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本实用新型涉及一种激光频移反馈轮廓测量装置，激光器出射光束经透镜汇聚后形成近似平行光，再由分光镜分成两束光，其中一束光由准直透镜汇聚后透过放置在焦点位置的小孔照在光电探测器上，另一束光经过声光移频器后再由透镜汇聚到测量样品表面。若样品正好处...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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