【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种检查装置，以安装元件之前的安装前基板和安装元件之后的已安装基板中的至少其中之一作为被检查对象，对该被检查对象的测定要部进行光学检查，其特征在于包括：照射部，对所述测定要部照射光；受光部，将从所述测定要部反射的来自所述照射部的光作为反射光而接收；驱动部，使所述照射部以及所述受光部中的至少其中之一与作为所述被检查对象的基板相对移位，来调整从所述照射部向所述测定要部的所述光的入射路径的始点与从所述测定要部向所述受光部的所述反射光的反射路径的终点在俯视观察时相向的朝向；拍摄部，拍摄至少包含所述测定要部的所述被检查对象的表面；以及控制部，控制所述驱动部，使所述驱动部根据所述拍摄部拍摄的图像调整所述朝向。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：角田阳，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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