匀胶机的滴胶结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种匀胶机的滴胶结构，包括带有中空的内腔的滴胶头以及带有中空内腔的滴胶头转接头，滴胶头包括顺序连接的嘴部、抵止部、内结合部以及伸入部，滴胶头转接头的中空内腔包括外结合部和管结合部；内结合部能匹配套接在所述滴胶头转接头内；抵止部的尺寸大于所述外结合部的管径，内结合部套入所述滴胶头转接头后与抵止部相抵持；伸入部尺寸小于内结合部以形成台阶；滴胶头转接头的中空内腔通过滴胶头的内腔与外界连通。上述匀胶机的滴胶结构，在伸入部与内结合部的相接之处形成了台阶，当胶泵关闭后，内壁的余胶会积存在台阶处，因此解决了滴余胶的现象，且也不易产生气泡。保证了滴胶和匀胶的质量。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

匀胶机的滴胶结构
本技术涉及半导体工艺中一种对表面涂布液体的装置，尤其涉及一种勻胶机的滴胶结构。
技术介绍
在半导体生产中，勻胶机是涂布光刻胶的专用设备，其工作原理是利用高速旋转时产生的离心力，使滴在基片上的光刻胶在表面张力和离心力的共同作用下形成均勻的薄膜。传统的勻胶机，光刻胶从胶泵出来后是直接通过软管滴到基片上。这样在胶泵关上后，残留在管壁内的余胶在重力的作用下，可能会在一段时间后滴出，影响勻胶的质量。 且由于胶泵关上后的回吸作用，软管内会吸入一段空气。这样在下次滴胶时就会出现气泡， 同样影响勻胶的质量。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种不会滴余胶、不会产生气泡的勻胶机的滴胶结构。一种勻胶机的滴胶结构，包括带有中空的内腔的滴胶头以及带有中空内腔的滴胶头转接头，所述滴胶头包括顺序连接的嘴部、抵止部、内结合部以及伸入部，所述滴胶头转接头的中空内腔包括外结合部和管结合部；所述内结合部能匹配套接在所述滴胶头转接头内；所述抵止部的尺寸大于所述外结合部的管径，所述内结合部套入所述滴胶头转接头后与抵止部相抵持；所述伸入部尺寸小于所述内结合部以形成台阶；所述滴胶头转接头的中空内腔通过所述滴胶头的内腔与外界连通。优选的，所述外结合部的管径小于所述管结合部的管径。优选的，所述内结合部设有外螺纹，所述外结合部设有与所述外螺纹匹配的内螺纹。优选的，所述滴胶头转接头的中空内腔还包括容胶部，所述容胶部位于所述外结合部和管结合部之间。优选的，所述嘴部为锥形结构，所述滴胶头的内腔包括第一圆柱腔和位于所述锥形结构尖端且与所述第一圆柱腔连通的第二圆柱腔，所述第二圆柱腔的直径大于所述第一圆柱腔。优选的，所述滴胶头为一体成型的结构。优选的，还包括滴胶架和固定件；所述滴胶架包括相互垂直的第一平板和第二平板，所述第一平板上设有供所述滴胶头穿过的镂空部，所述第二平板上开设有定位槽；所述固定件上开设有定位孔，所述固定件的中部还开设有容置孔，所述容置孔的延伸方向垂直于所述定位孔的延伸方向，所述容置孔用于容置所述滴胶头。优选的，所述第二平板为长方形平板，所述定位槽的数量是两个，所述定位槽为长方形槽，所述定位槽的长边平行于所述第二平板的长边。优选的，所述固定件的截面为长方形与梯形的组合结构，所述长方形的长边与所述梯形的下底等长且重合，所述容置孔垂直于所述梯形的上底延伸；所述锁紧孔与所述容置孔相通。优选的，所述滴胶架还开设有安装槽，所述安装槽、定位槽及所述容置孔的延伸方向两两垂直。上述勻胶机的滴胶结构，在伸入部与内结合部的相接之处形成了台阶，当胶泵关闭后，内壁的余胶会积存在台阶处，因此解决了滴余胶的现象，且也不易产生气泡。保证了滴胶和勻胶的质量。附图说明图1是一实施例中滴胶头的剖面图；图2是图1所示滴胶头的俯视图；图3是一实施例中滴胶头转接头的剖面图；图4是图3所示滴胶头转接的俯视图；图5是一个实施例中滴胶架的示意图；图6是一个实施例中固定件的正视图；图7是图6所示固定件的俯视图；图8是勻胶机的滴胶结构使用装配局部剖视图。具体实施方式为使本技术的目的、特征和优点能够更为明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。图1是一实施例中滴胶头的剖面图，图2是图1的俯视图；图3是一实施例中滴胶头转接头的剖面图，图4是图3的俯视图。勻胶机的滴胶结构包括带有中空的内腔的滴胶头10以及带有中空内腔的滴胶头转接头20。在本实施例中，滴胶头10的内腔11及滴胶头转接头20的中空内腔21均是圆柱形内腔，其可以是圆柱形阶梯孔。