薄膜图案的制造设备和方法技术

本发明专利技术公开了一种薄膜图案的制造方法和设备，其能够在将压印模具从基板脱模的脱模工艺中在压印模具和基板之间形成脱模种子。薄膜图案的制造方法包括在基板的边缘区域之外的其它区域上涂覆压印树脂，通过将压印模具与压印树脂接触而在基板上形成薄膜图案；以及将所述压印模具从所述基板脱模。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及当在分离工艺中将压印模具从基板脱模时能够在压印模具和基板之间形成脱模种子(demolding seed)的薄膜图案制造设备以及薄膜图案制造方法。
技术介绍
近来已经引入了多种平板显示设备，其能够克服阴极射线管(CRT)的重量和体积缺陷。这种平板显示设备包括液晶显示器、场发射显示器、等离子体面板和电致发光(EL)显不器。这种平板显示设备可以由通过包括沉积(涂覆)工艺、曝光工艺、显影工艺和蚀刻工艺的掩膜工艺形成的多个薄膜来配置。然而，掩膜工艺具有因复杂的制造工艺产生的高制造成本的问题。因此，最近进行了使用压印模具(imprinting mold)在构图工艺形成薄膜的研究。根据这种构图工艺，压印树脂被涂覆在基板上。之后，具有凹槽和突起的压印模具与压印树脂接触。当压印模具的凹槽和突起被反向地转印到压印树脂时，反向转印的压印树脂被在硬化工艺中硬化。从而在基板上形成了期望的薄膜图案。在此，压印模具与压印树脂接触时施加的压力使得压印模具与基板之间的缝隙变窄。因此，如图1所示，压印树脂6以毛细管的形状被扩展至基板4的端部。在此情况下， 压印模具2和基板4之间的脱模种子不能被适当地形成因而压印模具2和基板之间的脱模工艺不能被正确地进行。
技术实现思路
因此，本专利技术涉及一种薄膜图案的制造方法和设备。本专利技术的目的是提供一种能够在压印模具和基板之间顺利地形成脱模种子的薄膜图案的制造方法和设备。本专利技术的额外的优点、目的和特征将在随后的说明中阐述，并且部分将在查看随后的说明之后对本领域技术人员明显或者可以从本专利技术的实施中学到。本专利技术的目的和其它优点可以通过书面说明和权利要求书以及所附的附图中具体指出的结构实现和获得。为了实现这些和其它优点，并根据本专利技术的目的，如本文举例和广泛描述的，一种薄膜图案的制造方法，包括在基板的边缘区域之外的其它区域上涂覆压印树脂；通过将压印模具与压印树脂接触在基板上形成薄膜图案；以及将所述压印模具从所述基板脱模。在本专利技术的另一方面，一种薄膜图案的制造设备，包括涂覆部件，配置为将压印树脂涂覆在基板的边缘区域以外的其它区域上；以及压印系统，被配置为通过将压印模具与压印树脂接触在基板上形成薄膜图案所述压印系统被配置为将所述压印模具从所述基板脱模。根据本专利技术，通过使用喷射涂覆器，压印树脂被选择性地不涂覆在基板的边缘区域上，或者，涂覆在有源区域上。即，压印树脂不被涂覆在基板的有源区域以外的非有源区域。因此，在基板和压印模具之间执行的脱模工艺中非涂覆区域被用作脱模种子。结果，根据本专利技术，压印模具可以稳定地被从基板脱模，并且脱模工艺时间可以被因此减少。另外， 根据本专利技术，非涂覆区域被用作脱模种子。结果，压印模具和基板可以以比用于形成现有的脱模种子的力相比相对小的力脱模。因此由施加给模具的力产生的模具形变能够被防止， 并且模具使用寿命可以被增强。另外，根据本专利技术，通过使用喷射涂覆器，无溶剂的用于压印的树脂可以被涂覆成为薄膜图案。因此能够增大基板。应理解本专利技术的上述总体描述和随后的详细描述都是示例性和说明性的，意在提供对要求权利的本专利技术的进一步解释。附图说明所附的附图被包括以提供本公开的进一步理解，其被并入并且组成了本申请的一部分，例示本公开的实施方式，与说明书一起用于解释本公开的原理。在附图中图1是例示现有的压印树脂的过度扩展的截面图；图2是例示根据本专利技术的薄膜制造设备的框图；图3是例示图2的涂覆部件的截面图；图4是例示使用由喷射涂覆器配置的涂覆部件涂覆压印树脂的方法的立体图；图5A和图5B是例示根据本专利技术的涂覆在基板的边缘部分之外的其它区域的压印树脂的平面图；图6是例示选择性地涂覆在基板的有源区域上的压印树脂的平面图；图7A到图7E是例示根据本专利技术的薄膜图案的制造方法的截面图；图8是例示具有根据本专利技术的薄膜图案的液晶显示板的立体图。