夹持装置、输送装置、处理装置和电子设备的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供夹持装置、输送装置、处理装置和电子设备的制造方法。夹持装置具有夹持部，所述夹持部包括：第一夹持板，具有与被处理物的周向边缘抵接的第一夹持件；以及第二夹持板，具有与所述周向边缘抵接的第二夹持件，并且所述夹持部使所述第一夹持板和所述第二夹持板中的至少一个移动，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件彼此接近或离开。夹持装置还包括：升降部，使所述夹持部升降；以及动作控制部，控制由所述夹持部进行的开闭动作和由所述升降部进行的升降动作。而且，所述动作控制部以机械方式依次控制第一升降动作、所述开闭动作和第二升降动作，所述第二升降动作与所述第一升降动作的升降方向相同。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
半导体装置或平板显示器等电子设备的制造过程中，在多个被处理物(例如晶片或玻璃基板等)被收纳于专用容器或盒等收纳部中的状态下，进行输送或供给等。在使用这种收纳部的制造过程中，取出收纳在收纳部中的未处理的被处理物并对其进行处理，并且将处理后的被处理物再次收纳到收纳部中。作为能够有效地对这种被处理物进行交接(取出或收纳等)的装置，公知的是一种在上下方向上具有多个臂的输送装置(例如参照专利文献1 日本专利公开公报特开2008-178924号)。在这种输送装置中，臂共用升降部以使多个臂同时升降。因此，当在多个交接位置上交接被处理物时，不能利用多个臂同时交接被处理物，需要一个一个地交接被处理物。在这种情况下，如果多个臂分别设置升降部，则在多个交接位置上可以同时交接被处理物。但是，在臂上设置有夹持被处理物的夹持装置，如果与其独立地设置被另外驱动的升降部，则导致机构复杂化且使重量变大。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供可以使机构简单化、轻量化的。本专利技术的夹持装置使夹持板进行开闭动作来夹持被处理物的周向边缘。此外，夹持装置具有夹持部，所述夹持部包括第一夹持板，具有与所述周向边缘抵接的第一夹持件；以及第二夹持板，具有与所述周向边缘抵接的第二夹持件，并且所述夹持部使所述第一夹持板和所述第二夹持板中的至少一个移动，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件彼此接近或离开。此外，夹持装置还包括升降部，使所述夹持部升降；以及动作控制部，控制由所述夹持部进行的开闭动作和由所述升降部进行的升降动作。所述动作控制部以机械方式依次控制第一升降动作、所述开闭动作和第二升降动作，所述第二升降动作与所述第一升降动作的升降方向相同。此外，本专利技术的输送装置包括上述夹持装置；以及移动部，使所述夹持装置的位置变化。此外，本专利技术的处理装置包括输送装置，所述输送装置包括上述夹持装置；以及移动部，使所述夹持装置的位置变化；收纳部，以层叠方式收纳多个被处理物；以及处理部，对所述被处理物进行处理。此外，本专利技术的电子设备的制造方法包括如下工序利用上述夹持装置从收纳部中取出未处理的被处理物；对从所述收纳部中取出的所述未处理的被处理物进行处理；以及利用所述夹持装置将进行所述处理后的被处理物收纳在所述收纳部中。按照本专利技术，由于利用共用的驱动部，来进行被处理物的夹持/放开动作和被处理物的升降动作，所以可以实现机构的简单化、轻量化。此外，由于能够以机械方式控制夹持/放开动作和升降动作的顺序，所以不会产生不必要的时间延迟，并且可以高速且精确地进行动作。因此，可以缩短交接被处理物所需要的时间，从而可以提高生产性。附图说明图1是用于举例说明本实施方式的夹持装置的示意性立体图。图2是用于举例说明本实施方式的夹持装置的示意性分解图。图3A 图3E是用于举例说明比较例的交接方式的示意图。图4A 图4D是用于对夹持装置的作用进行举例说明的示意图。图5A 图5D是用于对夹持装置的作用进行举例说明的示意图。图6A 图6D是用于对夹持装置的作用进行举例说明的示意图。图7是用于举例说明本实施方式的输送装置的示意性立体图。图8A 图8C是用于举例说明本实施方式的输送装置中被处理物的交接方式的示意图。图9是用于对本实施方式的处理装置进行举例说明的示意图。图10是用于举例说明本实施方式的处理装置中被处理物的交接方式的示意图。 图IOA表示承载部的最上层一侧的交接，图IOB表示承载部的中层的交接，图IOC表示承载部的最下层一侧的交接。具体实施例方式下面参照附图，对实施方式进行举例说明。