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本实用新型涉及一种磁悬浮分子泵系统，包括磁悬浮分子泵，所述磁悬浮分子泵具有轴向磁轴承和径向磁轴承；第一电流检测装置，用于检测径向磁轴承静态电流；第二电流检测装置，用于检测径向磁轴承静态电流；位移检测装置，用于检测转子位移，和计算输出转子位移...该专利属于清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司授权不得商用。