本发明专利技术涉及一种用于腐蚀性液体的加热器，包括水箱、加热组件以及上内盖、下内盖和水温温度传感器，水箱为两端开口的筒体，且水箱的内壁具有氟塑料层或水箱由氟塑料制成，水箱的上下两侧分别设有出液口和进液口；加热组件包括外周壁具有氟塑料层的金属导体和两个以上的电加热棒，各电加热棒安装在金属导体内，金属导体的两端安装有外周壁具有氟塑料层或由氟塑料制成的上内盖和下内盖，且内盖和下内盖分别与水箱密封连接，电加热棒的电极密封穿出上内盖或下内盖，金属导体外周与水箱内壁之间设有液腔，水箱上部安装有传感器座，水箱出液口处设有水温温度传感器。本发明专利技术具有工作可靠、对液体加热温度均匀，便于维护保养、体积小的优点。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于腐蚀性液体的加热器，属于液体加热
技术介绍
电加热器大都采用陶瓷或石英，这种加热材料不仅易破碎，且加热效率不高，而且不能加热酸、碱等强氧化剂的腐蚀性液体。一些用于加热腐蚀性液体的电加热器是将电热材料设置在金属套管内，金属套管与电热丝之间设有金属氧化镁，在金属套管外壁涂上聚四氟乙烯，虽然电加热器具有耐腐蚀性的特点，但也存在加热功率不高和维护保养不方便的缺陷，因此不适合半导体器件的化学腐蚀和清洗工艺中工业化产生的要求。为满足半导体器件工业化生产的要求，目前液体加热器采用四根氟塑料螺杆和四个连接杆连接后形成框架结构，包覆有氟塑料的电热丝缠绕在氟塑料螺杆上，以此提高加液体的温度均勻性及使用的可靠性，但该种结构的电热丝在制作以及安装过程中无法使其直径保持完全相同， 因此还是存在发热不均勻以及功率不高和电加热器的体积较大的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种工作可靠、对液体加热温度均勻，便于维护保养、体积小的用于腐蚀性液体的加热器。本专利技术为达到上述目的的技术方案是一种用于腐蚀性液体的加热器，其特征在于包括水箱、加热组件以及上内盖、下内盖和水温温度传感器，所述的水箱为两端开口的筒体，且水箱的内壁具有氟塑料层或水箱由氟塑料制成，水箱的上下两侧分别设有出液口和进液口 ；所述的加热组件包括外周壁具有氟塑料层的金属导体和两个以上的电加热棒， 各电加热棒安装在金属导体内，金属导体的两端与外周壁具有氟塑料层或由氟塑料制成的上内盖和下内盖连接，且上内盖和下内盖分别与水箱密封连接，电加热棒的电极密封穿出上内盖或下内盖，金属导体外周壁与水箱内壁之间设有液腔；所述的水箱上的出液口处安装有水温温度传感器。本专利技术采用两个以上的电加热棒并设置在金属导体内，故能增加加热器的功率， 电加热棒的热量通过金属导体后再加热液体，液体受热更加均勻，由于腐蚀性液体不与电加热棒接触，也提高了加热器的使用可靠性。本专利技术的水箱、上内盖以及下内盖和金属导体均采用抗酸、抗碱和耐高温的氟塑料层，提高了加热器的使用可靠，由于加热组件设置在水箱内，不仅能减少加热器的体积，而且将水箱与加热器集为一体，可使加热器实现模块化， 方便工艺调整。本专利技术将上内盖和下内盖密封安装在水箱两端，方便对加热器的维护和保养。本专利技术在水箱的出液口处设有水温温度传感器，不仅能方便调节加热器的功率，而且也能对加热器起到保护作用。附图说明下面结合附图对本专利技术的实施例作进一步的详细描述。图1是本专利技术的结构示意图。图2是图1的俯视结构示意图。其中1-上盖，2-密封圈，3-上内盖，4-导热温度传感器，5-电加热棒，6_金属导体，7-液腔，8-水箱，8-1-出液口，8-2-进液口，9-下内盖，10-下盖，11-水温温度传感器， 12-传感器座，13-夹座。具体实施例方式见图1、2所示，本专利技术的用于腐蚀性液体的加热器，包括水箱8、加热组件以及上内盖3、下内盖9和水温温度传感器11。本专利技术的水箱8为两端开口的筒体，且水箱8的内壁具有氟塑料层或水箱8由氟塑料制成，使水箱8具有耐酸耐碱的优点，该水箱8的上下两侧分别设有出液口 8-1和进液口 8-2，出液口 8-1和进液口 8-2均设有螺纹孔，液管接头可旋接在箱体的出液口 8-1和进液口 8-2处。见图1、2所示，本专利技术加热组件包括外周壁具有氟塑料层的金属导体6和两个以上的电加热棒5，可如图1、2所示，可采用三个电加热棒5，通电后电加热棒5发热，各电加热棒5安装在金属导体6内，并均布安装在金属导体6 上，该金属导体6可采用导热系数高的铜或及其合金材料，金属导体6的两端与外周壁具有氟塑料层或由氟塑料制成的上内盖3和下内盖9连接，且上内盖3和下内盖9通过安装在金属导体6上的密封圈2分别与水箱8密封连接，本专利技术为了方便安装上内盖3和下内盖 9，金属导体6两端分别设有凹凸面，而上内盖3和下内盖9上也设有对应的凸凹面，金属导体6两端上的凹凸面与上内盖3和下内盖9上的凸凹面相接，本专利技术在上内盖3或下内盖9 上设有对电加热棒5定位的安装孔，紧固件将上内盖3和下内盖9安装在金属导体6的两端，水箱8两端还安装有上盖1和下盖10，该上盖1和下盖10分别罩在上内盖3和下内盖 9上，金属导体6外周壁与水箱内壁之间设有液腔7，被加热液体通过该液腔7时而被金属导体6加热。