另外，在各附图中，相同的结构要素采用相同的附图标记，适当地省略了详细说明。图1是用于举例说明本实施方式的夹持装置的示意性立体图。图2是用于举例说明本实施方式的夹持装置的示意性分解图。图3是用于举例说明比较例的交接方式的示意图。另外，图1、图2中的箭头X、Y、Z表示相互垂直的三个方向，例如，X、Y表示水平方向，Z表示铅垂方向。首先，举例说明比较例的交接方式。图3作为一个例子表示了一系列的处理作业的中途阶段。例如表示一系列的处理作业中所进行的承载部55(参照图8)中的被处理物W的交接方式。这种情况下，在承载部55的上部承载有处理后的被处理物W，在承载部55的下部承载有未处理的被处理物W。此外，输送装置在处理部和承载部55之间输送被处理物W，在该输送装置上设置有臂101、102。另外，臂101设置在臂102的上方，具有用于夹持被处理物W的未图示的夹持装置。此外，臂101、102共同使用设置在输送装置上的未图示的升降部，使臂101、102同时升降。臂101、102通过输送装置被定位于承载部55的前方，开始交接被处理物W。首先，如图3A所示，利用未图示的升降部，对夹持有处理后的被处理物W的臂101的高度方向的位置进行定位。此时，处理后的被处理物W的下表面位置被定位于比承载部 55的用于保持该被处理物W的保持部90的上表面位置稍高的位置上。这样，通过使臂101暂时停止并定位于保持部90上方的规定位置上，当将被处理物W放置到保持部90上时，可以减少被处理物W和保持部90接触时的冲击。因此，当将被处理物W放置到保持部90上时，可以抑制被处理物W跳动或位置偏移。接着，如图:3B所示，使臂101向承载部55的方向移动。插入到承载部55内部的被处理物W的下表面位置被定位于比保持部90的上表面位置稍高的位置上。然后，放开对被处理物W的夹持，通过未图示的升降部使臂101下降，将处理后的被处理物W放置到保持部90上。此时，臂101继续下降，被定位于放置有处理后的被处理物W的保持部90和在下方与其相邻的保持部90之间的位置上。接着，如图3C所示，使臂101向离开承载部55的方向移动。接着，如图3D所示，为了将未处理的被处理物W从承载部55中取出，对臂102的高度方向的位置进行定位。此时，臂102被定位在如下位置上使放置在承载部55中的未处理的被处理物W的下表面和臂102之间具有微小的间隙。这样，通过使臂102暂时停止并定位于保持部90下方的规定位置上，当由臂102 保持被处理物W时，可以减少被处理物W和臂102接触时的冲击。因此，当由臂102保持被处理物W时，可以抑制被处理物W跳动或位置偏移。然后，使臂102向承载部55的方向移动。插入到承载部55内部的臂102被定位于未处理的被处理物W的下方。此后，通过未图示的升降部使臂102上升，将未处理的被处理物W承载在臂102上。此时，臂102继续上升，被定位于放置有接收到的未处理的被处理物W的保持部90和在上方与其相邻的保持部90之间的位置上。承载在臂102上的未处理的被处理物W被未图示的夹持装置夹持。接着，如图3E所示，使臂102向离开承载部55的方向移动。由此，对处理后的被处理物W和未处理的被处理物W进行交接。另外，也能够以相同的动作交接处理部中的处理后的被处理物W和未处理的被处理物W。这样，臂101、102共同使用设置在输送装置上的未图示的升降部，使臂101、102同时升降。因此，当在两个保持部90中交接被处理物W时，如图3举例说明的那样，需要一个一个地交接被处理物W。在这种情况下，如果每个臂101、102都设置升降部，则可以在两个保持部90中同时交接被处本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种夹持装置，使夹持板进行开闭动作来夹持被处理物的周向边缘，所述夹持装置的特征在于包括：夹持部，所述夹持部包括：第一夹持板，具有与所述周向边缘抵接的第一夹持件；以及第二夹持板，具有与所述周向边缘抵接的第二夹持件，并且所述夹持部使所述第一夹持板和所述第二夹持板中的至少一个移动，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件彼此接近或离开；升降部，使所述夹持部升降；以及动作控制部，控制由所述夹持部进行的开闭动作和由所述升降部进行的升降动作，所述动作控制部以机械方式依次控制第一升降动作、所述开闭动作和第二升降动作，所述第二升降动作与所述第一升降动作的升降方向相同。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：古矢正明，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP