本发明专利技术涉及一种ICP分析装置及其分析方法，活用能进行高灵敏度测定但装置的劣化快的等离子体的发生轴方向测定和装置劣化少但灵敏度低的等离子体的横向测定中各测定的特征而能够进行高灵敏度且减轻了装置的劣化的倾斜方向测定。构成为：为了将所述等离子体喷灯设定为任意角度，以直线状对置地配置等离子体喷灯和聚光部时为基准，使至少一个相对于ICP分析装置中的聚光部的等离子体的光的取进方向转动，从而以任意角度对置。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电感耦合等离子体质量分析装置(ICP-MQ、电感耦合等离子体发光分光(光谱)分析装置(ICP-OES)等电感耦合等离子体(以下，称为ICP)分析装置，特别是涉及其特征在于ICP分析装置的等离子体喷灯(plasma torch)和测光部的ICP分析装置及其分析方法。
技术介绍
图5示出一例现有的ICP分析装置的概略结构图。其中包括产生电感耦合等离子体的等离子体喷灯51 ；对该等离子体喷灯51施加高频电压的感应线圈52 ；将沿着等离子体喷灯51的轴向发生的等离子体的光和沿着与等离子体喷灯51的轴向正交的方向发生的等离子体的光分别引入的聚光部53;以将沿着与等离子体喷灯51的轴向正交的方向发生的等离子体的光入射到分光部56为目标的固定反射镜M ；以及具有选择入射到分光器的光为来自等离子体的发生方向的光和与向发生方向正交的方向发生的光的任一光的功能的可变反射镜阳。通过驱动可变反射镜55，按照分析切换沿等离子体喷灯51的轴向发生的等离子体的光和与等离子体喷灯51的轴向正交的方向发生的等离子体的光，并加以测定(参照专利文献1)。如此，从ICP分析装置中的两个方向聚光等离子体的光，其理由如下。首先，来自轴向的聚光取决于能够令分光器更多地取得中心轴附近的用于分析的光。ICP分析装置的等离子体为环形体结构，等离子体发生方向的中心轴附近为低温区且朝着其周围成为高温区，经过该高温区后再成为低温区。对于环形体结构的等离子体的中心而言，试料沿着其中心轴方向被引入。因而，在等离子体中心的低温区存在较多的试料，换言之，测定灵敏度提高，所以在轴向聚光上有优点。然而，轴向的聚光中，与试料一起也从等离子体获取许多其它的共存物，因此分析结果容易受其影响，此外，在等离子体的中心轴近旁的高温区中有来自等离子体气体的发光，成为分析时的背景(background)。另一方面，在来自等离子体的横向的聚光中，试料的存在概率并不会因越靠近中心轴而越高，而除此以外的其它的共存物的影响较少，因此在提高分析结果的精度这一点上有优点。专利文献1 日本特开平9-318537号公报
技术实现思路
但是，上述现有的ICP分析装置中产生以下课题。即，聚光方向的切换上具有切换用的固定反射镜M及可变反射镜55，因此需要调整多个反射镜，并且需要分别设置这些反射镜的驱动机构。为了满足这些要求，需要适当的控制机构，存在整个装置复杂的问题。此外，为了具备这些机构，成本也会增加。而且，从装置寿命的观点来看，由于轴向取进等离子体的光时聚光部直接受其热量，所以存在所谓的检测部的寿命短的问题。此外，在该方法中，沿着等离子体喷灯51的轴向发生的等离子体的光和沿着与等离子体喷灯51的轴向正交方向发生的等离子体的光的任一光，都不能与灵敏度良好的任意角度对齐。因而，不能从高灵敏度的方向取进来自引入到等离子体的试料的发光，所以尚处于效率低的状态。为了达成上述目的，本专利技术提供以下方案。本专利技术的ICP分析装置，其中包括引入等离子体用气体和雾滴化的试料的等离子体喷灯；施加等离子体喷灯高频电压的感应线圈；对来自通过由感应线圈的高频电压发生的等离子体来激发的试料的发光进行聚光的聚光部；以及具有对聚光后的光的发光光谱进行分光的分光部的分析处理部，其特征在于，具备角度调整机构，为了将等离子体喷灯调整到任意角度，能够使聚光部和等离子体喷灯相对于聚光部的等离子体的光的取进方向做相对移动。角度调整机构作成使等离子体喷灯和/或聚光部的至少一个可动，并且能取进来自等离子体的倾斜方向的光。此外，该可动机构作成将等离子体喷灯前端和检测器的聚光部以直线状对置配置的位置为基准，通过转动其中的任一个或两个，从而能够相对转动。(专利技术效果)本专利技术的ICP分析装置及其测定方法，在用ICP分析装置进行向聚光部取进等离子体光之际，不仅等离子体光的轴向或其正侧面方向，都能从灵敏度良好的任意方向以高效率实施。此外，使等离子体和来自此处的光的聚光部在轴向非对置，从而减轻装置因加热而所受的负荷，并且能够延长装置的寿命。附图说明图1是表示整个本专利技术的ICP分析装置的简要图。图2是表示本专利技术的ICP分析装置所涉及的等离子体喷灯和检测器的第一实施方式的简要图。图3是表示本专利技术的ICP分析装置所涉及的等离子体喷灯和检测器的第二实施方式的简要图。图4是表示本专利技术的ICP分析装置所涉及的等离子体喷灯和检测器的第三实施方式的简要图。图5是表示一例现有的ICP分析装置的等离子体喷灯外围部分的结构图。 具体实施例方式以下，参照图1，简要说明本专利技术的ICP分析装置。此外，附图中对于尺寸比不重要的部分适宜变更尺寸比而加以记载。图1示出作为本专利技术的ICP装置进行分光分析的装置的简要图。从气体控制部17向等离子体喷灯13供给用于形成等离子体的气体(氩、氮、氦等)。等离子体喷灯13的上方成为开口部，在其上端部外周边配置有感应线圈12，从气体控制部17供给的气体，受到来自高频电源16的电力而激发/发光，从等离子体喷灯13的上方的开口部生成等离子体11。用喷雾器15，试料与载气(carrier gas) 一起被雾化后经由喷室14，由等离子体喷灯13的内管(inner tube)被引入到等离子体11的中心附近，被激发而发光。来自等离子体11的光，被取进聚光部2后引导到分光部31。然后，在分光部31中检测到的输出，输入数据的运算处理部33，显示在该运算处理部33所附带的监视器上。作为运算处理部33，可以使用市场上销售的个人计算机(PC)。高频电源16或分光器31的测定时的控制是通过电子控制台32来进行的。角度调整机构4是调整聚光部2和等离子体喷灯13对置的角度的机构，以使聚光部2能从任意方向取进来自等离子体11的光。该角度调整机构4能通过来自运算处理部 33的指令进行控制。作为其方法，使聚光部2和/或等离子体喷灯13相对于中心0以虚线的圆上为轨道转动而进行。以下，举例说明聚光部2和等离子体喷灯13对置的角度的调整。(第一实施方式)首先，参照图2，说明本专利技术的ICP分析装置的第一实施方式。图2示出一例本专利技术的ICP分析装置的等离子体喷灯13和聚光部2的结构的简要图。如该图所示，聚光部2固定其位置，等离子体喷灯13成为以与聚光部2对置的位置为基准(A-A’)，能取任意的角度位置的可动方式。可动是由角度调整机构4控制的，使等离子体喷灯13在电感器131a上移动。这时，等离子体喷灯13与电感器131a —体地驱动。在电感器131a的驱动前后，设等离子体喷灯131a和感应线圈12的位置关系不会变更。等离子体喷灯13也可以为这样的机构通过设能承载的未图示的设置部来设置，并且该设置部被设置为能在电感器131a移动。电感器131a为1/4圆弧的形状，能使等离子体喷灯13相对于聚光部2在包括从等离子体的轴向(A-A’)到等离子体的正侧面方向QA-2A’)在内的0 90度的范围取任意角度。因而，考虑试料的情况的灵敏度或装置的寿命，能设定最佳角度。具体而言，通过未图示的固定具，等离子体喷灯13被安装于电感器131a，例如通过弹簧的压力等来固定在电感器131a。在该情况下，电感器131a的主体部能使用具有凹凸部的轨道状部件等。此外，等离子体喷灯13能够拆装，并且安装到任意位置。角度调整本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种ＩＣＰ分析装置，其中包括：等离子体喷灯，引入等离子体用气体和雾滴化的试料；感应线圈，向所述等离子体喷灯施加高频电压；聚光部，对来自试料的发光进行聚光，该试料利用由该感应线圈的高频电压产生的等离子体来激发，从而发光；以及分析处理部，具有对聚光后的光的发光光谱进行分光的分光部，其特征在于，具备角度调整机构，为了将所述等离子体喷灯调整为任意角度，能够使等离子体喷灯和聚光部相对于所述聚光部的等离子体的光的取进方向做相对移动。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：田边英规，长泽宽治，赤松宪一，松泽修，中野信男，
申请(专利权)人：精工电子纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。