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本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，包括侧板的板体，板体的顶部开设有用于加快冷却气体流通的通槽，通槽至少为两个。本实用新型通过在侧板的板体顶部设置用于加快热场内冷却气体流通的通槽，改善了热场内的散热条件，极大的改善了多晶硅结晶的质量，从...
该专利属于石金精密科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过石金精密科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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