检查装置以及检查方法制造方法及图纸

一种检测装置，经由ＡＣＦ（５００）对安装在面板（２００）的表面上的部件（２０１）从规定的安装位置的偏移量进行检测，其具备：红外光照明（３０５），对在面板（２００）表面上形成的面板识别标识（５３０）以及在部件（２０１）表面上形成的部件识别标识（５２０）照射红外线；ＩＲ摄像机（３０７），相对于面板（２００）配置在红外光照明（３０５）的相反侧，对被照射了红外光的面板识别标识（５３０）以及部件识别标识（５２０）进行摄像；以及偏移量计算部，根据作为ＩＲ摄像机（３０７）的摄像结果的图像，对面板识别标识（５３０）以及部件识别标识（５２０）之间的位置关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；红外光照明（３０５）的光轴相对于面板（２００）或者部件（２０１）的表面法线倾斜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，尤其涉及对电子部件向基板的安装状态进行 检查的。
技术介绍
一直以来，进行如下作业，S卩，在具有由IT0(Indium Tin Oxide)等构成的电极 的液晶显示器以及等离子显示器等平板显示器(以下称为面板)上，安装具有电极的 TAB (Tape Automated Bonding)基板、半导体元件以及挠性基板等电子部件(以下称为部 件)。在该安装中，在使各向异性导电粘结剂薄片隔在部件与面板之间的状态下，进行 部件向面板的临时压接以及正式压接，并接合面板的电极和部件的电极。在临时压接中，通 过热压接加压头来较弱地按压部件而进行部件的临时压接，在之后的正式压接中，通过热 压接加压头以比低压接高的温度和高的压力来按压被临时压接的部件，而进行部件的正式 压接。并且，通过检查装置检测部件从规定的安装位置的相对的偏移量(错位量)。所检测 的错位量被反馈到下一个面板的部件安装中，进行修正了错位的安装。作为检测部件的错位量的检查装置，例如具有专利文件1所记载的装置。在该检 查装置中，偏移量的检查如下进行将设置在面板(透明基板)上的对准标识与设置在部件 上的对准标识之间的偏移量检测为安装在面板上部件的错位量。专利文件1 日本特开2006-40978号公报然而，在专利文件1记载的检查装置中，部件的对准标识的位置如下检测从面板 的背面(在面板上未安装部件一侧的面板的面)侧对该对准标识照射近红外光，并在面板 的背面侧通过摄像装置对该对准标识进行摄像，根据其摄像结果来检测。但是，近红外光不 透过或者难以透过金属等导电性粒子，因此即使从面板的背面侧照射近红外光，近红外光 也不会到达设置在部件上的对准标识，而不能够对部件的对准标识进行摄像。随着部件的 安装间距的小间距化发展，导电性粒子的微小化、高密度化发展，通过导电性粒子容易遮挡 光，因此光更加难以到达部件的对准标识。结果，难以识别部件的对准标识，因此随着部件 的安装间距的小间距化发展，该问题变得更加显著。因此，在该专利文件1的检查装置中， 经由包含ACF等导电性粒子的结合部件而检测出安装在面板上的部件的错位量，是极其困 难的。
技术实现思路
因此，本专利技术是鉴于上述问题而进行的，其目的在于提供能够经由包含导电性粒 子的粘接部件而能够高精度地检测出安装在面板上的部件的错位量的检查装置以及检查 方法。为了实现上述目的，本专利技术的检查装置为，通过含有导电性粒子的粘接部件而检 测安装在面板的表面上的部件相对于规定安装位置的偏移量，其特征在于，具备照明构件，对在面板的表面上形成的面板识别标识以及在与安装有部件的面板的表面相对的上述 部件的表面上形成的部件识别标识照射光；摄像机，配置在面板的与上述照明构件相反一 侧，对被照射了上述光的面板识别标识以及部件识别标识进行摄像；以及计算构件，根据作 为上述摄像机的摄像结果的图像，对上述面板识别标识以及上述部件识别标识之间的位置 关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；上述照明构件用透过面板以及部件、且不透过 或者难以透过上述导电性粒子的波长的光进行照射，上述照明构件的光轴相对于上述面板 或者部件的表面法线倾斜。由此，使用光轴相对于面板或者部件的表面法线倾斜的照明构件对面板识别标识 以及部件识别标识进行摄像。因此，来自照明构件的光由于导电性粒子而容易散射，散射光 进入摄像机而形成面板识别标识以及部件识别标识的图像，因此能够抑制由于导电性粒子 的影响而不能够识别面板识别标识以及部件识别标识的情况。结果，能够降低导电性粒子 的影响而计算出部件的错位量，因此能够经由包含导电性粒子的粘接部件而能够高精度地 检测出安装在面板上的部件的错位量。