【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如在半导体制造工序等中使用的流体控制系统以及构筑该系统的阀模块(valve module)。
技术介绍
1、如专利文献1所示，作为以往的流体控制系统，有在流体流动的流路设置有各种流体设备的系统。
2、更具体地进行说明，如图8所示，例如串联地配置形成有v形或コ形的内部流路的多个块，并且在这些块配置有作为上述流体设备的手动阀、过滤器、减压阀、压力计、二通阀、三通阀、质量流量控制器等，由此形成一条流路。
3、另外，这样使用各种阀作为流体设备用于进行工艺所需的流体的开闭、混合、稀释、吹扫。更具体而言，为了进行利用控制器的远程操作，需要能够自动控制的二通气动阀、三通气动阀，另一方面，从安全性的观点出发，为了使作业者确认想要实施的工艺所需的流体的种类后使流体流动，需要手动阀。
4、然而，近年来，伴随晶片的大型化、多室化，有时需要例如十多条上述流路，为了将这样的系统设置在有限面积的无尘室等中，要求占用空间的小型化。
5、但是，上述流体控制系统由于通过将流体设备一个一个地安装到块来形成流路，所以根据该块的配置的自由度，流体设备的配置存在限制，占用空间的小型化存在限度。
6、现有技术文献
7、专利文献
8、专利文献1：日本专利公开公报特开2002-89798号
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题
2、因此，本专利技术的主要目的在于提供一种有助于流体控制系统的飞跃性性的紧凑化的以往
3、用于解决技术问题的技术方案
4、即，本专利技术的流体控制系统，其特征在于，具备：质量流量控制器；一对块，架设有所述质量流量控制器，并且形成有内部流路；以及阀，安装于所述一对块中的一方，配置在所述内部流路上，所述阀安装于所述一方的块中与另一方的块对置的对置面，配置在由该对置面和所述质量流量控制器的底面包围的空间内。
5、根据这样构成的流体控制系统，由于能够利用如果是以往则为死空间的被块以及质量流量控制器包围的空间，所以能够实现系统的飞跃性的紧凑化。
6、作为更具体的实施方式，可以举出如下的方式：所述一方的块形成有与所述内部流路不同的第二内部流路，所述阀是选择性地使在所述内部流路中流动的流体或在所述第二内部流路中流动的流体中的任一方流通的三通阀。
7、优选为，所述流体控制系统还具备其他阀，所述其他阀安装在所述一方的块的安装有所述质量流量控制器的第一设备安装面。
8、这样一来，能够将作为上述三通阀的功能与其他阀的功能模块化。
9、优选为，所述其他阀具备：自动开关阀，通过接受来自于动力源的动力使阀芯动作而切换成打开状态或关闭状态；以及手动操作部，通过手动操作在按压所述阀芯而限制该阀芯的动作的锁定状态与解除所述限制而允许所述阀芯的动作的锁定解除状态之间进行切换。
10、根据这样构成的阀模块，如果将手动操作部切换成锁定状态而按压阀芯，则能够将自动开关阀保持为关闭状态，如果将手动操作部切换成锁定解除状态而允许阀芯的动作，则能够使自动开关阀成为能够开闭的状态。
11、这样，由于手动操作部恰如手动阀那样发挥功能，所以能够用一个阀模块提供自动开关阀与手动阀的双方的功能。
12、由此，通过使用该阀模块构筑流体控制系统，与将自动开关阀、手动阀一个一个地安装于块的以往构成相比，能够实现系统的飞跃性的紧凑化。
13、优选为，所述流体控制系统具备过滤器，所述过滤器设置于所述一方的块的所述内部流路。
14、这样一来，也能够将过滤器组装到阀模块，不仅能够使阀模块化而且也能够使各种流体设备模块化。
15、另外，本专利技术的阀模块，其特征在于，所述阀模块具备：架设有质量流量控制器并且形成有内部流路的一对块中的一方；以及阀，安装于所述一方的块，配置在所述内部流路上，所述阀安装于所述一方的块中与另一方的块对置的对置面，配置在由该对置面和所述质量流量控制器的底面包围的空间内。
16、根据这样构成的阀模块，能够实现与上述流体控制系统同样的作用效果，即，能够利用如果是以往则为死空间的被块以及质量流量控制器包围的空间，从而能够实现系统的飞跃性的紧凑化。
17、专利技术效果
18、根据上述本专利技术，能够实现流体控制系统的飞跃性的紧凑化。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种流体控制系统，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的流体控制系统，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的流体控制系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的流体控制系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的流体控制系统，其特征在于，
6.一种阀模块，其特征在于，具备：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种流体控制系统，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的流体控制系统，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的流体控制系统，其特征在于，
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。