【技术实现步骤摘要】
继电器测试装置及测试方法
[0001]本申请涉及继电器测试领域，尤其是涉及一种继电器测试系统及测试方法
。
技术介绍
[0002]继电器是一种应用广泛的基础电控制器件，在各种各样的电气设备
、
电力系统中发挥着重要作用
。
在晶圆测试中使用的测试机器内部存在很多精密继电器，用于控制测试芯片的测试回路，一旦继电器出现故障或失效，将会影响测试准确性
。
[0003]继电器测试的专业设备成本高，使用不够方便；自制设备无法完全检出故障继电器，且使用较为局限
。
且大部分对晶圆测试机器内部继电器进行检测的方法因受现场电源布线的影响，无法利用晶圆测试机器内部自带的测试系统，使得检修工作量大，效率低
。
技术实现思路
[0004]基于此，本申请实施例申请了一种继电器测试装置及其测试方法
。
[0005]根据一些实施例，本申请提供了一种继电器测试装置，包括：
[0006]驱动电路，与待测继电器相连接；所述驱动电路根据第一控...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种继电器测试装置，其特征在于，包括：驱动电路，与待测继电器相连接；所述驱动电路被配置为根据第一控制信号输出驱动电压至所述待测继电器，以驱动所述待测继电器进行导通或关断的动作；测试电路，与所述待测继电器相连接；所述测试电路被配置为根据第二控制信号向所述待测继电器施加测试信号；采样电路，与所述待测继电器相连接，被配置为采集所述待测继电器的测试反馈信号；处理模块，与所述测试电路和所述采样电路连接；所述处理模块根据所述测试信号及所述测试反馈信号进行处理以得到测试结果
。2.
根据权利要求1所述的继电器测试装置，其特征在于，所述继电器测试装置还包括测试板，所述待测继电器设置于所述测试板，所述待测继电器通过所述测试板与所述驱动电路
、
所述测试电路以及所述采样电路连接
。3.
根据权利要求1所述的继电器测试装置，其特征在于，所述继电器测试装置应用于晶圆测试系统；所述晶圆测试系统分别向所述驱动电路及所述测试电路提供所述第一控制信号及所述第二控制信号
。4.
根据权利要求3所述的继电器测试装置，其特征在于，所述驱动电路
、
所述测试电路
、
所述采样电路以及所述处理模块集成于所述晶圆测试系统内
。5.
根据权利要求1所述的继电器测试装置，其特征在于，所述测试信号包括测试电流；所述测试反馈信号包括所述待测继电...
【专利技术属性】
技术研发人员：余廷义，陈婧波，覃世思，容科杰，胡绍强，朱一璐，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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