下载流体控制系统以及阀模块的技术资料

文档序号:40197625

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本发明提供流体控制系统以及阀模块。为了实现流体控制系统的飞跃性的紧凑化,流体控制系统具备:质量流量控制器(MFC);一对块(10、20),架设有质量流量控制器(MFC),并且形成有内部流路;以及阀(50),安装于一对块(10、20)中的一方...
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