【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，尤其涉及下述永磁铁及永磁铁的制造方法，其在铁-硼-稀土系的烧结磁铁表面形成至少含有Dy、Tb中的一种的金属蒸镀膜，通过在规定温度下实施热处理，至少使Dy、Tb中的一方扩散到烧结磁铁的晶界相内而形成；也涉及适合在上述磁铁表面高速形成至少含有Dy、Tb中的一种的金属蒸镀膜的成膜方法及成膜装置。
技术介绍
由于Nd-Fe-B系烧结磁铁(钕磁铁)是由铁和价格低廉资源丰富、可稳定提供的 Nd、B元素组合而成的，可廉价制造同时又具有高磁特性(最大磁能积为铁素体系磁铁的10 倍)，因而被用于多种产品。近年来，在混合型汽车用的马达及发电机上的采用也取得了进展。另外由于Nd-Fe-B系烧结磁铁的居里温度仅为300°C，某些采用该磁铁的产品有时会升温超过规定温度，一旦升温超过规定温度，会产生因热而退磁的问题。因此，当获得Nd-Fe-B系烧结磁铁时，虽然也可考虑添加Dy及Tb，由于其具有比 Nd大的4f电子的磁各向异性，带有与Nd相同的负的稳态因子，因而可大大提高主相的结晶磁各向异性，但由于Dy、Tb采用的是费里磁结构，在主相晶格中呈与Nd反向的螺旋排列，因而存在磁场...
【技术保护点】
１．一种成膜方法，其特征在于，包括：加热处理室，通过使预先配置在该处理室内的金属蒸发材料蒸发，在处理室内形成金属蒸汽气氛的第一工序；以及将保持在比处理室内的温度低的温度上的被成膜物送入该处理室，利用处理室内和被成膜物之间的温差，使前述金属蒸发材料选择性地附着沉积到被成膜物表面的第２工序。
【技术特征摘要】
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