本实用新型专利技术实施例公开了一种夹具,包括:支撑架,其上设置有起吊件;至少三个,且可旋转地设置在所述支撑架上的提升杆(5),且至少一个所述提升杆(5)的顶端设置有操作端,所述提升杆(5)的底端设置有水平支撑部(51),所述提升杆(5)上设置有联动轮;与所述联动轮配合的同步传动件。本实用新型专利技术实施例中提供的夹具,可以在硅单晶生长结束后,将热场部件快速地从炉中取出,提高了对热场部件清扫的效率,同时,整个取出过程中,工人只需操作一下提升杆上的操作端即可,避免了现有技术中采用工人直接将热场部件取出所带来的安全隐患,提高了工人工作的安全性。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产设备制造
,更具体地说,涉及一种夹具。
技术介绍
在硅单晶的生长工艺中,硅单晶放置在硅单晶炉中,当生长结束后,需要将硅单晶 炉中的热场部件取出进行清扫,由于硅单晶生长结束后热场部件的残余温度达400°C,现有 的取出过程中,工人手工将热场部件取出,这样造成工人工作不安全,稍有不慎会造成烫伤 事件,另外在人工的操作过程中,由于高温烫伤而提前松手,造成热场部件碰撞,减少了热 场部件的使用寿命。为了保证工人在热场部件取出过程的安全,需要等待热场部件冷却很长时间后, 才将其取出,由于热场部件的残余温度很高,所以等待热场部件冷却的时间很长,不仅降低 了热场部件的取出效率,进而降低热场部件的清扫效率。为了提高热场部件的清扫效率,就必须在硅晶体生长结束后立即取出热场部件并 对其进行清扫,所以,设计一种硅单晶炉内热场部件的取出装置,可以方便取出热场部件, 同时防止工人烫伤是本领域技术人员目前设计的主要方向。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供了一种夹具,以实现快速地在硅单晶生长结束后将热 场部件取出,保证工人的操作安全。为了达到上述目的,本技术实施例提供如下技术方案一种夹具,包括支撑架,其上设置有起吊件;至少三个,且可旋转地设置在所述支撑架上的提升杆,且至少一个所述提升杆的 顶端设置有操作端,所述提升杆的底端设置有水平支撑部,所述提升杆上设置有联动轮;与所述联动轮配合的同步传动件。优选的,上述夹具中,所述支撑架为不锈钢圆筒,所述提升杆可旋转地设置在所述 不锈钢圆筒的筒壁上。优选的,上述夹具中,所述联动轮为齿轮,所述同步传动件为内齿圈。优选的,上述夹具中,所述联动轮为齿形带轮,所述同步传动件为同步带。优选的,上述夹具中,所述联动轮为链轮,所述同步传动件为同步链。优选的,上述夹具中,所述提升杆的数量为6个,且均勻地设置在所述支撑架上。优选的,上述夹具中,所述操作端为折弯部或者手柄。优选的,上述夹具中,所述提升架的水平支撑部上设置有定位杆,所述定位杆与所 述水平支撑部垂直。优选的,上述夹具中,所述起吊件包括吊环和吊绳,所述吊绳至少为3条,所述吊 绳的一端均勻地连接在所述支撑架上,另一端连接在所述吊环上。3优选的,上述夹具中,还包括升降机构,该升降机构包括支撑架和可升降设置在所 述支撑架上的横梁,所述横梁上设置有与所述吊环配合的吊钩。由上述技术方案可知,本技术实施例提供的夹具中,由于联动轮与同步传动 件配合,所以旋转其中一个提升杆,会导致其他的提升杆旋转。在工作的过程中,当硅单晶 生长完成后,将该夹具罩在热场部件上,提升杆处于热场部件和炉壁之间的缝隙中,旋转提 升杆的操作端,使得所有的提升杆旋转,旋转后,所有提升杆的底端的水平支撑部旋转到热 场部件的底部,然后通过起吊支撑架上的起吊件,实现将热场部件从硅单晶炉中取出,本实 用新型实施例中提供的夹具相当于一个机械手,通过对其进行操作,可以在硅单晶生长结 束后,将热场部件快速地从硅单晶炉中取出,提高了对热场部件清扫的效率,同时,整个取 出过程中,工人只需操作一下提升杆上的操作端即可,避免了现有技术中采用工人直接将 热场部件取出所带来的安全隐患,提高了工人工作的安全性。附图说明图1为本技术实施例提供的夹具的结构示意图;图2为图1的剖视结构示意图;图3为图1的俯视结构示意图;图4为本技术实施例提供的设置有升降结构上的夹具的结构示意图。具体实施方式为了更清楚地了解本技术中的技术方案,现在就申请文件中的技术名词进行 解释如下热场部件,指的是硅单晶炉内石墨加热器、石墨坩埚、石墨保温桶、石墨导流筒、石 墨电极、碳毡、碳碳复合材料坩埚等部件的统称。