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生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及立式镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:6865387 阅读:324 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的方法,采用大面积金属片作为基片,载片架两面均可挂金属基片,在真空室外的减速机拖动传送机构带动载片架直线行进,载片架连续匀速依次进入连续镀膜室内的磁控溅射靶与相应的溅射腔室内,溅射腔室内两面均布置有磁控溅射靶,可同时对载片架两面的金属基片依次沉积太阳能吸热功能膜中的红外光反射层/吸热功能层/减反射层等膜层。本发明专利技术还提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的立式镀膜装置,包括载片架、前真空锁定室、前保持室、前缓冲区、连续镀膜室、后缓冲区、后保持室和后锁定室,生产效率比卧式镀膜装置提高一倍。本发明专利技术生产的吸热镀膜板具有吸收率高、发射率低的优点。本发明专利技术生产效率高,成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能光热利用领域,特别涉及的是生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及立式镀膜装置
技术介绍
太阳能资源是21世纪的新能源,太阳能制冷、太阳能热水器、太阳能发电、海水净化等都是重要的应用领域。选择性吸热薄膜具有可见光_近红外光区高吸收率、红外光区高反射率的性能优点,其生产方法及装置成为太阳能利用技术的重要研究方向。目前所采用太阳能选择性吸热薄膜的生产方法有以下几种类型,且都具有相应的局限性玻璃管真空管型将直径不同的两个玻璃管的两端封接在一起,两管之间的空间形成封接时抽成真空,内管的外壁沉积有太阳能吸热涂层,吸收太能辐射能而使温度升高, 内部通水带走热能,完成光热转换过程。其不足之处在于碰撞易碎,断水时干烧易炸管,同时在建筑节能一体化时不宜作为建筑外壁、房顶。普通平板吸热涂层采用电镀、刷涂等方式在金属基片上形成吸热涂层,其不足之处在于外红光发射率高,太阳能吸收率低,太阳能利用效率低,同时这种生产方式对环境有一定污染。电子枪蒸发和离子源辅助的方式沉积太阳能吸热涂层,这种方式具有沉积速率高的优势。其缺点是单个电子枪所获得的镀材的蒸发云不足以覆盖基片的幅宽,需两支电子枪合并使用才本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.生产平板太阳能吸热镀膜板的方法,其特征在于以大面积单张金属片作为太阳能镀膜板的基片,在立式镀膜装置上,金属基片挂在由型材或金属板组成的载片架上,载片架能挂一片或多片金属基片,在真空室外的减速机拖动传送机构带动载片架行进,以断续方式被传送机构带动快速进入和通过立式镀膜装置中的前真空锁定室、前保持室后,载片架一架接一架的、连续匀速依次进入到至少有3组磁控溅射靶与相应的溅射腔室的连续镀膜室中,载片架在立式镀膜装置各室的中央部位直线行进,在连续镀膜室的箱体上每组溅射腔室位置上至少在挂在载片架上的基片的一侧布置有磁控溅射靶,能对金属基片依次沉积由金属膜组成的红外光波反射层/至少一组由金属膜或金属介质...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:甘国工
申请(专利权)人:甘国工
类型:发明
国别省市:90

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