一种镊子型硅料导电类型测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光伏或半导体领域的一种镊子型硅料导电类型测试装置，该装置包括测试主机、导线和接触件，所述的接触件包括接触件一、接触件二和接触件三，其中：接触件一、接触件二和接触件三分别通过导线与测试主机连接。采用该装置可以检测一些传统三探针法无法检测的细碎硅料的PN型，同时还能挑出一些电阻率低的重掺硅料。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏或半导体领域，尤其涉及一种不规则的细碎硅料的导电类型测试装置。
技术介绍
在光伏产品的加工过程中，很多工序都会产生一些细碎的硅料，这些硅料包括P 型硅料、N型硅料以及电阻率低的重掺硅料，如果要将这些细碎硅料重新用作多晶硅铸锭或是单晶拉制的原料，必须严格控制这些硅料的导电类型和电阻率。因为导电类型和电阻率是反映半导体电学性能的重要参数，不同类型、不同型号的半导体器件要求采用不同电阻率的材料制作。目前，用于检测半导体硅材料导电类型的方法很多，但使用最多的是温差法和整流法。但同时能够分选硅料P/N型及重掺的测试方法主要是整流法，即三探针法，这种方法主要是将三根探针直线排列封装在一根圆柱型笔筒上，再用导线和分选仪主机相连，组成一套硅料分选设备。当三根探针同时接触到硅料时，分选仪主机上可以显示出硅料是P型硅料，还是N型硅料，对于电阻率低的重掺硅料会发出报警的提示。目前的测试设备，三根测试探针的长度一般都大于0. 6cm，在测试过程中，三根探针必须同时接触到硅料，因此待测硅料的几何长度必须在0. 6cm以上才能进行测试。另外，对于一些几何长度大于0. 6cm, 但表面平整度较差的硅料，三根探针无法同时接触到硅料表面，导致无法对其测试。采用该方法进行测试的具体方法是一手握住硅料，另一只手操作探针笔，测试不方便，效率较低。目前，关于检测半导体硅材料导电类型的测试设备及其仪器，已有相关的文献报道，如公开号为CN201413381Y的中国专利太阳能电池晶硅硅片导电类型测量装置，该太阳能电池晶硅硅片导电类型测量装置包括检测平台，检测平台上设置有壳体，壳体内设置有可伸缩的冷、热探针，所述的冷、热探针之间通过导线连接有电压表，所述的电压表置于壳体外部，热探针还通过热导线连接有加热器。公开号为CN201594530U的中国专利公开了一种可单手操作的镊子型硅料分选装置，该技术是利用温差法原理，将传统的双手操作改为单手操作，具体方案是将传统的探针该为镊子型探针，这样可以一只手握住镊子型探针，一只手用于拨动硅料，搬动硅料， 也可以用于记录，从而提高工作效率。该技术方案可以测试细碎硅料的P/N型，但无法测试出硅料的重掺特性。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种镊子型硅料导电类型测试装置，这种测试装置可以用于测试一些不规则的细碎硅料的PN型，同时可以挑选出电阻率低的重掺硅料。本技术的技术方案为一种镊子型硅料导电类型测试装置，包括测试主机5、导线6和接触件，所述的接触件包括接触件一 1、接触件二 2和接触件三，其中接触件一 1、接触件二 2和接触件三分别通过导线6与测试主机5连接。一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件一 1和接触件二 2构成了镊子形状，接触件一 1和接触件二 2通过连接器7连接。一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的连接器7是采用塑料做成的绝缘材料。一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的连接器7是采用橡胶做成的绝缘材料。一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三是探针3。一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三为导体平板4。一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三是导体平板4，在接触件一1和接触件二 2的外侧和底部增设绝缘装置。一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三是导体平板4，在接触件一1和接触件二 2的外侧和底部涂一层绝缘涂料。表1本技术技术方案与现有技术方案比较测试原理是否能测试细小硅料是否能测试形状不规则硅料是否能测试重掺本技术整流法能能现有技术整流法整流法不能不能能.