太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线制造技术

太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线包括放卷装置、缝接装置、压辊装置、加热装置、溅射单元、抽气狭缝装置、托辊装置、冷却装置、隔离不同膜层工作气氛的狭缝装置、纠偏传输装置、保护膜复合装置和收卷装置；上述各个部分均置于真空室体中；真空室体还分别连接真空系统、充气系统和电控系统。本实用新型专利技术用狭缝隔离磁控溅射单元间不同膜层间工作气氛，各磁控溅射单元环境气氛稳定，重复性好，便于控制，镀膜质量优，适合卷对卷连续镀膜自动生产，生产效率高。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属太阳能热利用
，涉及太阳光谱选择性吸收涂层生产。也可用于太阳能电池等需要柔性基材卷对卷连续镀膜生产的磁控溅射镀膜领域。
技术介绍
现有用于制造太阳能集热板芯镀制选择性吸收涂层的镀膜机多为单真空室镀膜生产，尽管这种镀膜机结构简单，价格低廉，但由于这种镀膜机是单次循环镀膜生产方式， 有其以下不足之处首先，由于镀膜机每完成一个镀膜生产过程就对真空室放气打开真空室，取出和装入小批量板芯，溅射环境气氛难以重复和稳定，镀膜质量难以保证，且效率低； 其次，由于单机多台生产，设备状况很难一致，又需多人操作，易造成性能差异，且需占用过多生产场地。
技术实现思路
本技术的目的是为克服现有技术不足之处，设计出一种新型太阳能集热板芯选择性吸收涂层连续镀膜生产线，改善产品质量，提高一致性，而且便于自动连续高效生产。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于所述生产线包括放卷装置、缝接装置、压辊装置、加热装置、溅射单元、托辊装置、冷却装置、具隔离不同膜层工作气氛及抽气功能的抽气狭缝装置、纠偏传输装置、保护膜复合装置和收卷装置；上述各个部分均置于真空室本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线包括放卷装置（１）、缝接装置（２）、压辊装置（３）、加热装置（４）、溅射单元（５）、具隔离不同膜层工作气氛及抽气功能的抽气狭缝装置（６）、托辊装置（７）、冷却装置（８）、纠偏传输装置（９）、保护膜复合装置（１０）和收卷装置（１１）；上述各个部分均置于真空室体（１２）中；真空室体（１２）还分别连接真空系统（１３）、充气系统（１４）和电控系统（１５）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张浙军，杨威力，
申请(专利权)人：金博新能源技术香港有限公司，
类型：实用新型
国别省市：HK