当前位置: 首页 > 专利查询>东南大学专利>正文

降压用耗尽型N型横向双扩散金属氧化物半导体管制造技术

技术编号:6656234 阅读:254 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种降压用耗尽型N型横向双扩散金属氧化物半导体管,包括:P型半导体衬底,在P型半导体衬底上设置有N型埋层,P型阱区,N型阱区,N型漂移区,在P型阱区表面靠左侧上设置有P型接触区、N型源区和N型沟道注入区,P型阱区内设有P型注入区,且P型注入区的左端边界位于N型源区的下方,P型注入区的右端边界与漏端N型漂移区相邻。P型接触区和多晶硅电极通过互连金属连线相连接作为栅极。该结构大幅度的降低了N型耗尽型横向双扩散金属氧化物半导体管的阈值电压。在电路应用中漏极金属连线直接连接至高压电源,栅极金属连线接地,源极金属连线直接连接低压电路,为低压电路提供低压电源。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及功率半导体器件领域,更具体的说,是关于一种适用于降压电路 的全隔离耗尽型高压N型横向双扩散金属氧化物半导体管的新结构。
技术介绍
功率半导体器件是电力电子系统进行能量控制和转换的基本电子元件,电力电子 技术的不断发展为半导体功率器件开拓了广泛的应用领域。以横向双扩散金属氧化物半导 体晶体管为代表的现代电力电子器件和相关产品在工业、能源、交通等用电的场合发挥着 日益重要的作用,是机电一体化设备、新能源技术、空间和海洋技术、办公自动化及家用电 器等实现高性能、高效率、轻量小型的技术基础。耗尽型横向双扩散金属氧化物半导体晶体管作为一种常开器件在大规模集成电 路中有着特殊的应用,为使耗尽型横向双扩散金属氧化物半导体晶体管更好地满足在高压 电路中作为降压器件为低压电路提供低压电源的功能,同时做到缩小器件面积,降低耗尽 型横向双扩散金属氧化物半导体晶体管的阈值电压至关重要。在相关技术中,很少有人关注耗尽型高压横向双扩散金属氧化物半导体管,传统 耗尽型高压横向双扩散金属氧化物半导体管的阈值电压仅仅依靠多晶硅栅极耗尽沟道注 入区,但由于耗尽能力的限制导致传统结构耗尽管的阈值电压分布在-1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种降压用耗尽型N型横向双扩散金属氧化物半导体管,包括:P型半导体衬底(1),在P型半导体衬底(1)上设置有N型埋层(2),在N型埋层(2)上设置有P型阱区(3),在P型阱区(3)的左右两侧分别设有构成PN结隔离的第一N型阱区(4)及第二N型阱区(19),在第一N型阱区(4)上设有第一N型欧姆接触区(21),在第二N型阱区(19)上设有第二N型欧姆接触区(22),在P型阱区(3)表面右侧设置有漏端N型漂移区(6),在漏端N型漂移区(6)表面上设置有N型漏区(10),在P型阱区(3)表面左侧设置有P型接触区(7)、N型源区(8)和N型沟道注入区(9),在N型沟道注入区(9)上方设置有栅氧化层(1...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙伟锋钱钦松朱奎英陆生礼时龙兴
申请(专利权)人:东南大学
类型:实用新型
国别省市:32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1