滴胶头转接头20的中空内腔21通过滴胶头10的内腔11与外界连通，胶体从胶泵流入滴胶头转接头20的中空内腔21后，再经滴胶头10的内腔11滴出。滴胶头10包括顺序连接的嘴部12、抵止部14、内结合部16以及伸入部18。滴胶头转接头20的实体部分包括第一部22和第二部对，滴胶头转接头20的中空内腔21包括外结合部23和管结合部27。滴胶头10为一体成型的结构。在本实施例中，内结合部16的横截面为圆环形，内结合部16的尺寸(即外径)与外结合部23相匹配，使得内结合部16能匹配套接在滴胶头转接头20内。在本实施例中， 内结合部16设有外螺纹，外结合部23设有与该外螺纹匹配的内螺纹。抵止部14的尺寸大于外结合部23的管径，内结合部16旋入滴胶头转接头20后与抵止部14相抵持，这样滴胶头转接头20的中空内腔21里面的胶体就被封住了。在本实施例中，伸入部18的横截面为圆环形，其外径小于内结合部16的外径，这样在伸入部18与内结合部16的相接之处就形成了台阶。当胶泵关闭后，内壁的余胶会积存在台阶处，因此解决了滴余胶的现象，且也不易产生气泡。在本实施例中，嘴部12为锥形结构，滴胶头10的内腔11包括第一圆柱腔112和位于锥形结构尖端且与所述第一圆柱腔112连通的第二圆柱腔114，第二圆柱腔114的直径大于第一圆柱腔112。由于锥形结构尖端的口径(即第二圆柱腔114的直径)较大，在胶泵关闭停止滴胶后就不易吸入气泡，保证了勻胶机勻胶的质量。管结合部27用于与胶泵相接。在本实施例中，滴胶头转接头20通过一根管与胶泵相接，该管可以是管径为1/8英寸的管。滴胶头转接头20在管结合部27处的内壁设有 1/8锥形螺纹，外结合部23的管径小于管结合部27的管径，这样在外结合部23与管结合部 27的结合处就会形成台阶，管在旋入滴胶头转接头20后会被卡在台阶处，有利于形成稳定的结构。在本实施例中，滴胶头转接头20的中空内腔21还包括容胶部25，容胶部25位于外结合部23和管结合部25之间。为了方便对滴胶头10进行固定，以准确定位滴胶点。本技术的勻胶机的滴胶结构还配套设置了滴胶架和固定件。图5是一个实施例中滴胶架的示意图；图6是一个实施例中固定件的正视图，图7是图6所示固定件的俯视图。滴胶架30包括相互垂直的第一平板32和第二平板34。第一平板32上设有供滴胶头10穿过的镂空部324。在本实施例中，镂空部3M将第一平板32分割成了两块平板。第二平板34上开设有定位槽342。在本实施例中，第二平板34为长方形平板，定位槽342的数量是两个，定位槽342为长方形槽， 定位槽342的长边平行于第二平板34的长边。在其它实施例中，定位槽342的数量以及形状也可以不同，例如可以是长方形和两个半圆的组合图形。同样的，第二平板34也可以为其它形状。在本实施例中，滴胶架30的材料为不锈钢，例如314不锈钢，厚度为2毫米。固定件40上开设有与定位槽342配合的定位孔442。可以将连接件(例如螺钉配合螺母)穿过定位孔442及定位槽342后，将固定件40固定在滴胶架30上。在固定件 40的中部还开设有容置孔422，容置孔422垂直于定位孔442，容置孔422用于容置滴胶头 10。在本实施例中，固定件40的截面为长方形与梯形的组合结构。长方形的长边与梯形的下底等长且重合，容置孔422垂直于梯形的上底延伸，将梯形的上底与长方形的底边贯通。 固定件40还开设有锁紧孔462，锁紧孔462的延伸方向与容置孔422的延伸方向平行，锁紧孔462与容置孔422相通，可以将锁紧螺钉穿入锁紧孔462后将滴胶头10锁住。在本实施例中，滴胶架30还开设有安装槽322。安装槽322用本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种匀胶机的滴胶结构，其特征在于，包括带有中空的内腔的滴胶头以及带有中空内腔的滴胶头转接头，所述滴胶头包括顺序连接的嘴部、抵止部、内结合部以及伸入部，所述滴胶头转接头的中空内腔包括外结合部和管结合部；所述内结合部能匹配套接在所述滴胶头转接头内；所述抵止部的尺寸大于所述外结合部的管径，所述内结合部套入所述滴胶头转接头后与抵止部相抵持；所述伸入部尺寸小于所述内结合部以形成台阶；所述滴胶头转接头的中空内腔通过所述滴胶头的内腔与外界连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王友旺，林盛浩，胡华，肖雁行，刘宝亮，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94