一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法技术

一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，通过调控溅射气氛中氢气含量，利用氢等离子的刻蚀及辅助迁移作用，实现采用磁控溅射氧化锌陶瓷靶材直接制备具有良好陷光特性的高绒度氧化锌透明导电薄膜。本发明专利技术有益效果是：制备绒面氧化锌透明导电薄膜，具有低电阻率、高的宽光谱透过率和高散射绒度，在550nm处散射绒度可达15-60%，同时保持方块电阻小于6Ω/□；直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜，可避免后腐蚀工艺带来的大面积均匀性难于控制的问题，同时具有良好的可重复性，利于大面积工业化生产；该薄膜可直接应用于单节及叠层薄膜光伏器件中，有利于提高电池的光吸收及光电转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜太阳电池的氧化锌薄膜制备工艺，尤其是。
技术介绍
近年来，随着能源枯竭与环境污染问题的日益严峻，光伏发电已成为未来能源的重要组成部分。根据欧洲联合研究中心(European Commission Joint Research Center) 的最新预测，到2050年可再生能源占能源结构中的比例将达到52%，其中太阳能光伏发电占能源结构中的比例达到观%; IJ 2100年可再生能源占能源结构中的比例将达到86%，其中光伏发电占能源结构中的比例达到67 %。目前光伏产业进一步发展的最大制约因素是其发电成本高于常规能源，太阳电池组件占光伏系统价格的50%以上，因此开发高效、低成本、长寿命太阳电池就成为了世界各国研究的焦点。光伏器件的薄膜化已成为进一步降低成本、提升产业竞争力的有效手段。归列为第二代光伏器件的薄膜太阳电池因其低成本、原材料资源丰富等优势而备受关注。然而随着材料结构的日渐完善与性能的逐步提高，薄膜电池“光学厚度”与“电学厚度”间的矛盾逐渐凸显出来。厚度仅为几个微米的硅基薄膜电池，虽然可以提高开路电压，减少光生载流子的复合，但很薄的厚度势必导致光吸收的减小，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．　一种直接制备绒面氧化锌透明导电薄膜的方法，其特征在于步骤如下：１）将清洗后的衬底置于溅射腔室中进行预热；２）将溅射腔室抽真空，待真空度小于１×１０－３　Ｐａ时，分别向腔室中通入氩气和氢气作为溅射气体，并对腔室内气压进行调控；３）待腔室内气体压强稳定后，采用氧化锌陶瓷靶材对衬底进行磁控溅射镀膜，直接制备具有绒面结构的氧化锌透明导电薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄茜，张晓丹，刘阳，魏长春，赵颖，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：12