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本发明公开了用于清洗和干燥承载器的设备和方法。设备包括：腔体。所述腔体包括所述腔体内部的承载器‑内部喷射系统和承载器‑外部喷射系统。该设备还包括至少一个加热系统，所述至少一个加热系统加热所述腔体的一个或多个壁，所述至少一个加热系统包括至少一...
该专利属于空气制品及化学品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过空气制品及化学品有限公司授权不得商用。

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