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一种多晶硅剖方工艺包括下述步骤：将硅锭进行180度翻转，在硅锭底部开始进行线切割。在初始切割的80mm范围内用低速进给进行切割，然后逐步加速至正常速度进给切割。硅锭翻转机构的左翻转臂和右翻转臂都销接在机座上，在液压传动装置作用下可以沿销轴摆...
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