一种多晶硅剖方工艺和硅锭翻转机构制造技术

技术编号:7054205 阅读:511 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种多晶硅剖方工艺包括下述步骤:将硅锭进行180度翻转,在硅锭底部开始进行线切割。在初始切割的80mm范围内用低速进给进行切割,然后逐步加速至正常速度进给切割。硅锭翻转机构的左翻转臂和右翻转臂都销接在机座上,在液压传动装置作用下可以沿销轴摆动,调节托架的上面有软垫层,用来保护铸锭表面不被划伤,调节托架下部有高度调节螺丝。由于翻转臂设计成开放式平台,对硅锭的大小适应范围广,而且在液压系统操控下,在翻转过程中没有滑移,不会造成对硅锭的磕碰损伤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光伏多晶硅切割
,涉及一种多晶硅剖方工艺和硅锭翻转机构
技术介绍
光伏多晶硅是硬而脆的贵金属,熔炼后的铸锭重达上吨,要制成0. 2毫米厚的晶片,中途还有个剖方工序,就是将铸锭切割成长方体,业内俗称“剖方”。现有技术的剖方工艺是将硅锭底部粘结在平台上,切割方向都是从上面向下进行切割,由于硅锭是定向长晶,上表面凹凸不平,钢丝切割线在初始接触铸锭时,多数会在凸起影响下产生左右滑移,导致切割钢丝直线度不够,尺寸误差较大,剖方大小不一致,导致下一切片工序时, 边缘几块晶片报废;硅锭底部是快速结晶区,晶界密集,内应力集中,在剖方过程中,由于砂浆密度、粘度、流量、温度、线速度及外界环境的震动、温度、湿度等影响,将这种应力的作用放大,导致裂纹沿切割缝迅速延伸、出现蹦裂。硅锭是用粘结剂固定在切割底板上的, 粘锭时温度过高或打胶不均勻,都会加剧裂纹产生,所以硅锭切方后出现的裂纹多见于硅锭底部。现有技术的硅锭翻转装置是用箱体盛放硅锭,然后把箱体翻转180度,把硅锭倒出来。硅锭要顺利地放入箱体,势必要在箱体四周留有一定的间隙,在翻转过程中,硬脆而笨重的硅锭侧面会和金属箱体发生滑移磕碰本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅剖方工艺,其特征在于包括下述步骤:将硅锭进行180度翻转,使其底部朝上;将铸锭时形成的上表面用粘结剂固定在切割台上,在铸锭时形成的硅锭底部开始进行线切割;在初始切割的80MM范围内用低速进给进行切割,进给速度为正常速度的60-80%,然后逐步加速至正常速度进给切割。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孟高祥袁华均傅建根朱卫峰孙力峰
申请(专利权)人:浙江精功新能源有限公司
类型:发明
国别省市:33

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