包含氧化和络合化合物的组合物制造技术

本发明专利技术涉及一种包含氧化化合物和络合化合物的组合物，所述络合化合物具有下式的化学结构，其中Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３和Ｒ４选自Ｈ和任何有机侧链。氧化化合物可以是水溶液形式。络合化合物用于络合金属离子。金属离子可以存在于溶液中或与溶液接触的外部介质中。本发明专利技术可以用于清洁半导体底材。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于用于稳定包含氧化化合物的组合物的产品和方法的领域。
技术介绍
包含氧化化合物，如过氧化氢的化学溶液可在宽范围中应用，例如，作为纸浆应用中的漂白剂，牙齿漂白组合物或清洁剂。包含氧化化合物的化学溶液通常具有涉及溶液稳定性的问题。在纯形式时，水溶液在长的时间段内是稳定的。然而，一些金属离子在溶液中的存在导致氧化化合物的分解。因而，应该加入阻止这样的分解的稳定剂。稳定剂可以是，例如络合化合物，这样该络合化合物与金属结合，因此金属不再与氧化化合物反应。这样，氧化化合物的分解基本上被抑制，而溶液的使用时间得以增加。对于特定的应用，如半导体应用或化学试剂，氧化溶液必须符合非常严格的规格。在Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology(第4版)，vol.13，p.965中给出了稳定氧化化合物，更具体地，稳定过氧化氢溶液的概述。US4239643公开了一种用于纤维素纤维漂白的包含过氧化物的水溶液，其中过氧化物的稳定性由于碱金属多磷酸盐和碱金属二亚乙基三胺五亚甲基膦酸盐的引入而得到极大地增加。US3903244公开了一种过氧化物浓缩物本文档来自技高网...

【技术保护点】
包含氧化化合物和络合化合物水溶液的组合物，其中络合化合物具有如下式的化学结构：＊＊＊其中Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３和Ｒ４选自Ｈ和任何有机侧链。

【技术特征摘要】
US 2000-12-22 60/257,9281.包含氧化化合物和络合化合物水溶液的组合物，其中络合化合物具有如下式的化学结构 其中R1、R2、R3和R4选自H和任何有机侧链。2.权利要求1的组合物，其进一步包括一种碱性化合物。3.权利要求1和2的组合物，其中所述有机侧链包括脂族侧链、杂环侧链或芳族侧链。4.权利要求1至3的组合物，其中R3和R4是氢，而R1和R2是官能化的脂族侧链。5.权利要求1至4的组合物，其中所述络合化合物是DEHP、1-EMHP、2-EMHP、DMHP、PEPH、PMHP、ECMHP和ECEHP中的一种。6.权利要求1至5的组合物，其中所述氧化化合物是过氧化氢。7.权利要求2至6的组合物，其中所述碱性化合物包括无机或有机碱性化合物。8.权利要求7的组合物，其中所述碱性化合物选自氨和有机胺，优选为选自氢氧化四烷基铵、链烷醇胺、胆碱(氢氧化羟基三烷基铵)和胍化合物的有机胺。9.权利要求2至8的组合物，其中所述氧化化合物的量在0.001至30wt％之间。10.权利要求1至7任一项的组合物，其中所述络合剂的量在所述溶液的0.1至1000ppm之间。11.权利要求1至8任一项的组合物，其中所述碱性化合物的量在0.001至30wt％之间。12.权利要求1至8任一项的组合物，其中所述氧化化合物的量在0.001至95wt％之间。13.处理半导体底材的方法，其中所述半导体底材用...

【专利技术属性】
技术研发人员：R沃斯，P莫滕斯，A菲斯特，O多尔，B考尔比森，
申请(专利权)人：空气制品及化学品有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]