具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器制造技术

技术编号:6761537 阅读:307 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器,包括依次层叠的N型金属层、N型层、铝镓铟磷有源区、P型层、P型金属层。所述的N型金属层由N型欧姆接触金属层、阻挡金属层和保护金属层层叠而成。本实用新型专利技术提出的三明治结构式的N型金属层,使N电极的可靠性提高,从而降低了器件失效概率,提高了器件可靠性。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件,尤其涉及一种铝镓铟磷系化合物半导体发光器。
技术介绍
作为市场上最炙手可热的半导体材料,铝镓铟磷材料的应用已经得到迅猛的发展。业界一般使用导电银浆把铝镓铟磷发光器固晶于金属支架上。在铝镓铟磷系发光器件结构上,N型金属层处于器件底部,再通过导电银浆和支架连接,起导通作用。常规的N型金属层由N型欧姆接触金属层和保护金属层组成,常规的N型欧姆接触金属层金属组份为金锗镍合金,保护金属层为金。在目前的铝镓铟磷系发光器件的使用中,经常发生器件由于 N型金属层和固晶银浆脱离而导致器件失效的情况,后续分析发现N型金属层中的N型欧姆接触金属层金属锗和镍穿透出保护层,在表面氧化形成氧化锗和氧化镍,造成N型金属层和银浆脱离接触,呈现开路现象,从而造成器件失效故障。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有技术中N型金属层可靠性较差的技术问题,提出一种改进的具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器。为解决上述技术问题,本技术提出的一种具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器,包括依次层叠的N型金属层、N型层、铝镓铟磷有源区、P型层、P型金属层。所述的N型金属层由N型欧姆接触金属层、阻挡金属层和保护金属层层叠而成。其中所述的阻挡金属层可以由钼、钨或钽任一种金属材料制作。与现有技术相比,本技术的N型金属层采用三明治结构,由于在N型欧姆接触金属层5和保护金属层7层之间增加了一阻挡金属层6,则可以阻挡N型欧姆接触金属层5 内的金属锗和镍容易穿透出保护金属层6,而造成器件失效的发生。大大提高了器件的可靠性。以下结合附图和实施例对本技术作详细的说明,其中附图说明图1是现有技术半导体发光器件的截面示意图;图2是本技术实施例的截面示意图。具体实施方式请参阅图1,现有的铝镓铟磷系化合物半导体发光器件包括顺序叠加的N型金属层、N型层4、铝镓铟磷有源区3、P型层2、P型金属层1。而N型金属层由欧姆接触金属层 5和保护金属层6构成。该结构中N型欧姆接触金属层5内的金属锗和镍容易穿透出保护金属层6,在表面氧化形成氧化锗和氧化镍,造成N型金属层在金属支架上开路,从而造成器件失效故障。图2显示出了本技术的实施例的结构,其主体结构与现有铝镓铟磷系化合物半导体发光器件基本相同,也包括顺序叠加的N型金属层、N型层4、铝镓铟磷有源区3、P型层2、P型金属层1。所不同的是N型金属层采用三明治结构,由N型欧姆接触金属层5、阻挡金属层6和保护金属层7层叠而成。阻挡金属层6采用高密度的钼、钨或钽任一种金属制作。由于在N型欧姆接触金属层5和保护金属层7层之间增加了一阻挡金属层6,则可以阻挡N型欧姆接触金属层5内的金属锗和镍容易穿透出保护金属层7,而造成器件失效的发生。大大提高了器件的可靠性。在半导体器件工艺过程中,通常采用金属镀膜的工艺将金属层蒸镀到半导体晶圆表面,通常N型金属层镀膜一次完成,即N型欧姆接触金属层,阻挡金属层和保护金属层在一次镀膜工序中完成,相对于常规结构,生产工序没有大的区别。实验证明,本技术发光器件的可靠性稳定提高,失效率降低万分之 3(300ppm)。权利要求1.一种具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器,包括依次层叠的N型金属层、N 型层、铝镓铟磷有源区、P型层、P型金属层,其特征在于所述的N型金属层由N型欧姆接触金属层、阻挡金属层和保护金属层层叠而成。2.如权利要求1所述的具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器,其特征在于 所述的阻挡金属层由钼、钨或钽任一种金属材料制作。专利摘要本技术公开了一种具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器,包括依次层叠的N型金属层、N型层、铝镓铟磷有源区、P型层、P型金属层。所述的N型金属层由N型欧姆接触金属层、阻挡金属层和保护金属层层叠而成。本技术提出的三明治结构式的N型金属层,使N电极的可靠性提高,从而降低了器件失效概率,提高了器件可靠性。文档编号H01L33/14GK201975414SQ20102068710公开日2011年9月14日 申请日期2010年12月29日 优先权日2010年12月29日专利技术者吴质朴, 袁彤, 马学进 申请人:深圳市奥伦德科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有阻挡层的铝镓铟磷系化合物半导体发光器,包括依次层叠的N型金属层、N型层、铝镓铟磷有源区、P型层、P型金属层,其特征在于:所述的N型金属层由N型欧姆接触金属层、阻挡金属层和保护金属层层叠而成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吴质朴马学进袁彤
申请(专利权)人:深圳市奥伦德科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:94

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