【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光学测量装置，特别涉及一种激光频移反馈轮廓测量装置。
技术介绍
轮廓测量已广泛应用于工业检测、模具生产以及目标探测等领域，成为了工业生产和科学研究中不可或缺的一种手段。为此，各种类型的轮廓测量仪陆续诞生，从测量原理来看，可以分为接触式和非接触式轮廓测量。其中非接触式轮廓测量又以光学轮廓测量为主。激光共聚焦扫描显微镜是一种常见的轮廓测量仪，它以激光器为显微镜系统的场光源，并且在结构上采用双针孔的共聚焦结构，使得物与像成共轭分布。只有焦点处的反射光才能通过针孔，为光电探测器所接收，焦点以外的反射光无法通过针孔，这样就很好地抑制了焦点以外的反射光、散射光的影响。通过对测量样品在平行于焦平面的测量平面内的二维扫描，就可以获得层面上的轮廓信息，再完成沿光轴方向不同深度的扫描，就可以获得测量物体的三维轮廓。本技术是在激光共聚焦扫描显微镜的基础上进行改进，进一步提高显微镜对反射光的采集灵敏度，使此装置实用范围更大。
技术实现思路
本技术是针对激光共聚焦扫描显微镜测量重点在反射光的捕捉的问题，提出了一种激光频移反馈轮廓测量装置，在激光共聚焦扫描显微镜的基础上进行改进...
【技术保护点】
１．一种激光频移反馈轮廓测量装置，包括激光器、３个准直透镜、分光镜、针孔、光电探测器、计算机，其特征在于，还包括锁相放大器、声光移频器以及其射频驱动，激光器出射的发散光束经过第一准直透镜后，平行光经过分光镜分成两束互相垂直的光，其中一束光沿原方向通过声光移频器后经过第三准直透镜汇聚到测量样品的表面，另一束垂直光经过第二准直透镜后汇聚于焦点位置的针孔，光电探测器接收焦点的光，将光强信号转换成电流信号再送入锁相放大器，射频驱动为声光移频器提供射频驱动，同时采集声光移频器的差频信号送入锁相放大器，锁相放大器将测量信号送入计算机。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：凌进中，马军山，周小勇，孙晶露，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：实用新型
国别省市：31
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