【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及扩展装置，特别涉及具备包括晶圆的晶圆环构造的扩展装置。
技术介绍
1、以往，已知有具备包括晶圆的晶圆环构造的扩展装置。这样的扩展装置例如在日本特许第5243101号公报中被公开。
2、在上述日本特许第5243101号公报中，公开了一种具备包括晶圆的晶圆环构造的断裂装置(扩展装置)。在此，在晶圆环构造中，晶圆经由薄膜状粘接材料安装于保护带。保护带具有伸缩性。保护带安装于环形框架。在晶圆形成有用于分割成多个芯片的断裂线。
3、上述日本特许第5243101号公报的断裂装置构成为使晶圆沿着格子状的断裂线断裂。断裂装置具备框架保持单元、保护带扩张单元、冷气导入单元和箱体。框架保持单元构成为保持环形框架。保护带扩张单元构成为，在由框架保持单元保持环状框架的状态下，扩张保护带，由此使晶圆沿着断裂线断裂。冷气导入单元构成为，通过向封闭的箱体内导入冷气，由此将保护带冷却至晶圆容易断裂的温度。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特许第5243101号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、但是，在上述日本特许第5243101号公报的断裂装置中，在由冷气导入单元冷却保护带时，为了封闭(密闭)冷气而由盖状的箱体从上方覆盖安装有晶圆的保护带，因此难以从上方接近晶圆。因此，在上述日本特许第5243101号公报的断裂装置中，在由冷气导入单元(冷气供给部)冷却保护带(片构件)时，期望在确保能够从上方
3、本专利技术是为了解决上述那样的课题而完成的，本专利技术的一个目的在于提供一种扩展装置，在由冷气供给部冷却片构件时，能够在确保能够从上方接近晶圆的路径的状态下冷却片构件。
4、用于解决课题的技术方案
5、本专利技术的一个方面的扩展装置具备：晶圆环构造，包括能够沿着分割线分割的晶圆、粘贴有晶圆且具有伸缩性的片构件和以包围晶圆的状态粘贴于片构件的环状的环状构件；扩展部，包括把持环状构件的夹持部，在由夹持部把持环状构件的状态下，通过使片构件扩展而沿着分割线将晶圆分割；及冷气供给部，在由扩展部使片构件扩展时，向片构件供给冷气，冷气供给部构成为，在由夹持部把持环状构件并且将比夹持部靠上侧的空间不密闭而开放的状态下，向被夹持部和晶圆环构造包围的凹部供给冷气，由此将冷气积存于凹部。
6、在本专利技术的一个方面的扩展装置中，如上所述，冷气供给部构成为，在由夹持部把持环状构件并且将比夹持部靠上侧的空间不密闭而开放的状态下，向被夹持部和晶圆环构造包围的凹部供给冷气，由此将冷气积存于凹部。由此，能够不向箱体等密闭空间供给冷气而在凹部积存冷气来冷却片构件，因此在由冷气供给部冷却片构件时，能够在确保能够从上方接近晶圆的路径的状态下冷却片构件。
7、在上述一个方面的扩展装置中，优选地，凹部包括：夹持部的内侧面和环状构件的内侧面；及底面，由片构件的上表面构成。如果这样构成，则由于利用夹持部的内侧面、环状构件的内侧面和片构件的上表面构成了凹部，因此仅通过夹持部把持环状构件就能够形成凹部。其结果是，能够容易地形成上方开放的凹部。
8、在上述一个方面的扩展装置中，优选地，冷气供给部包括冷气供给口，该冷气供给口在由夹持部把持环状构件的状态下配置于比晶圆靠上方处，并从上方朝向下方供给冷气。如果这样构成，则能够使从冷气供给口供给的冷气直接朝向凹部的底部流动，因此能够高效地将冷气积存于凹部。
9、在上述一个方面的扩展装置中，优选地，冷气供给部构成为能够在上下方向上移动，冷气供给部构成为，在向下方向移动而配置于凹部内的位置的状态下，向凹部供给冷气。如果这样构成，则与在将冷气供给部配置(固定)于凹部外的状态下向凹部供给冷气的情况不同，能够抑制冷气向凹部外流动，因此能够可靠地向凹部内供给冷气。
10、在该情况下，优选地，还具备供冷气供给部固定的固定构件，在上下方向上，凹部的深度比固定构件的长度大。如果这样构成，则能够确保凹部的深度，因此能够在凹部内积存更多的冷气。
11、在上述一个方面的扩展装置中，优选地，还具备冷却单元，该冷却单元能够在由夹持部把持环状构件的状态下从下方冷却片构件，冷却单元包括冷却构件，该冷却构件具有珀尔帖元件，且在被珀尔帖元件冷却的状态下从下方与片构件接触。如果这样构成，则不仅能够通过冷气供给部，还能够通过冷却构件冷却片构件，因此能够更有效地冷却片构件。
12、在该情况下，优选地，还具备控制部，该控制部进行在凹部内积存冷气而从上方冷却片构件的由冷气供给部进行的冷却和从下方冷却片构件的由冷却单元进行的冷却这两者的控制。如果这样构成，则能够由控制部通过冷气供给部和冷却单元这两者冷却片构件，因此能够充分地冷却片构件。
13、在上述一个方面的扩展装置中，优选地，夹持部包括：下侧把持部，从下侧支承环状构件；及上侧把持部，构成凹部的内侧面中的比环状构件靠上侧的部分，并从上侧按压环状构件。如果这样构成，则利用由下侧把持部和上侧把持部把持环状构件的状态下的上侧把持部的内侧面构成了凹部，因此能够使用于形成凹部的结构和把持环状构件的结构共用化。其结果是，能够抑制扩展装置的结构的增加。
14、在该情况下，优选地，上侧把持部具有多个滑动移动体，该多个滑动移动体能够在水平方向上向晶圆侧的内侧方向和与晶圆侧相反的一侧的外侧方向滑动移动。如果这样构成，则与多个滑动移动体在上下方向上移动的情况不同，能够抑制多个滑动移动体的每一个与配置于比上侧把持部靠上侧的结构之间的干涉，因此能够抑制扩展装置中的配置于比上侧把持部靠上侧的结构的配置的自由度的降低。
15、专利技术效果
16、根据本专利技术，如上所述，在由冷气供给部冷却片构件时，能够在确保能够从上方接近晶圆的路径的状态下冷却片构件。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种扩展装置，具备：
2.根据权利要求1所述的扩展装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的扩展装置，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的扩展装置，其中，
5.根据权利要求4所述的扩展装置，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的扩展装置，其中，
7.根据权利要求6所述的扩展装置，其中，
8.根据权利要求1至7中任一项所述的扩展装置，其中，
9.根据权利要求8所述的扩展装置，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种扩展装置，具备：
2.根据权利要求1所述的扩展装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的扩展装置，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的扩展装置，其中，
5.根据权利要求4所述的扩展装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木芳邦，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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