【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光伏多晶硅切割
,涉及一种多晶硅剖方工艺和硅锭翻转机构。
技术介绍
光伏多晶硅是硬而脆的贵金属,熔炼后的铸锭重达上吨,要制成0. 2毫米厚的晶片,中途还有个剖方工序,就是将铸锭切割成长方体,业内俗称“剖方”。现有技术的剖方工艺是将硅锭底部粘结在平台上,切割方向都是从上面向下进行切割,由于硅锭是定向长晶,上表面凹凸不平,钢丝切割线在初始接触铸锭时,多数会在凸起影响下产生左右滑移,导致切割钢丝直线度不够,尺寸误差较大,剖方大小不一致,导致下一切片工序时, 边缘几块晶片报废;硅锭底部是快速结晶区,晶界密集,内应力集中,在剖方过程中,由于砂浆密度、粘度、流量、温度、线速度及外界环境的震动、温度、湿度等影响,将这种应力的作用放大,导致裂纹沿切割缝迅速延伸、出现蹦裂。硅锭是用粘结剂固定在切割底板上的, 粘锭时温度过高或打胶不均勻,都会加剧裂纹产生,所以硅锭切方后出现的裂纹多见于硅锭底部。现有技术的硅锭翻转装置是用箱体盛放硅锭,然后把箱体翻转180度,把硅锭倒出来。硅锭要顺利地放入箱体,势必要在箱体四周留有一定的间隙,在翻转过程中,硬脆而笨重的硅锭侧面会和 ...
【技术保护点】
1.一种多晶硅剖方工艺,其特征在于包括下述步骤:将硅锭进行180度翻转,使其底部朝上;将铸锭时形成的上表面用粘结剂固定在切割台上,在铸锭时形成的硅锭底部开始进行线切割;在初始切割的80MM范围内用低速进给进行切割,进给速度为正常速度的60-80%,然后逐步加速至正常速度进给切割。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:孟高祥,袁华均,傅建根,朱卫峰,孙力峰,
申请(专利权)人:浙江精功新能源有限公司,
类型:发明
国别省市:33
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