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生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及立式镀膜装置制造方法及图纸
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下载生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及立式镀膜装置的技术资料
文档序号:6865387
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本发明提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的方法,采用大面积金属片作为基片,载片架两面均可挂金属基片,在真空室外的减速机拖动传送机构带动载片架直线行进,载片架连续匀速依次进入连续镀膜室内的磁控溅射靶与相应的溅射腔室内,溅射腔室内两面均布置有磁控溅...
该专利属于甘国工所有,仅供学习研究参考,未经过甘国工授权不得商用。
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