下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例,而不是全部 的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前 提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。本技术实施例公开了一种夹具,实现了快速地在硅单晶生长结束后将热场部 件取出,保证了工人的安全。请参考附图1-3,图1为本技术实施例提供的夹具的结构示意图;图2为图1 的剖视结构示意图;图3为图1的俯视结构示意图。本技术实施例提供的夹具,包括支撑架、提升杆5和同步传动件;其中支撑架,该支撑架上设置有起吊件,方便对整个夹具的起吊;可旋转地设置在所述支撑架上的提升杆5,所述支撑架的数量至少为3个,其中 上述的三个提升杆中至少有一个提升杆的顶端设置有操作端,如图1所示,提升杆5的顶端 设置有操作端,其中操作端可以为手柄或者折弯部53,方便了对提升杆5的旋转操作;上述 各个提升杆5的底端均设置有水平支撑部51,上述提升杆5上设置有联动轮;同步传动件与联动轮配合,进行同步联动。本技术实施例中提供的夹具中,在支撑架上可旋转地设置有提升杆5,提升杆5上均设置有联动轮,该夹具中,联动轮与同步传动件配合,操作提升杆5上的操作端,提升 杆5旋转,由于联动轮与同步传动件配合,所以提升杆5旋转,会导致其他的提升杆旋转。在 工作的过程中,当硅单晶生长完成后,将该夹具罩在热场部件上,提升杆处于热场部件和炉 壁之间的缝隙中,旋转提升杆5的操作端,使得所有的提升杆旋转,旋转后,所有提升杆的 底端的水平支撑部51旋转到热场部件的底部,然后通过起吊支撑架上的起吊件,实现将热 场部件从硅单晶炉中取出,本技术实施例中提供的夹具相当于一个机械手,通过对其 进行操作,可以在硅单晶生长结束后,将热场部件快速地从炉中取出,无需等待热场部件的 冷却,节省了大量的时间,提高了对热场部件清扫的效率,同时,整个取出过程中,工人只需 操作一下提升杆上的操作端即可,避免了现有技术中采用工人直接将热场部件取出所带来 的安全隐患,提高了工人工作的安全性。上述实施例中提供的夹具中,支撑架为不锈钢圆筒4,在不锈钢圆筒4的筒壁上设 置提升杆安装孔,将提升杆5可旋转地设置在提升杆安装孔中,支撑架作为整个夹具的支 架,对上述各个零部件起到提供支撑和安装空间,采用不锈钢圆筒作为支架提高了支撑架 的强度,筒状结构使得提升杆的安装更加可靠。在支撑架上设置有联动轮,联动轮和同步传动件配合进行传动,其中上述的联动 轮和同步传动件可以有很多种方式实现。联动轮可以为齿轮,齿轮设置在提升杆上,同步传 动件为内齿圈,通过内齿圈与各个提升杆上的齿轮啮合传动,达到操作提升杆上的操作端, 可以实现所有的提升杆旋转。上述的联动轮还可以为齿形带轮,同步传动件为同步带,各个 提升杆上安装有齿形带轮,通过齿形带轮与同步带配合进行同步传动,实现操作其中一个 提升杆,达到所有的提升杆的旋转,从而将热场部件夹住。上述的联动轮可以为链轮8,同步 传动件可以为同步链3,通过同步链3与链轮8的配合实现各个提升杆的同步旋转。设置在支撑架上的提升杆的数量不少于3个,如图1所示,提升杆5的数量为6个, 为了更稳定地实现对热场部件的取出,提升杆均勻地设置在支撑架上。在提升杆旋转到位后,各个提升杆5的底端的水平支撑部51支撑热场部件,本实用新 型实施例中在提升杆5的水平支撑部51上还设置有定位杆52,当本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种夹具,其特征在于,包括: 支撑架,其上设置有起吊件; 至少三个,且可旋转地设置在所述支撑架上的提升杆(5),且至少一个所述提升杆(5)的顶端设置有操作端,所述提升杆(5)的底端设置有水平支撑部(51),所述提升杆(5)上设置有联动轮; 与所述联动轮配合的同步传动件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:汤旋,
申请(专利权)人:浙江昱辉阳光能源有限公司,
类型:实用新型
国别省市:33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。