冷凝管的固定基座制造技术

本实用新型专利技术的冷凝管的固定基座用于夹持冷凝管，冷凝管的固定基座避开焊接方式连接，能有效防止冷凝管从焊接点漏水。本实用新型专利技术的冷凝管的固定基座包括第一夹持部和第二夹持部，通过第一夹持部与第二夹持部连接夹住冷凝管。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种冷凝管的固定基座。
技术介绍
随着半导体器件集成度的提高，元件之间或金属互连线之间的空间或浅沟隔离 STI的宽度变得更狭窄，即间隙的长宽比日益增大，这给无空隙地填充间隙带来困难。近年来，业界引入高密度等离子体技术，用绝缘材料无空隙地填充高长宽比的间隙。高密度等离子体化学气相淀积设备中的冷凝管用于淀积腔室的降温，该冷凝管利用11个固定基座固定在机台上。如图1所示，所述固定基座10呈L字形，所述冷凝管20 焊接在所述固定基座10上，所述固定基座10上设有安装孔11，使用螺钉12，通过该安装孔 11就能将所述冷凝管20固定在机台上。由于冷凝管是焊接到固定基座上的，在焊接过程中必然会损耗冷凝管，也就是说， 冷凝管的焊接点处在焊接过程中被损耗掉部分，该处的厚度小于其他位置的厚度；另外，冷凝过程中，冷凝管内会通入75度的乙二醇，75度的乙二醇对铜质冷凝管有腐蚀作用，因此， 冷凝管的焊接点处容易出现漏水现象。现有技术中，为解决冷凝管的焊接点处漏水的问题，采取的措施是增加冷凝管的厚度，但是，这种解决方法仍存在焊接点，其效果并不理想。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种冷凝管的固定基座，避开焊接方式连接冷凝管， 能有效防止冷凝管漏水。为了达到上述的目的，本技术提供一种冷凝管的固定基座，用于夹持冷凝管， 包括第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部与第二夹持部连接夹住冷凝管，所述第一夹持部和第二夹持部上设有与外部连接的安装部件。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夹持部的一端面设有半圆形孔，所述第二夹持部的一端面设有半圆形孔，所述第一夹持部的半圆形孔与所述第二夹持部的半圆形孔形成一圆孔，所述冷凝管放置在该圆孔内。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夹持部的半圆形孔和所述第二夹持部的半圆形孔的半径等于所述冷凝管的外径。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夹持部与第二夹持部通过螺丝连接。上述冷凝管的固定基座，其中，所述安装部件包括螺钉、设置在所述第一夹持部内的安装孔、以及设置在所述第二夹持部内的安装孔；所述第一夹持部的安装孔与所述第二夹持部的安装孔相通，且与所述螺钉相匹配。上述冷凝管的固定基座，其中，所述第一夹持部设有半圆形孔的端面呈台阶状，所述第二夹持部设有半圆形孔的端面呈台阶状，所述第一夹持部的台阶状端面与所述第二夹持部的台阶状端面相匹配。本技术冷凝管的固定基座采用第一夹持部和第二夹持部夹住冷凝管，再利用第一夹持部和第二夹持部上的安装部件与机台连接，连接冷凝管时，冷凝管没有焊接点，不损耗冷凝管，能有效解决冷凝管漏水问题；本技术冷凝管的固定基座中第一夹持部设有半圆形孔的端面和第二夹持部设有半圆形孔的端面呈台阶状，可增大固定基座的受力能力。附图说明本技术的冷凝管的固定基座由以下的实施例及附图给出。图1是现有技术中冷凝管的固定基座的结构示意图。图2是本技术冷凝管的固定基座的分解示意图。图3是本技术冷凝管的固定基座夹持冷凝管的示意图。具体实施方式以下将结合图2 图3对本技术的冷凝管的固定基座作进一步的详细描述。本技术冷凝管的固定基座包括第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和第二夹持部配合使用夹住冷凝管，所述第一夹持部和第二夹持部上设有与外部连接的安装部件。本技术冷凝管的固定基座采用第一夹持部和第二夹持部夹住冷凝管，再利用第一夹持部和第二夹持部上的安装部件与机台连接，连接冷凝管时，冷凝管没有焊接点，不损耗冷凝管，能有效解决冷凝管漏水问题。