在此，上述照明构件的光轴也可以与上述面板识别标识或部件识别标识交叉。并 且，上述照明构件的光轴优选为，相对于上述面板或者部件的表面成为大于等于45°、小于 60°的角度。并且，上述照明构件配置在面板安装有部件一侧的相反侧的面板的背面侧， 上述照明构件的光轴优选与上述部件识别标识交叉，并与上述部件的表面成为大于等于 45°、小于60°的角度。由此，能够将来自照明构件的光直接照射到面板识别标识以及部件识别标识上， 因此不需要使用光量较大的照明构件，能够实现低消费电力化。并且，上述照明构件的光轴也可以不与上述面板识别标识以及部件识别标识交 叉。此时，上述照明构件的光轴优选为，相对于上述面板或者部件的表面成为大于等于 50°、小于85°的角度。并且，上述照明构件配置在面板安装有部件一侧的相反侧的面板 的背面侧，上述照明构件的光轴优选与上述部件识别标识的表面成为大于等于50°、小于 85°的角度。由此，能够得到能够进行面板识别标识以及部件识别标识的清楚的识别的图像的 角度范围扩大为大于等于50°、小于85°，因此能够提高设计自由度。并且，上述照明构件优选由从不同方向对上述面板识别标识以及部件识别标识照 射光的多个照明构成。此时，上述多个照明优选分别被配置为，该照明的光轴与构成上述面 板识别标识或者部件识别标识的轮廓的直线部正交。由此，能够得到面板识别标识以及部件识别标识的边缘被强调了的图像。并且，本专利技术为一种检查方法，是通过含有导电性粒子的粘接部件而检测安装在 面板的表面上的部件相对于规定安装位置的偏移量的方法，其特征在于，具备照明步骤， 对在面板的表面上形成的面板识别标识以及在与安装有部件的面板的表面相对的上述部 件的表面上形成的部件识别标识照射光；摄像步骤，配置在面板的与上述照明构件相反一 侧，对被照射了上述光的面板识别标识以及部件识别标识进行摄像；以及计算步骤，根据作 为上述摄像机的摄像结果的图像，对上述面板识别标识以及上述部件识别标识之间的位置 关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；在上述照明步骤中，以透过面板以及部件、且不 透过或者难以透过上述导电性粒子的波长的光进行照射，上述照明的光轴相对于上述面板5或者部件的表面法线倾斜。由此，能够经由包含导电性粒子的粘接部件而能够高精度地检测出安装在面板上 的部件的错位量专利技术的效果根据本专利技术，能够发挥的效果为，能够实现能够经由包含导电性粒子的粘接部件 而能够高精度地检测出安装在面板上的部件的错位量的。附图说明图1是表示本专利技术实施方式的部件安装系统的整体构成的概念图。图2是表示在该部件安装系统的面板安装机中部件被安装到面板上的情况的图。图3的(a)是表示该部件安装系统的检查机的概略构成的立体图。图3的(b)是 表示通过该部件安装系统的检查机来检查完成安装面板的情况的图。图4是表示在检查机中对面板识别标识以及部件识别标识照射红外光的情况的 图。图5是表示该部件安装系统的概略构成的功能框图。图6是表示该部件安装系统的反馈动作的顺序图。图7的(a)是表示部件识别标识的一个例子的图。图7的(b)是表示面板识别标 识的一个例子的图。图7的(c)是表示面板识别标识的一个例子的图。图7的(d)是表示 部件识别标识以及面板识别标识的一个例子的图。图7的(e)是表示部件识别标识以及面 板识别标识的一个例子的图。图8的(a)是表示部件识别标识的一个例子的图。图8的(b)是表示面板识别标 识的一个例子的图。图8的(c)是表示部件识别标识以及面板识别标识的一个例子的图。图9的(a)是表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置，通过含有导电性粒子的粘接部件而检测安装在面板的表面上的部件相对于规定安装位置的偏移量，其特征在于，具备：照明构件，对在面板的表面上形成的面板识别标识以及在与安装有部件的面板的表面相对的上述部件的表面上形成的部件识别标识照射光；摄像机，配置在面板的与上述照明的相反一侧，对被照射了上述光的面板识别标识以及部件识别标识进行摄像；以及计算构件，根据作为上述摄像机的摄像结果的图像，对上述面板识别标识以及上述部件识别标识之间的位置关系从规定的位置关系的偏移量进行计算；上述照明构件用透过面板以及部件、且不透过或者难以透过上述导电性粒子的波长的光进行照射，上述照明构件的光轴相对于上述面板或者部件表面的法线倾斜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩桥俊，辻川俊彦，片山敦，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]