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一种斜向ZnO纳米线阵列及其生长方法技术

技术编号:6796757 阅读:360 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开的斜向ZnO纳米线阵列,其ZnO纳米线与衬底表面呈55~65°夹角,向相反的方向交叉有序排列。采用热蒸发法生长。本发明专利技术的斜向ZnO纳米线阵列的生长方法简单易行,重复性高,通过调节源材料加热温度、衬底与源材料的距离、源材料的质量和生长时间,可以制备尺寸和密度可控且分布均匀的斜向ZnO纳米线阵列。所制备的斜向ZnO纳米线阵列具有高度的有序性和高的晶体质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ZnO纳米线阵列,尤其涉及。
技术介绍
ZnO作为一种宽禁带半导体材料,由于具有高达60 meV的激子束缚能,近年来成为发光二极管和紫外激光器等光电子器件的热门备选材料,具有很好的应用潜力。一维ZnO 纳米材料作为最优异的半导体纳米材料之一,在光学、电输运、压电、光电、场发射、光催化、 稀磁等性能上具有显著特点,因此在纳米光电子器件上的应用也成为全世界的研究热点。 目前,在一维ZnO纳米材料研究领域,关注的重点包括一维ZnO纳米材料的可控及高产率制备、结构与性能调控、纳米器件组装、纳米材料及器件的性能测试与评估等方面。制备ZnO纳米阵列的方法很多,基本步骤主要包括选择合适的衬底、生长缓冲层、 生长纳米线等。而合成纳米线阵列的主要方法包括热蒸发法、溶液法、脉冲激光沉积法 (PLD )、分子束外延法(MBE )、金属有机化学气相沉积法(MOCVD )等。溶液法虽然条件温和, 且制备简单,重复性高,但由于在反应过程中ZnO纳米线是随机合成的,因此取向性较差, 且晶体质量不高;而热蒸发法合成的ZnO纳米线阵列具有较高的晶体质量和相对较为简单可行的方法而被广泛采用。现阶段报道本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种斜向ZnO纳米线阵列,其特征在于所述的ZnO纳米线与衬底表面呈55~65°夹角,向相反的方向交叉有序排列。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:叶志镇张宏海吕建国杨晓朋黄俊李洋
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:86

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