流体系统、保持机构和中间支承件技术方案

本发明专利技术提供流体系统、保持机构和中间支承件，该流体系统即使采用共通的中间支承件，也不会增加中间支承件的部件数量，可以使结构简化。流体系统包括：流体回路装置，通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态；以及保持机构，用于保持所述流体回路装置，所述保持机构包括：基座构件；以及中间支承件，介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及流体系统、保持机构和中间支承件，该流体系统包括流体回路装置， 通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态；以及保持机构，用于保持所述流体回路装置。
技术介绍
在用于半导体制造工序等的流体回路装置中，具有如下结构的装置纵横配置多个流体设备，并利用配管和管接头连接相邻的各流体设备，使配管的高度一致。例如利用保持机构保持这种流体回路装置，该保持机构具有像基板那样的基座构件和像托架那样的中间支承件，通过中间支承件将流体设备的底面和基座构件固定在一起。然而，由于流体设备的种类不同，从流体设备的底面到固定在流体设备上的配管的高度不同。在这种情况下，根据该高度差，通过改变中间支承件的高度，来使配管的高度一致。因此，根据流体设备的种类，需要使用不同高度的中间支承件。对此，如专利文献1 (日本专利公开公报特开2009-264587号)所示，可以考虑如下的流体设备安装结构不在流体设备上安装中间支承件，而是在固定于流体设备的配管上安装中间支承件(专利文献1中称为支承装置)。按照这种结构，可以使用相同高度的共通的中间支承件，来使配管的高度一致。然而，由于难以在配管上设置螺钉孔，所以利用螺钉等将中间支承件直接安装在配管上的情况并不现实。因此，在专利文献1记载的专利技术中，由两个构件构成中间支承件， 由上述各构件夹持配管(参照段落0087、0088和图6)。即，在将中间支承件安装在配管上的情况下，由于需要使中间支承件具有特殊结构，来夹持配管或外嵌在配管上，所以导致部件数量增加或使结构复杂化。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供流体系统、保持机构和中间支承件，该流体系统即使采用共通的中间支承件，也不会增加中间支承件的部件数量，可以使结构简化。S卩，本专利技术提供一种流体系统，其包括流体回路装置，通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态；以及保持机构，用于保持所述流体回路装置，所述流体系统的特征在于，所述保持机构包括基座构件；以及中间支承件，介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接。按照这种结构，由于将中间支承件安装在管接头上，所以不需要使用高度不同的中间支承件，与专利文献1相同，可以使用共通的中间支承件。此外，例如管接头壁厚较厚， 在此处设置螺钉孔并不困难，所以即使中间支承件为柱状件等简单结构，也可以利用螺钉简单地将该中间支承件直接安装在管接头上。此外，例如在将中间支承件安装在管接头和基座构件上之后，利用管接头连接流体设备，或者是在利用管接头连接流体设备之后，将中间支承件安装在管接头和基座构件上，可以根据安装状况选择适当的安装顺序，从而可以提高作业性。此外，在配管作业后，例如在阀那样的流体设备堵塞等情况下，为了维修或更换而装拆流体设备时，以往需要分别装拆中间支承件和管接头，并且还需要保持管接头，以防止取下后的管接头落下，从而导致比较麻烦。而在本专利技术中，由于将中间支承件安装在管接头上，所以不需要装拆中间支承件，仅装拆管接头即可。并且由于该管接头与基座构件连接，所以不需要进行保持来防止其脱落。因此，当进行维修或更换作业时，可以容易地取下和安装流体设备。为了提高配管的配置自由度，优选的是，所述中间支承件使所述管接头转动自如地与所述基座构件连接。所述中间支承件以至少在规定范围内能够改变姿势或能够移动的方式，带有间隙地安装在所述基座构件上。按照这种结构，可以通过所述间隙，来消除流体设备、配管或管接头的尺寸误差。所述基座构件形成有第一滑动槽和第二滑动槽，所述中间支承件的另一个端部与所述第一滑动槽和所述第二滑动槽滑动嵌合，所述第二滑动槽从所述第一滑动槽朝向与所述第一滑动槽的延伸方向不同的方向分路。按照这种结构，例如即使因增加流体设备而改变管接头的配置的情况下，也可以使安装管接头后的中间支承件沿第一滑动槽移动，来改变管接头的配置，从而可以充分地利用共通的基座构件。此外，当仅在第一滑动槽中配置有中间支承件时，由于流体回路装置会沿第一滑动槽移动，所以需要另外设置用于固定流体回路装置的构件。但是，由于设置有沿与第一滑动槽不同的方向延伸的第二滑动槽，所以通过配置在第一滑动槽和第二滑动槽中的中间支承件来安装基座构件和管接头，不需要另外设置用于固定的构件，就可以固定流体回路装置。为了简单地安装或取下中间支承件，优选的是，在所述第一滑动槽或所述第二滑动槽中设置有宽幅部，所述宽幅部的尺寸能够使所述中间支承件的另一个端部穿过。所述基座构件具有呈长条矩形的多个板体，所述板体相互隔开间隔配置，所述间隔形成所述第一滑动槽，并且所述第二滑动槽形成在所述板体上。按照这种结构，可以通过增加板体来增设各滑动槽、通过除去板体来减少各滑动槽、或者是通过改变板体来改变第二滑动槽的位置等。作为具体的实施方式可以例举的是所述中间支承件基本为柱状，在其侧周面上设置有槽，所述槽与形成所述第一、第二滑动槽的所述板体嵌合。为了进一步提高作业性，优选的是，所述管接头包括一连串的单元构件，相邻的各单元构件以能够转动的方式相互连接；以及连结件，连接两端的单元构件，使所述一连串的单元构件成为环状，所述管接头外嵌在一对配管的相对的端部上，并且通过牢固地固定所述连结件，来串联连接各所述配管，所述中间支承件安装在位于底部的所述单元构件上。 以往，当在配管上安装管接头时，作业者必须保持管接头，但是按照这种结构，可以在将管接头底部的单元构件保持在基座构件上之后，利用管接头连接配管，从而在配管作业时不需要保持管接头。本专利技术还提供一种保持机构，该保持机构与流体回路装置一起使用，所述流体回路装置通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态，所述保持机构的特征在于包括基座构件；以及中间支承件，介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接， 并保持所述流体回路装置。本专利技术还提供一种中间支承件，该中间支承件与流体回路装置和基座构件一起使用，所述流体回路装置通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态，所述基座构件用于保持所述流体回路装置，所述中间支承件的特征在于，所述中间支承件介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接。因此，按照本专利技术，即使采用共通的中间支承件，也不会增加中间支承件的部件数量，可以使结构简化。附图说明图1是本专利技术实施方式的流体系统的侧视图。图2是同一实施方式的流体系统的俯视图。图3是同一实施方式的管接头的分解图。图4是表示同一实施方式的管接头的固定状态的图。图5是同一实施方式的管接头的沿A-A线的纵剖视图。图6是表示同一实施方式的管接头的打开状态的图。图7是同一实施方式的基座构件的整体立体图。图8是同一实施方式的中间支承件的整体立体图。图9是表示同一实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种流体系统，其包括：流体回路装置，通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态；以及保持机构，用于保持所述流体回路装置，所述流体系统的特征在于，所述保持机构包括：基座构件；以及中间支承件，介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：林达也，金丸隆史，桥本雄一郎，
申请(专利权)人：伊原科技株式会社，株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：JP