【技术实现步骤摘要】
本技术属于流体设备，尤其涉及一种磁悬浮分子泵系统。
技术介绍
磁悬浮分子泵是利用磁轴承产生电磁力使转子悬浮在空中，实现转子和定子之间无机械接触且转子位置可主动控制的一种新型高性能分子泵。由于磁悬浮分子泵具有无摩擦、无需润滑、无污染、高速度、寿命长等优点，因此磁悬浮分子泵广泛用于高真空度、高洁净度的真空获得领域。磁悬浮分子泵的负载由径向磁轴承和轴向磁轴承共同承担。在工作过程中，磁悬浮分子泵可能需要在任意位置安装。磁悬浮安装在不同安装位置时，径向磁轴承和轴向磁轴承分担的负载不同，磁轴承线圈电流也随之变化，因此需要合理分配磁轴承承载力。针对分子泵安装角α和旋转角β变化的问题，较常见的方法是将径向和轴向磁轴承偏置电流始终取各种安装情况下所需值的最大值，以保证磁轴承产生的静态磁场满足承载需求，避免出现径向磁轴承和轴向磁轴承的承载力不足；同时在分子泵安装角α和旋转角β变化时，采用固定的控制算法保证系统稳定。上述方案的缺陷在于将径向和轴向磁轴承偏置电流均取最大值将导致大部分工况下磁轴承线圈偏置电流过大，功耗增加，线圈发热严重。不论分子泵安装角α和旋转角 β如何变化，控制程序...
【技术保护点】
１．一种磁悬浮分子泵系统，包括磁悬浮分子泵，所述磁悬浮分子泵具有轴向磁轴承和径向磁轴承；其特征在于：还包括第一电流检测装置，与所述磁悬浮分子泵电路连接，用于检测所述磁悬浮分子泵实现静态悬浮时的径向磁轴承静态电流；第二电流检测装置，与所述磁悬浮分子泵电路连接，用于检测所述磁悬浮分子泵实现静态悬浮时的径向磁轴承静态电流；位移检测装置，设于所述磁悬浮分子泵的转子处，用于在分子泵工作时检测的转子位移，和计算输出转子位移偏差和转子位移偏差变化率信息；预设参数存储介质，用于存储模糊规则信息和相应的预设模糊控制数据；控制装置，所述控制装置分别与所述磁悬浮分子泵、所述电流检测装置和所述位移...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张凯，张小章，李奇志，邹蒙，武涵，
申请(专利权)人：清华大学，北京中科科仪技术发展有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：11
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