【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及构筑例如在半导体制造工艺等中使用的流体控制系统的阀模块(valve module)。
技术介绍
1、如专利文献1所示，作为以往的流体控制系统，有在流体流动的流路设置有各种流体设备的系统。
2、更具体地进行说明，如图8所示，例如串联地配置形成有v形或コ形的内部流路的多个块，并且在这些块配置有作为上述流体设备的手动阀、过滤器、减压阀、压力计、二通阀、三通阀、质量流量控制器等，由此形成一条流路。
3、另外，这样使用各种阀作为流体设备用于进行工艺所需的流体的开闭、混合、稀释、吹扫。更具体而言，为了进行利用控制器的远程操作，需要能够自动控制的二通气动阀、三通气动阀，另一方面，从安全性的观点出发，为了使作业者确认想要实施的工艺所需的流体的种类后使流体流动，需要手动阀。
4、然而，近年来，伴随晶片的大型化、多室化，有时需要例如十多条上述流路，为了将这样的系统设置在有限面积的无尘室等中，要求占用空间的小型化。
5、但是，上述流体控制系统由于通过将流体设备一个一个地安装到块来形成流路，所以根据该块的配置的自由度，流体设备的配置存在限制，占用空间的小型化存在限度。
6、现有技术文献
7、专利文献
8、专利文献1：日本专利公开公报特开2002-89798号
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题
2、因此，本专利技术的主要目的在于提供一种有助于流体控制系统的飞跃性的紧凑化的以往没有的新的阀
3、用于解决技术问题的技术方案
4、即，本专利技术的阀模块，对流体流动的流路进行开闭，其特征在于，具备：自动开关阀，通过接受来自于动力源的动力使阀芯动作而切换成打开状态或关闭状态；以及手动操作部，通过手动操作在按压所述阀芯而限制该阀芯的动作的锁定状态与解除所述限制而允许所述阀芯的动作的锁定解除状态之间进行切换。
5、根据这样构成的阀模块，如果将手动操作部切换成锁定状态而按压阀芯，则能够将自动开关阀保持为关闭状态，如果将手动操作部切换成锁定解除状态而允许阀芯的动作，则能够使自动开关阀成为能够开闭的状态。
6、这样，由于手动操作部恰如手动阀那样发挥功能，所以能够用一个阀模块提供自动开关阀与手动阀的双方的功能。
7、由此，通过使用该阀模块构筑流体控制系统，与将自动开关阀、手动阀一个一个地安装于块的以往构成相比，能够实现系统的紧凑化。
8、可以举出具备安装有所述自动开关阀并且形成有与所述流路连接的内部流路的块的方式。
9、这样一来，通过在该块安装其他流体设备，能够实现系统的进一步的紧凑化。
10、优选为，所述块形成有与所述内部流路不同的第二内部流路，所述阀模块还具备三通阀，所述三通阀安装于所述块并且选择性地使在所述内部流路中流动的流体或在所述第二内部流路中流动的流体中的任一方流动。
11、这样一来，能够使作为手动阀、二通阀以及三通阀的功能模块化。
12、优选为，所述块与形成有内部流路的另一块一起架设有质量流量控制器，所述三通阀或所述自动开关阀安装于所述块中与所述另一块对置的对置面，配置在由该对置面和所述质量流量控制器的底面包围的空间内。
13、这样一来，能够利用如果是以往则是死空间的被块以及质量流量控制器包围的空间，能够实现系统的飞跃性的紧凑化。
14、优选为，所述阀模块具备过滤器，所述过滤器设置于所述块的所述内部流路。
15、这样一来，能够将过滤器组装到阀模块，不仅能够使阀模块化而且也能够使各种流体设备模块化。
16、优选为，所述自动开关阀是被供给空气作为使所述阀芯动作的动力的气动阀。
17、这样一来，则与可能发生电噪声的电磁阀不同，本专利技术的阀模块有助于半导体制造工艺。
18、优选为，所述自动开关阀具备：筒状的壳体，在内部收纳所述阀芯；以及空气导入部件，设置在所述壳体的周围，在外周面形成有供给空气的空气供给口，所述空气导入部件能够绕所述壳体旋转。
19、如果是这样的构成，则即使在具备多条管线的作业空间狭小的流体控制系统中，通过使空气导入部件绕壳体旋转，也能够从所希望的方向供给空气，安装性以及维护性好。
20、优选为，所述自动开关阀具备多个所述阀芯。
21、能够将这样的自动开关阀保持为小型，并且能够得到大的驱动力。
22、专利技术效果
23、根据上述本专利技术，能够实现流体控制系统的飞跃性的紧凑化。
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1.一种阀模块，对流体流动的流路进行开闭，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的阀模块，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的阀模块，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的阀模块，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的阀模块，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的阀模块，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的阀模块，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的阀模块，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种阀模块，对流体流动的流路进行开闭，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的阀模块，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的阀模块，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的阀模块，其特征在于，<...
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