现有技术温差法温差法能不能不能本技术的工作原理以及优点本技术主要是利用整流法原理，将传统的三探针中的两根探针改为镊子型，这两根镊子型探针通过连接器连接；另外一根探针可不做改变，也可将其改为一块导体平板。通过镊子探针可夹起一些尺寸较小或形状不规则的硅料，此时硅料可与第三根探针接触，也可与导体平板接触，测试主机上的显示器可显示出硅料的PN型，如果硅料是重掺，则会发出报警声。现有技术中利用整流法来测试硅料的导电类型，三根探针是并排安装于测试笔内的，其中三根探针的水平距离一般都大于0. 6cm，在测试过程中必须三根探针都同时接触到硅料表面，才能测试其导电类型及重掺性能。但对于一些尺寸较小或形状不规则的硅料，传统的三探针则无法测试。本技术并没有改变整流法测试半导体导电类型的原理，只是将探针做了形状上的改变，通过这种改变可以实现对一些尺寸较小或形状不规则的硅料进行测试，分选出硅料的导电类型或电阻率较低的重掺料。附图说明附图1是本技术实施例5的结构示意图；附图2是本技术实施例7的结构示意图；附图3是本技术实施例5的使用状态示意图；附图4是本技术实施例7的使用状态示意图；附图标记接触件一 1、接触件二 2、探针3、导体平板4、测试主机5、导线6、连接器 7、硅料8。具体实施方式实施例1、一种镊子型硅料导电类型测试装置，包括测试主机5、导线6和接触件， 所述的接触件包括接触件一 1、接触件二 2和接触件三，其中接触件一 1、接触件二 2和接触件三分别通过导线6与测试主机5连接。实施例2、一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件一 1和接触件二 2构成了镊子形状，接触件一 1和接触件二 2通过连接器7连接。其余同实施例1。实施例3、一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的连接器7是采用塑料做成的绝缘材料。其余同实施例1或实施例2中的任意一种实施例。实施例4、一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的连接器7是采用橡胶做成的绝缘材料。其余同实施例1或实施例2中的任意一种实施例。实施例5、一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三是探针3。其余同实施例1-4中的任意一种实施例。实施例6、一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三为导体平板 4。其余同实施例1-4中的任意一种实施例。实施例7、一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三是导体平板 4，在接触件一 1和接触件二 2的外侧和底部增设绝缘装置。其余同实施例1-4中的任意一种实施例。实施例8、一种镊子型硅料导电类型测试装置，其中所述的接触件三是导体平板 4，在接触件一 1和接触件二 2的外侧和底部涂一层绝缘涂料。其余同实施例1-4中的任意一种实施例。工作原理可以使用本使用新型的镊子型硅料导电类型测试装置来夹取硅料8。权利要求1.一种镊子型硅料导电类型测试装置，包括测试主机(5)、导线(6)和接触件，所述的接触件包括接触件一(1)、接触件二( 和接触件三，其特征在于接触件一(1)、接触件二 (2)和接触件三分别通过导线(6)与测试主机(5)连接。2.如权利要求1所述的一种镊子型硅料导电类型测试装置，其特征在于所述的接触件一(1)和接触件二( 构成了镊子形状，接触件一(1)和接触件二( 通过连接器(7) 连接。3.如权利要求2所述的一种镊子型硅料导电类型测试装置，其特征在于所述的连接器(7)为绝缘材料。4.如权利要求1所述的一种镊子型硅料导电类型测试装置，其特征在于所述的接触件三为探针(3)。5.如权利要求1所述的一种镊子型硅料导电类型测试装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种镊子型硅料导电类型测试装置，包括测试主机（５）、导线（６）和接触件，所述的接触件包括接触件一（１）、接触件二（２）和接触件三，其特征在于：接触件一（１）、接触件二（２）和接触件三分别通过导线（６）与测试主机（５）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡动力，陈红荣，黄明，刘维忠，金春生，
申请(专利权)人：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36