石英坩埚喷淋清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英坩埚喷淋清洗机，包括风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房、烘干房、传动系统和辊筒，所述风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房和烘干房依次连接，石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上，所述风淋传送间内设置有风淋喷嘴，风淋喷嘴与风机连接，所述喷酸房内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器，所述纯水清洗房内设有喷淋管和恒温加热器。本实用新型专利技术石英坩埚喷淋清洗机可以有效的对石英坩埚进行清洗去杂，大大节省了人工，提高工作效率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种石英坩埚喷淋清洗的设备，具体涉及一种石英坩埚喷淋清洗机。
技术介绍
作为拉制单晶硅时，石英坩埚的内表面上如有杂质的话将会影响拉晶效率，在熔制，搬运的过程中难免会不让粉尘，灰尘等杂质落入石英坩埚内壁，这就影响到拉晶工序的效果，另外在检测过程中也会有一定的污染，所以在石英坩埚熔制好后到真空包装前会有很多的因素对坩埚进行二次污染，这样就需要在进入真空包装前加入清洗工序，本设备材质化学成分稳固在清洗过程中不对坩埚产生任何污染，既节省了人工也提升了产品的质量。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种石英坩埚喷淋清洗机。本技术采用的技术方案是一种石英坩埚喷淋清洗机，包括风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房、烘干房、传动系统和辊筒，所述风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房和烘干房依次连接，石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上，所述风淋传送间内设置有风淋喷嘴，风淋喷嘴与风机连接，所述喷酸房内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器， 所述纯水清洗房内设有喷淋管和恒温加热器。作为优选，所述辊筒为设有透明塑钢护罩的PVC辊筒。作为优选，所述风淋传送间入口处设有相同间隙的排序光电本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种石英坩埚喷淋清洗机，其特征在于：包括风淋传送间（１）、喷酸房（２）、纯水清洗房（３）、烘干房（４）、传动系统和辊筒，所述风淋传送间（１）、喷酸房（２）、纯水清洗房（３）和烘干房（４）依次连接，石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上，所述风淋传送间（１）内设置有风淋喷嘴，风淋喷嘴与风机连接，所述喷酸房（２）内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器，所述纯水清洗房（３）内设有喷淋管和恒温加热器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邵天聪，金军，
申请(专利权)人：江苏华尔光电材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32