具体实施例方式下面将详细参照本专利技术的具体实施方式，其示例在所附的附图中例示。在可能的情况下相同附图标记将在附图中用以指代相同或者类似部件。随后，将参照附图详细描述本专利技术的示例实施方式。图2是例示根据本专利技术的示例实施方式的薄膜图案制造设备的图。图2所示的薄膜制造设备包括涂覆部件120、包括结合部件142、硬化部件144和脱模部件146的压印系统140。涂覆部件120、结合部件142、硬化部件144和脱模部件146 排列为一条线。涂覆部件120在被加载部件110转送的基板上涂覆压印树脂。液体聚合物前驱体 (precursor)被用作被涂覆部件120涂覆在基板上的压印树脂。涂覆部件120可以是能够将诸如液体聚合物前驱体的不具有溶剂的预定材料涂覆为薄膜的喷射涂覆器。由喷射涂覆器配置的涂覆部件120包括保持器122、限制器124、压力腔126、喷嘴 128和振动板130和压电元件132。保持器122保持液体聚合物前驱体并且将压印树脂经过限制器IM提供到压力腔 126。保持器122通过限制器124与压力腔126导通。限制器124起到液体聚合物前驱体从保持器122到压力腔126的通道的作用。当振动板130被压电元件振动时，限制器IM 可以调整从保持器122提供到压力腔126的液体聚合物前驱体的量。同时，限制器IM被形成在喷射涂覆器120的上部区域，其中预定表面被振动板130覆盖，并且压电元件132连接到振动板130的顶表面，对应于限制器124的位置。压力腔126与限制器124连接以与保持器122导通。压力腔126具有与限制器连接的表面并且经由与限制器IM连接的表面以及与该表面相对的另一表面与喷嘴1 连接。此结构允许压力腔1 容纳经过限制器IM来自保持器122的液体聚合物前驱体并将液体聚合物前驱体再提供到喷嘴，使得可以进行涂覆工艺。在此，压力腔具有被振动板130 覆盖的表面，并且类似于限制器124的情况，压电元件132与振动板130的对应于压力腔 126的位置的顶表面连接。压电元件132与振动板130的对应于限制器124的位置的顶表面连接，并且其根据电源134产生振动。即，压电元件132根据向其提供的电压产生振动并且被采用以经过振动板130向限制器IM提供预定压力。与压力腔1 连接的喷嘴1 被用以排出压印树脂。当压电元件132产生的振动经过振动板130传到压力腔126时，压力被施加到压力腔126，并且该压力允许喷嘴1 喷出液体聚合物前驱体(向基板排出)，使得可以进行涂覆工艺。振动板130被形成为超出压力腔1 和限制器IM之外。这种振动板130可以连接到压力腔126和限制器124的顶部区域作为附属结构，并且可以以其它各种方法形成。振动板130是用于将由压电元件132产生的振动转移到压力腔126的转移装置。 因此，振动板130可以由具有例如金属和陶瓷材料的足够弹性的材料或者结构配置。由上述喷射涂覆器配置的涂覆部件120使用压电或者电场调整将真正涂覆在基板上的液体聚合物前驱体的量。因此，没有溶剂的液体聚合物前驱体可以被涂覆为薄膜。换句话说，如图4所示，由喷射涂覆器配置的涂覆部件120经过每个喷嘴1 排出至少一滴液体聚合物前驱体114在基板101上。所排出的液体聚合物前驱体114被向上/向下和向右 /向左方向拉平以完全涂覆在基板101上。结果，压印树脂112被形成在基板101上。同时，考虑到本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种薄膜图案的制造方法，所述方法包括：在基板的边缘区域之外的其它区域上涂覆压印树脂；通过将压印模具与所述压印树脂接触，在所述基板上形成薄膜图案；以及将所述压印模具从所述基板脱模。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：权当，宋泰俊，赵恒燮，赵圣弼，金淏洙，张斗熙，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR