炉管点火方法技术

本发明专利技术提供了一种炉管点火方法，点火过程中通入炉管的点火腔体的氢气与氧气的配比范围为1∶2.5至1∶2.7。本发明专利技术有利于降低点火失败率，提高大规模生产的稳定性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种。
技术介绍
在湿氧工艺中，特别是形成栅氧化层的过程中，对炉管的点火步骤要求非常高。如果点火失败，会导致工艺中断，会对炉管内的整批产品造成影响，甚至可能导致大量产品的报废，对良率、产能和成本造成严重影响。现有技术中，以ASM400型常压炉管为例，通常其点火过程中所采用的氢气(H2)与氧气(O2)的配比为1 1。但是在实际生产应用中经过统计，采用该点火工艺混料配比的话，其点火失败率高达约为2%。较高的点火失败率往往导致炉管中成批的产品晶圆报废， 严重影响了生产效率，增加了生产成本。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种，以降低点火失败率。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种，点火过程中通入炉管的点火腔体的氢气与氧气的配比范围为1 2.5至1 2.7。可选地，所述炉管为ASM400型常压炉管。可选地，点火过程中还在所述点火腔体中通入二氯乙烯。可选地，点火过程中通入所述点火腔体的气体配比为氢气沈^ 观^，氧气 66% 68，二氯乙烯4% 6%。可选地，点火过程中所述点火腔体内的压强为700至800毫米汞柱。可选地，点火过程中通入所述点火腔体的氢气的流量0. 8至1. 2SLM，氧气的流量为2. 5至3SLM，二氯乙烯的流量为0. 0001至0. 001SLM。可选地，点火之前在所述点火腔体中通入氧气，使所述点火腔体充满氧气。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点本专利技术实施例的中，点火过程中通入炉管的点火腔体的氢气与氧气的配比范围为1 2.5至1 2. 7，使用该配比可以有效地提高点火成功率，减少或避免点火失败所造成的损失。进一步的，本专利技术实施例对ASM400型常压炉管的点火条件进行了优化，点火过程中点火腔体的气体配比为氢气沈％ ，氧气66% 68，二氯乙烯4% 6%，从而将 ASM400型常压炉管的点火成功率降到了约为0。附图说明图1是本专利技术实施例的中对应于各种不同的气体配比，火焰光电三色、火焰长度和火焰颜色的等值线图。具体实施例方式现有技术中ASM400型常压炉管的点火混料配比一般是氢气与氧气的配比为 1 2，但是在该配比下点火的失败率相对较高，会在批量的工业生产中造成较大的损失。本专利技术实施例的中，点火过程中通入炉管的点火腔体的氢气与氧气的配比范围为1 2.5至1 2. 7，使用该配比可以有效地提高点火成功率，减少或避免点火失败所造成的损失。进一步的，本专利技术实施例对ASM400型常压炉管的点火条件进行了优化，点火过程中点火腔体的气体配比为氢气沈％ ，氧气66% 68，二氯乙烯4% 6%，从而将 ASM400型常压炉管的点火成功率降到了约为0。下面结合具体实施例和附图对本专利技术作进一步说明，但不应以此限制本专利技术的保护范围。稳定可靠的炉管点火需要以下几个条件a)安全性，保证氢氧点火过程中不会有风险；b)可靠性，保证能够在规定时间内顺利达到要求，点火成功；c)适用性，保证能够可靠地应用在生产机台上。本实施例中，炉管点火过程中，通入炉管的点火腔体的氢气和氧气的配比范围为 1 2.5至1 2. 7，使用该配比可以显著地提高点火成功率。此外，在点火之前，还可以首先在炉管的点火腔体中通入氧气，即使用氧气来净化(purge)点火腔体，使其充满氧气； 之后再按照1 2.5至1 2. 7的氢气和氧气的配比，将氢气和氧气通入点火腔体进行点火。此外，在点火过程中还可以通入二氯乙烯(DCE)气体，DCE可以在点火之后起到助燃的作用。本实施例中，所使用的炉管具体为ASM400型常压炉管，其点火过程中氢气与氧气的配比为1 2. 5至1 2.7。更具体地，点火过程中还通入DCE，其配比为氢气洸％ 观％，氧气66 % 68，二氯乙烯4 % 6 %，需要说明的是，此处的配比指的是体积比。点火过程中，点火腔体内的压强为700至800毫米汞柱，氢气的流量为0. 8至1. 2SLM，氧气的流量为2. 5至3SLM，二氯乙烯的流量为0. 0001至0. 001SLM(约为0)。采用以上配比，可以降低点火失败率，从而保证湿氧工艺等半导体工艺的稳定进行。为了验证以上配比的有效性，专利技术人进行了相应的实验设计(DOE)，并使用分析软件Minitab来对点火工艺的配比进行分析，下面对具体过程进行描述。首先设定相应气体的实验设计范围，如下表所示权利要求1.一种，其特征在于，点火过程中通入炉管的点火腔体的氢气与氧气的配比范围为1 2. 5至1 2. 7。2.根据权利要求1所述的，其特征在于，所述炉管为ASM400型常压炉管。3.根据权利要求2所述的，其特征在于，点火过程中还在所述点火腔体中通入二氯乙烯。4.根据权利要求3所述的，其特征在于，点火过程中通入所述点火腔体的气体配比为氢气洸％ ，氧气66% 68，二氯乙烯4% 6%。5.根据权利要求3所述的，其特征在于，点火过程中所述点火腔体内的压强为700至800毫米汞柱。6.根据权利要求3所述的，其特征在于，点火过程中通入所述点火腔体的氢气的流量为0. 8至1. 2SLM，氧气的流量为2. 5至3SLM，二氯乙烯的流量为0. 0001至 0.001SLM。7.根据权利要求1所述的，其特征在于，点火之前在所述点火腔体中通入氧气，使所述点火腔体充满氧气。全文摘要本专利技术提供了一种，点火过程中通入炉管的点火腔体的氢气与氧气的配比范围为1∶2.5至1∶2.7。本专利技术有利于降低点火失败率，提高大规模生产的稳定性和可靠性。文档编号H01L21/28GK102287851SQ201110196210公开日2011年12月21日 申请日期2011年7月13日 优先权日2011年7月13日专利技术者敖海林, 许亮, 闵亚能, 陈秀伟, 高玉岐 申请人:上海先进半导体制造股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种炉管点火方法，其特征在于，点火过程中通入炉管的点火腔体的氢气与氧气的配比范围为１∶２．５至１∶２．７。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈秀伟，闵亚能，许亮，敖海林，高玉岐，
申请(专利权)人：上海先进半导体制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：31