多晶硅铸锭炉坩埚侧板制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，包括侧板的板体，板体的顶部开设有用于加快冷却气体流通的通槽，通槽至少为两个。本实用新型专利技术通过在侧板的板体顶部设置用于加快热场内冷却气体流通的通槽，改善了热场内的散热条件，极大的改善了多晶硅结晶的质量，从而提高了多晶硅晶体的良品率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本 新型涉及一种多晶硅铸锭炉内热场的设备，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板。
技术介绍
现有的多晶硅铸锭炉热场内，保护坩埚的侧板上原本是没有孔的，由于不能提供散热，导致热场内散热速度很慢，影响到晶体的生成，会在晶体内部产生微晶，从而大大降低了多晶硅晶体的良品率。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，旨在提高多晶硅晶体的良品率。为了达到上述目的，本技术提出一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，包括侧板的板体，所述板体的顶部开设有用于加快冷却气体流通的通槽；所述通槽至少为两个。优选地，所述通槽的截面形状至少包括方形、半圆孔形、圆孔形或椭圆形中的一种。优选地，所述通槽为两个，均布于所述板体顶部；其宽度为280 380mm，高度为 40 100mm。优选地，所述通槽底部设有防止高温下侧板应力裂开的倒角。优选地，所述侧板安装于所述多晶硅铸锭炉的坩埚的侧面。优选地，所述侧板为四块，分别安装于所述坩埚的四面；所述侧板与侧板之间通过碳碳螺栓和螺母固定连接。优选地，所述侧板的顶部设有防止杂质进入坩埚的盖板。本技术提出的一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，通过在侧板的板体顶部设置用于加快热场内冷却气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，包括侧板的板体，其特征在于，所述板体的顶部开设有用于加快冷却气体流通的通槽；所述通槽至少为两个。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：龙礼妹，南志华，李恒文，
申请(专利权)人：石金精密科技深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94