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一种“工”字型ZnO纳米阵列及其制备方法技术

技术编号:6886219 阅读:176 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开的“工”字型ZnO纳米阵列,由垂直于衬底有序排列的纳米棒阵列,其底端和顶端互相连接,形成中间具有空隙的薄膜结构。“工”字型ZnO纳米阵列在水平管式炉中生长,以锌粉为源材料,以硅、蓝宝石、石英、玻璃、氮化镓或氧化锌为衬底,通过调节温度加热过程和气流通入程序,整个结构由一次反应生长而成。本发明专利技术的“工”字型ZnO纳米阵列制备方法简单,是一种开放型的结构,器件制作容易,且可保留纳米阵列之间的空隙,可以用于光电器件和传感器件等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ZnO纳米材料及其制备方法,尤其涉及。
技术介绍
目前,人们已经制备出各种形貌的ZnO纳米材料,包括纳米线、纳米棒、纳米梳、纳米带、纳米阵列等。与薄膜材料相比,ZnO纳米材料具有单晶特性,电子迁移率更高,而且纳米材料具有大的比表面积,在光电器件、气敏器件上具有巨大的应用潜力。目前,人们利用 ZnO纳米棒及其阵列已经制备出发光二极管、紫外探测器等光电器件。SiO纳米器件的制备可以以单根纳米线做器件,也可以以整个纳米阵列做器件。目前利用ZnO纳米阵列制备器件的方法是在衬底上先生长ZnO纳米阵列,再用绝缘物质填充纳米阵列的空隙,之后再在上面制作电极,这种方法不仅操作复杂,而且良品率低。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足,提供。本专利技术的“工”字型ZnO纳米阵列,由垂直于衬底有序排列的纳米棒阵列,其底端和顶端互相连接,形成中间具有空隙的薄膜结构。“工”字型ZnO纳米阵列的制备方法,包括以下步骤将一端开口的石英管置于石英舟中,并将石英舟放置在管式炉内,以纯锌粉为源材料,将源材料放入石英管中,距石英管口 0. 8 1. 2cm处;将衬底置于石英舟中,位于石英管管口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种“工”字型ZnO纳米阵列,其特征在于所述的“工”字型ZnO纳米阵列由垂直于衬底有序排列的纳米棒阵列,其底端和顶端互相连接,形成中间具有空隙的薄膜结构。

【技术特征摘要】
1.一种“工”字型ZnO纳米阵列,其特征在于所述的“工”字型ZnO纳米阵列由垂直于衬底有序排列的纳米棒阵列,其底端和顶端互相连接,形成中间具有空隙的薄膜结构。2.按权利要求1所述的“工”字型SiO纳米阵列,其特征在于所述的衬底为硅、蓝宝石、 石英、玻璃、氮化镓或氧化锌。3.权利要求1所述的“工”字型ZnO纳米阵列的制备方法,其特征在于包括以下步骤 将一端开口的石英管置于石英舟中,并将石英舟放置在管式炉内,以纯锌粉为源材料,...

【专利技术属性】
技术研发人员:吕建国陈永叶志镇
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:86

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