管路漏液侦测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种管路漏液侦测装置，其用以侦测管路的漏液，且包括套管、反射镜、感湿薄膜、光源及光侦测器。套管环绕管路，套管的下部与管路密合，且位于下部上方的套管与管路之间形成盛液空间。反射镜设置于套管的外壁上。感湿薄膜覆盖反射镜，其中感湿薄膜在干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感湿薄膜。光侦测器用以接收来自反射镜的反射光。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种侦测系统，且特别是涉及一种管路漏液侦测装置。
技术介绍
目前半导体厂为了产量效能的提升，其设备安置的设计多采高密度的安排。因此， 输送各式各样化学液体的管路及各种设备交错设置，若输送液体的管路不慎泄漏液体至半导体机台中，对半导体的生产会造成相当严重的影响。举例来说，光阻(光致抗蚀剂)涂布机的光阻输送管需包覆用以控温的循环水管， 当管路老化耗损后发生破裂、渗漏，常造成芯片缺陷及良率损失。然而，由于光阻涂布机的内部环境必须避免电气接触易燃液体(如光阻)，故对管路漏液的侦测形成限制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种管路漏液侦测装置，其可即时进行管路的漏液侦测及监控。本技术的目的在于提供另一种管路漏液侦测装置，其可有效地防止工安问题的产生。为达上述目的，本技术提出一种管路漏液侦测装置，其用以侦测管路的漏液， 且包括套管、反射镜、感湿薄膜、光源及光侦测器。套管环绕管路，套管的下部与管路密合， 且位于下部上方的套管与管路之间形成盛液空间。反射镜设置于套管的外壁上。感湿薄膜覆盖反射镜，其中感湿薄膜在干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感湿薄膜。光侦测器用以接收来自反射镜的反射光。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管上例如是具有缺口，且缺口位于感湿薄膜上方。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管例如是一体成型或由多个部件组成。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，当套管由多个部件组成时，套管还包括结合装置，用以组合部件。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管例如是设置于管路的末端，此末端位于该管路的低位处。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，光源与光侦测器例如是一体成型或为互相分离的装置。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，还包括警报器， 耦接于光侦测器，用于反射光的强度增加时警报器发出警报信号。依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，警报器例如是光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。3依照本技术的一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，管路例如是用以包覆光阻输送管的控温管。本技术提出另一种管路漏液侦测装置，其用以侦测管路的漏液，且包括套管、 感湿薄膜、光源及光侦测器。套管环绕管路，套管的下部与管路密合，且位于下部上方的套管与管路之间形成盛液空间。感湿薄膜设置于套管的外壁上，其中感湿薄膜在干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感湿薄膜。光侦测器用以接收穿透感湿薄膜的穿透光。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，套管上例如是具有缺口，且缺口位于感湿薄膜上方。依照本技术的另一实施例所述，在上述的管路漏液侦测装置中，还包括警报器，耦接于光侦测器，用于穿透光的强度增加时警报器发出警报信号。本技术的优点在于，基于上述，在使用本技术所提出的管路漏液侦测装置时，当管路产生漏液时，漏液会流入由盛液空间中。由盛液空间中流出的漏液会润湿感湿薄膜，而使感湿薄膜的光穿透率增加，所以由光侦测器所侦测到的反射光或穿透光的强度增加。通过光侦测器侦测到反射光或穿透光的强度增加，可得知管路发生漏液的情况，因此可即时进行管路的漏液侦测及监控。为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例， 并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明4图1为本技术的一实施例的管路漏液侦测装置在未产生漏液时的示意图； 图2为本技术的一实施例的管路漏液侦测装置在产生漏液时的示意图； 图3为本技术的另一实施例的套管的示意图4为本技术的一实施例的管路漏液侦测装置应用于光阻涂布机的示意图； 图5为本技术的第二实施例的管路漏液侦测装置在未产生漏液时的示意图； 图6为图5中的感湿薄膜与光侦测器的放大示意图7为本技术的第二实施例的管路漏液侦测装置在产生漏液时的示意图； 图8为图7中的感湿薄膜与光侦测器的放大示意图。 主要元件符号说明100,600 管路漏液侦测装置102 套管102a 下部104 反射镜106 感湿薄膜108 光源110、110'光侦测器 112 盛液空间 114 缺口 116,118 部件126 警报器 128 穿透光 200 管路 202 末端 300 漏液 400 光阻管路 402 光阻输送管 404 控温管 406 转接环 500 光阻涂布机120 结合装置502 机械手臂122 光线504 喷嘴124:反射光具体实施方式图1所绘示为本技术的第一实施例的管路漏液侦测装置在未产生漏液时的示意图。图2所绘示为本技术的第一实施例的管路漏液侦测装置在产生漏液时的示意图。图3所绘示为本技术的另一实施例的套管的示意图。图4所绘示为本技术的第一实施例的管路漏液侦测装置的监控流程图。请同时参照图1及图2，管路漏液侦测装置100用以侦测管路200的漏液300。管路漏液侦测装置100包括套管102、反射镜104、感湿薄膜106、光源108及光侦测器110。管路200例如是液体输送管。套管102环绕管路200，套管102的下部10 与管路200密合，且位于下部10 上方的套管102与管路200之间形成盛液空间112，用以盛装管路200所产生的漏液300。套管102的材料例如是耐腐蚀材料，如聚乙烯(polyethylene，ΡΕ)、高密度聚乙烯(high-density polyethylene, HDPE)、聚丙烯(polypropylene, PP)、聚氯乙烯(polyvinylchloride, PVC)或高聚合度聚氯乙烯(high polymerization degree of polyvinylchloride, HPVC)。套管102的材料可依据所要盛装的漏液300的成份而进行材料的选择。套管102例如是设置于管路200的末端202，此末端202位于该管路200的低位处，以使得漏液300可通过重力沿着管路200的外壁流入盛液空间112中。此外，在套管 102延伸方向上的高度可依据实际需求进行调整，以控制盛液空间112的高度。套管102上例如是具有缺口 114，且缺口 114位于感湿薄膜106上方。缺口 114有助于漏液300更快速地流出盛液空间112，且具有导引漏液300流向感湿薄膜106的功能。套管102例如是一体成型或由多个部件组成。在此实施例中，套管102是以一体成型为例进行说明。在其他实施例中，套管102也可由多个部件组成。以图3为例，套管102 例如是由两个部件116、118组成，但本技术并不以此为限，套管102更可由三个以上的部件所组成。此外，套管102还包括结合装置120，用以组合部件116、118。在此实施例中， 结合装置120例如是螺丝组，但本技术并不以此为限。请继续参照图1及图2，反射镜104设置于套管102的外壁上，用以反射光源108 所产生的光线122。反射镜104的材料例如是金属或镀有反射膜的玻璃或平本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种管路漏液侦测装置，其用以侦测一管路的一漏液，其特征在于，该管路漏液侦测装置包括：套管，环绕该管路，该套管的一下部与该管路密合，且位于该下部上方的该套管与该管路之间形成一盛液空间；反射镜，设置于该套管的一外壁上；感湿薄膜，覆盖该反射镜，其中该感湿薄膜在干燥时具有一第一光穿透率，且与该漏液接触后具有一第二光穿透率，且该第二光穿透率大于该第一光穿透率；光源，用以照射该感湿薄膜；以及光侦测器，用以接收来自该反射镜的一反射光。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢寿镛，张盛淇，
申请(专利权)人：力晶科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71