见图1、2所示，本专利技术为及时了解液体的加热温度，水箱8的出液口 8-1处安装有传感器座12上，水箱8的出液口 8-1处安装有传感器座12，该传感器座12旋接在水箱8的安装孔上，水温温度传感器11通过夹座13插装在传感器座12上。见图1、2所示，本专利技术在金属导体6上还设导热温度传感器4，导热温度传感器4位于电加热棒5的同一侧，且导热温度传感器4的信号线密封穿出上内盖3或下内盖9，本专利技术通过水温温度传感器11的导热温度传感器4对加热器起到双保护作用。权利要求1.一种用于腐蚀性液体的加热器，其特征在于包括水箱(8)、加热组件以及上内盖 (3)、下内盖(9)和水温温度传感器(11)，所述的水箱⑶为两端开口的筒体，且水箱⑶的内壁具有氟塑料层或水箱(8)由氟塑料制成，水箱(8)的上下两侧分别设有出液口(8-1) 和进液口(8-2)；所述的加热组件包括外周壁具有氟塑料层的金属导体(6)和两个以上的电加热棒(5)，各电加热棒(5)安装在金属导体(6)内，金属导体(6)的两端与外周壁具有氟塑料层或由氟塑料制成的上内盖⑶和下内盖(9)连接，且上内盖(3)和下内盖(9)分别与水箱⑶密封连接，电加热棒(5)的电极密封穿出上内盖(3)或下内盖(9)，金属导体 (6)外周壁与水箱(8)内壁之间设有液腔(7)；所述的水箱( 上的出液口(8-1)处安装有水温温度传感器(11)。2.根据权利要求1所述的用于腐蚀性液体的加热器，其特征在于所述金属导体(6) 的两端分别通过凹凸面与上内盖C3)和下内盖(9)上的凸凹面相接，且上内盖C3)或下内盖(9)上设有对电加热棒(5)定位的安装孔，紧固件将上内盖C3)和下内盖(9)安装在金属导体(6)的两端。3.根据权利要求1所述的用于腐蚀性液体的加热器，其特征在于所述的金属导体(6) 上还设导热温度传感器G)，且导热温度传感器(4)位于电加热棒(5)的同一侧，导热温度传感器⑷的信号线密封穿出上内盖⑶或下内盖(9)。4.根据权利要求1所述的用于腐蚀性液体的加热器，其特征在于所述的水箱(8)两端还安装有上盖(1)和下盖(10)并分别罩在上内盖(3)和下内盖(9)上。5.根据权利要求1所述的用于腐蚀性液体的加热器，其特征在于所述的水箱(8)的出液口(8-1)处安装有传感器座(12)，水温温度传感器(11)通过夹座(1 插装在传感器座(12)上。全文摘要本专利技术涉及一种用于腐蚀性液体的加热器，包括水箱、加热组件以及上内盖、下内盖和水温温度传感器，水箱为两端开口的筒体，且水箱的内壁具有氟塑料层或水箱由氟塑料制成，水箱的上下两侧分别设有出液口和进液口；加热组件包括外周壁具有氟塑料层的金属导体和两个以上的电加热棒，各电加热棒安装在金属导体内，金属导体的两端安装有外周壁具有氟塑料层或由氟塑料制成的上内盖和下内盖，且内盖和下内盖分别与水箱密封连接，电加热棒的电极密封穿出上内盖或下内盖，金属导体外本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种用于腐蚀性液体的加热器，其特征在于：包括水箱（８）、加热组件以及上内盖（３）、下内盖（９）和水温温度传感器（１１），所述的水箱（８）为两端开口的筒体，且水箱（８）的内壁具有氟塑料层或水箱（８）由氟塑料制成，水箱（８）的上下两侧分别设有出液口（８－１）和进液口（８－２）；所述的加热组件包括外周壁具有氟塑料层的金属导体（６）和两个以上的电加热棒（５），各电加热棒（５）安装在金属导体（６）内，金属导体（６）的两端与外周壁具有氟塑料层或由氟塑料制成的上内盖（３）和下内盖（９）连接，且上内盖（３）和下内盖（９）分别与水箱（８）密封连接，电加热棒（５）的电极密封穿出上内盖（３）或下内盖（９），金属导体（６）外周壁与水箱（８）内壁之间设有液腔（７）；所述的水箱（８）上的出液口（８－１）处安装有水温温度传感器（１１）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：金海涛，吉保国，卞福良，段小楠，沈俊然，黄宏君，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，无锡华润微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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