜（８）和合束相位补偿器（９）构成，所述的达曼光栅分束器（２）和电控相控阵（４）分别置于所述的第一傅立叶透镜３的物面和频谱面上；所述的电控相控阵（４）和激光放大器阵列（６）的前端面分别放置于第二傅立叶透镜（５）的物面和频谱面上；所述的达曼输入相位平板（７）和合束相位补偿器（９）分别放置于所述的第三傅立叶透镜（８）的物面和频谱面上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：闫爱民，刘立人，孙建锋，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31
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