【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产装置，尤其是一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置。技术背景目前，随着社会经济的快速发展及人们对环保意识的增强，对氢能源的需求越来越大，尤其是多晶硅生产系统亦是如此，由于氢气和三氯氢硅在高温条件下还原反应生成多晶硅，所以氢气的用量和氢气收率及利用率对于整个系统影响很大，高温还原尾气的回收装置的选用也很重要，为了提高回收氢的品质使多晶硅产品质量稳定提高，还原尾气回收工艺选用变压吸附系统，变压吸附分离氢气其中的氯化氢是和氢气混合被带出系统，变压吸附系统工作中造成氢气收率下降，除此之外纯度的提高是以减少吸附时间为代价的， 吸附时间的减少必然使氢气的回收率降低，由于操作的因 素吸附压力变化大，吸附压力的较大波动直接导致了氢气回收率的波动，增加了氢气的损失，程控阀内漏影响了吸附剂的再生，从而降低了氢气的回收率。以上几点说明了变压吸附装置分离还原尾气中的氢气回收率较低，大量的氢气浪费，多晶硅生产成本明显增加，造成企业利润降低，且造成资源浪费和环境污染。鉴于上述原因，多晶硅生产系统需要改进。
技术实现思路
本技术目的是为了克服上述技术问题的不足，提供一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置，采用氯化氢是和氢气混合气被排出变压吸附系统后直接进入氢化系统，与氢化系统中的气相四氯化硅和固态硅粉在催化剂表面进行多相催化反应，生产出三氯氢硅成为多晶硅生产的原料，使氢气进一步回收，提高氢气利用率，完善了系统稳定和安全操作的要求，无污染，有利于环境保护。本技术为了实现上述的目的，采用如下的技术方案一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置，是由缓冲罐下部...
【技术保护点】
１．一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置，是由：混合气进气管道（１），缓冲罐（２），增压机进口管道（３），混合气增压机（４），增压机出口管道（５），增压机二回一管道（６），循环氢气储罐（７），循环氢气管道（８），循环氢气压缩机进口管道（９），循环氢气压缩机（１０），循环氢气压缩机出口管道（１１）构成，其特征在于：缓冲罐（２）下部的一侧设置混合气进气管道（１），缓冲罐（２）下部的另一侧设置增压机进口管道（３），增压机进口管道（３）的另一端设置在混合气增压机（４）的一侧，混合气增压机（４）的上方设置增压机出口管道（５），增压机出口管道（５）与增压机进口管道（３）之间设置增压机二回一管道（６）；增压机出口管道（５）的另一端设置在循环氢气储罐（７）顶部的一端，增压机出口管道（５）的一侧并列设置循环氢气管道（８）与循环氢气压缩机进口管道（９）在循环氢气储罐（７）顶部，循环氢气压缩机进口管道（９）的另一端设置在循环氢气压缩机（１０）的一侧，循环氢气压缩机（１０）的上方设置循环氢气压缩机出口管道（１１）。
【技术特征摘要】
1. 一种尾气回收和氢化工艺相结合的多晶硅生产装置，是由混合气进气管道(1)，缓冲罐O)，增压机进口管道(3)，混合气增压机，增压机出口管道(5)，增压机二回一管道 (6)，循环氢气储罐(7)，循环氢气管道(8)，循环氢气压缩机进口管道(9)，循环氢气压缩机 (10)，循环氢气压缩机出口管道(11)构成，其特征在于缓冲罐( 下部的一侧设置混合气进气管道(1)，缓冲罐( 下部的另一侧设置增压机进口管道(3)，增压机进口管道(3) 的另一端设置在混...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨龙军，都龙甫，张扬，张智利，易成刚，
申请(专利权)人：洛阳世纪新源硅业科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：41
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