下载一种切割线张力控制装置的技术资料

文档序号:6881404

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本实用新型涉及一种切割线张力控制装置,属于晶片生产设备技术领域。技术方案是包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线(4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间...
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