【技术实现步骤摘要】
本申请是国际申请PCT/US2009/045529于2011年1月26日进入中国国家阶段、申请号为200980129372.1、专利技术名称为夹具干燥设备和方法的专利技术专利申请的分案申请。相关申请的交叉引用本申请要求Christopher Schneller等于2008年5月28日递交的名称为″FIXTUREDRYING PROCEDURE AND APPARATUS″的美国临时专利申请序列号No.61/056,755的优先权和权益，通过引用将其说明书结合于此。
本专利技术的各实施方式涉及用于在已经清洗过制造夹具之后基本上干燥并减少干燥时间的设备和方法，优选为包括但不限于前端开口标准晶片盒或晶片运送器(FOUP)夹具的晶片承载器。本专利技术还可以用在要求加速干燥或去除流体的制成品、加工夹具和其它元件上。
技术实现思路
本专利技术的实施方式涉及用于清洗和干燥承载器的设备，其包括能够保持承载器的腔体，所述腔体包括所述腔体内部的承载器-内部喷射系统和承载器-外部喷射系统，所述承载器-外部喷射系统包括将流体喷射在承载器的外表面上的至少一个槽孔，并且所述内部喷射系统包括将...
【技术保护点】
一种用于清洗和干燥承载器的设备，该设备包括：腔体，腔体包括顶部壁、底部壁、多个侧壁和位于所述多个侧壁中的一个的门；所述腔体能够保持单个承载器；所述腔体包括所述腔体内部的承载器‑内部喷射系统和承载器‑外部喷射系统；所述承载器‑外部喷射系统包括将流体喷射在承载器的外表面上的至少一个槽孔；所述承载器‑内部喷射系统包括将流体喷射到承载器的内部的至少一个槽孔；该设备还包括至少一个加热系统，所述至少一个加热系统加热所述腔体的一个或多个壁，所述至少一个加热系统包括至少一个加热覆盖层，所述至少一个加热覆盖层位于所述腔体的一个或多个壁的内部或在所述腔体外部位于所述一个或多个壁上，或所述加热覆...
【技术特征摘要】
2008.05.28 US 61/056,7551.一种用于清洗和干燥承载器的设备，该设备包括：腔体，腔体包括顶部壁、底部壁、多个侧壁和位于所述多个侧壁中的一个的门；所述腔体能够保持单个承载器；所述腔体包括所述腔体内部的承载器-内部喷射系统和承载器-外部喷射系统；所述承载器-外部喷射系统包括将流体喷射在承载器的外表面上的至少一个槽孔；所述承载器-内部喷射系统包括将流体喷射到承载器的内部的至少一个槽孔；该设备还包括至少一个加热系统，所述至少一个加热系统加热所述腔体的一个或多个壁，所述至少一个加热系统包括至少一个加热覆盖层，所述至少一个加热覆盖层位于所述腔体的一个或多个壁的内部或在所述腔体外部位于所述一个或多个壁上，或所述加热覆盖层分别位于所述腔体的一个或多个壁的内部以及在所述腔体外部位于所述一个或多个壁上；和温度传感器，监测承载器的温度。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述腔体能够保持半导体晶片承载器。3.根据权利要求1所述的设备，其中所述腔体能够保持承载器盖。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述喷射系统彼此垂直地移动，以防止承载器移动，并且其中所述承载器-外部喷射系统还包括喷射杆，所述承载器-内部喷射系统还包括喷射杆。5.根据权利要求1所述的设备，其中所述喷射系统以扫描运动的方式振荡或来回移动。6.根据权利要求1所述的设备，还包括用于使承载器旋转的马达。7.根据权利要求1所述的设备，其中加热系统包括至少一个加热垫。8.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备设置在包括一个或多个超低微粒空气过滤器的微清洁环境内。9.根据权利要求1所述的设备，其中多个设备设置在室内。10.根据权利要求1所述的设备，其中所述承载器-外部喷射系统是至少...
【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯·施内勒尔，斯科特·罗伯茨，凯瑟琳·惠特克，凯温·弗格森，斯蒂芬·伊斯拉斯，乔·穆尔，吉姆·皮桑，
申请(专利权)人：空气制品及化学品有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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