一种切割线张力控制装置制造方法及图纸

技术编号:6881404 阅读:204 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种切割线张力控制装置,属于晶片生产设备技术领域。技术方案是包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线(4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。本实用新型专利技术通过动态循环微调控制切割线稳定性,通过摆杆实现切割线的精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种切割线张力控制装置,属于晶片生产设备

技术介绍
目前,
技术介绍
的晶片切割机上的切割线定位,一般采用张力传感器,调整切割线的松紧程度以控制切割线的张力,来获得切割材料的切割面。存在问题是切割线的位置设定相对单一,位置属静态固定,调整幅度小。
技术实现思路
本技术目的是提供一种切割线张力控制装置,精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量,解决
技术介绍
中存在的上述问题。本技术的技术方案是一种切割线张力控制装置,包含摆杆、拉弹簧、导轮、切割线、张力传感器、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。所说的伺服电机包括供线轮伺服电机和收线轮伺服电机。本技术通过摆杆的上下摆动,改变拉弹簧的拉力来调整切割线的张力,张力传感器将采集到的切割线的张力信号,控制调整伺服电机转速,使之与切割线的工作相适应,切割线张力加大或缩小再反馈到摆杆,循环动态微调,最终不断保障切割线的张力和切割位置,使得切割线张力适合所切割的晶体材料,实现切割线的精确定位,动态定位。本技术的有益效果本技术通过动态循环微调控制切割线稳定性,通过摆杆实现切割线的精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量。附图说明附图1是本技术实施例的结构示意图;图中摆杆1、拉弹簧2、导轮3、切割线4、张力传感器5、供线轮伺服电机6、收线轮伺服电机7。具体实施方式以下结合附图,通过实施例对本技术作进一步说明。一种切割线张力控制装置,包含摆杆1、拉弹簧2、导轮3、切割线4、张力传感器5、 伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。所说的伺服电机包括供线轮伺服电机6和收线轮伺服电机7。本技术通过摆杆的上下摆动,改变拉弹簧的拉力来调整切割线的张力,张力传感器将采集到的切割线的张力信号,控制调整伺服电机转速,使之与切割线的工作相适应,切割线张力加大或缩小再反馈到摆杆,循环动态微调,最终不断保障切割线的张力和切割位置,使得切割线张力适合所切割的晶体材料,实现切割线的精确定位,动态定位。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种切割线张力控制装置,其特征在于包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线(4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。

【技术特征摘要】
1.一种切割线张力控制装置,其特征在于包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线 (4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨福占董秀建张静波
申请(专利权)人:唐山晶玉科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:13

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