现以一具体实施例详细说明本技术冷凝管的固定基座参见图2和图3，本实施例冷凝管的固定基座包括第一夹持部310和第二夹持部 320 ；所述第一夹持部310的一端面设有半圆形孔311，该半圆形孔311的半径等于冷凝管20的外半径；所述第一夹持部310设有安装孔312 ；所述第二夹持部320的一端面设有半圆形孔321，该半圆形孔321的半径等于冷凝管20的外半径；所述第二夹持部320设有安装孔322 ；所述第一夹持部310与所述第二夹持部320配合使用时，所述第一夹持部310设有半圆形孔311的端面与所述第二夹持部320设有半圆形孔321的端面接触，所述第一夹持部310的半圆形孔311与所述第二夹持部320的半圆形孔321形成一圆孔，所述冷凝管 20放置在该圆孔内，所述第一夹持部310的安装孔312与所述第二夹持部320的安装孔322 相通；所述第一夹持部310与所述第二夹持部320通过螺丝330拧紧固定在一起，所述螺丝330与安装孔分设在所述圆孔的两侧。使用螺钉340连接固定基座与机台，所述第一夹持部310的安装孔312与所述第二夹持部320的安装孔322组合形成与所述螺钉340相匹配的安装孔； 所述螺钉340包括螺帽341和螺杆342，所述螺杆342的外表面上设有外螺纹343，所述螺钉340的螺杆342从所述第一夹持部310插入所述第二夹持部320，所述第一夹持部 310的安装孔312与所述第二夹持部320的安装孔322的内壁上设有与所述外螺纹343相匹配的内螺纹(图2中未示)，所述第一夹持部310的安装孔312呈T字形，与呈T字形的螺钉340相匹配；所述第一夹持部310设有半圆形孔311的端面呈台阶状，所述第一夹持部310设有安装孔312的区域的厚度Hl比其它区域的厚度大；所述第二夹持部320设有半圆形孔321的端面呈台阶状，所述第二夹持部320设有安装孔322的区域的厚度H2比其它区域的厚度小；所述第一夹持部310的台阶状端面与所述第二夹持部320的台阶状端面相匹配；所述第一夹持部310设有安装孔312的区域的厚度Hl比其它区域的厚度大，可增大所述第一夹持部310的受力能力。本实施例冷凝管的固定基座采用第一夹持部和第二夹持部夹住冷凝管，再利用安装孔和螺钉组成的安装部件与机台连接，连接冷凝管时不损耗冷凝管，能有效解决冷凝管漏水问题。权利要求1.一种冷凝管的固定基座，用于夹持冷凝管，其特征在于，包括第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部与第二夹持部连接夹住冷凝管，所述第一夹持部和第二夹持部上设有与外部连接的安装部件。2.如权利要求1所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夹持部的一端面设有半圆形孔，所述第二夹持部的一端面设有半圆形孔，所述第一夹持部的半圆形孔与所述第二夹持部的半圆形孔形成一圆孔，所述冷凝管放置在该圆孔内。3.如权利要求2所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夹持部的半圆形孔和所述第二夹持部的半圆形孔的半径等于所述冷凝管的外径。4.如权利要求1所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夹持部与第二夹持部通过螺丝连接。5.如权利要求1或2所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述安装部件包括螺钉、设置在所述第一夹持部内的安装孔、以及设置在所述第二夹持部内的安装孔；所述第一夹持部的安装孔与所述第二夹持部的安装孔相通，且与所述螺钉相匹配。6.如权利要求5所述的冷凝管的固定基座，其特征在于，所述第一夹持部设有半圆形孔的端面呈台阶状，所述第二夹持部设有半圆形孔的端面呈台阶状，所述第一夹持部的台阶状端面与所述第二夹持部的台阶状端面相匹配。专利摘要本技术的冷凝管的固定基座用于夹持冷本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种冷凝管的固定基座，用于夹持冷凝管，其特征在于，包括第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部与第二夹持部连接夹住冷凝管，所述第一夹持部和第二夹持部上设有与外部连接的安装部件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓义彬，李刚，奚晓明，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31