本发明专利技术提供一种具有平面状UV光源的紫外光照射装置，在该光源中，UV光的照射强度能够在更宽的范围内进行微调。本发明专利技术的紫外光照射装置包括UV光源和保持该平面状UV光源的壳体。在UV光源中，多个等离子体细管相互平行地布置在电极支撑片上，在每一个等离子体细管中形成有UV荧光体层，并且，驱动电路将脉冲电压施加到设置在电极支撑片和等离子体细管阵列之间的电极对。控制电路控制要施加到电极对的脉冲电压的因子，以调节UV光的照射强度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具有平面状UV (紫外)光源的紫外光照射装置，尤其涉及具有相互平行地布置的多个等离子体细管的阵列作为UV光源的紫外光照射装置。
技术介绍
传统上，例如，广泛利用超高压汞灯、紫外荧光灯等作为用于紫外光照射装置的UV 光源。特别地，作为需要高照射强度的紫外光的半导体曝光设备的UV光源，通常采用超高压汞灯。另一方面，在医用紫外光照射装置的领域中，紫外荧光灯主要用作UV光源。此外， 在JP2004-350946A中公开了一种由放电室构成的平板型紫外荧光灯，该放电室是通过将相互对置的两个玻璃基板的外围部分密封而形成的。但是，将作为点光源的超高压汞灯或者作为线光源的紫外荧光灯用作UV光源的紫外光照射装置具有如下问题，即为了获得在能够照射紫外光的范围内具有均勻照射强度的紫外光，需要光学上复杂的构造。例如，超高压汞灯用作其UV光源的紫外光照射装置， 为了将来自点光源的紫外光转换为在能够照射UV光的范围内具有均勻照射强度的紫外光，需要具有将诸如反射器、透镜、扩散板和波长选择滤波器等光学部件复杂地进行组合的构造。另外，紫外荧光灯用作其UV光源的紫外光照射装置，为了将来自线光源的紫外光转换为在能够照射紫外光的范围内具有均勻照射强度的紫外光，需要具有这样的构造其中，多个紫外荧光灯相互平行地布置，并且，例如，将背面反射器和扩散板组合在一起。JP2004-350946A(US7241306)中描述的平板型紫外荧光灯用作其UV光源的紫外光照射装置，由于使用平面光源而不是线光源，所以不需要具有光学上复杂的构造。但是， 平板型紫外荧光灯在技术上难以形成大放电室，从而不能容易地增大尺寸。而且，由于平板型紫外荧光灯构造有相互对置的两个玻璃基板，所以它不具备挠性(flexibility)，从而不能构造UV光源的弯曲发射表面。此外，超高压汞灯或紫外荧光灯存在这样的问题，S卩不能在宽范围内对UV光的照射强度进行微调。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种具有平面状UV (紫外)光源的紫外光照射装置，在该光源中， 能够在更宽的范围内对UV光的照射强度进行微调。为了实现上述目的，根据第一专利技术的紫外光照射装置包括发射紫外光的紫外光源和保持该紫外光源的壳体，其中，所述紫外光源包括相互平行地布置的多个等离子体细管的阵列，在每一个等离子体细管中形成有UV荧光体层；挠性支撑片，其支撑多个等离子体细管的阵列；至少一个电极对，所述至少一个电极对设置在挠性支撑片和等离子体细管之间；驱动电路，其将脉冲电压施加到电极对；以及控制电路，其控制要由驱动电路施加到电极对的脉冲电压的因子。在第一专利技术中，多个等离子体细管的阵列用作UV光源，并且，可以由控制电路控制脉冲电压的因子，在每一个等离子体细管中形成有UV荧光体层。因此，能够在更宽的范围内对紫外光的照射强度进行微调。根据第二专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第一专利技术中，控制电路控制脉冲电压的频率和振幅中的至少一个因子，以调节从等离子体细管发射的紫外光的照射强度。在第二专利技术中，控制电路控制脉冲电压的频率、上升时间(rising time)和振幅中的至少一个因子。因此，能够在更宽的范围内对紫外光的照射强度进行微调。此外，根据第三专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第一或第二专利技术中， UV光源具有沿着附着于壳体的弯曲表面的挠性支撑片的弯曲发射表面。在第三专利技术中，挠性支撑片具有挠性。因此，即使紫外光照射装置的壳体被形成有弯曲表面，UV光源也可以沿着壳体的弯曲表面附着。因此，容易获得具有弯曲UV光发射表面的UV照射装置。根据第四专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第一或第二专利技术中，挠性支撑片包括反射层，该反射层将透过等离子体细管的后侧的光反射到前侧方向。在第四专利技术中，作为从等离子体细管发射的紫外光，不仅可以使用发射光，还可以使用从后侧反射到前方向的反射光。根据第五专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第二专利技术中，还包括与控制电路相关联的照射强度调节部件，其进行控制，以改变用于驱动等离子体细管的脉冲电压的频率。在第五专利技术中，由于可以通过改变脉冲电压的频率或脉冲间隔(pusle interval) 来改变每单位持续时间的放电发射的次数，所以可以容易地对紫外光照射强度进行微调。根据第六专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第一或第二专利技术中，多个电极对被分成多个组(block)，并且，紫外光照射装置还包括开关电路，该开关电路针对每一组来控制要施加到电极对中的至少一个电极的脉冲电压。在第六专利技术中，开关电路针对每一组来控制要施加到电极对中的至少一个电极的脉冲电压。因此，可以只在能够照射紫外光的范围内的任意范围中照射紫外光。从而，可以只在需要照射紫外光的范围中照射紫外光。根据第七专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第一或第二专利技术中，挠性支撑片可分离地附着到壳体。在第七专利技术中，由于挠性支撑片可分离地附着到壳体，所以紫外光源可以容易地附着到紫外光照射装置或从紫外光照射装置分离。此外，在准备多个在发射波长和尺寸方面相互不同的挠性支撑片的情况下，可以根据预期使用容易地更换紫外光源。根据第八专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第一或第二专利技术中，电极对设置在与等离子体细管的纵向方向基本上正交的方向上且与等离子体细管的下侧外表面接触，并且，UV光从与电极对相对的上侧表面发射。在第八专利技术中，电极对设置在与等离子体细管的纵向方向基本上正交的方向上且与等离子体细管的下侧外表面接触。因此，可以选择发光区域和非发光区域，并且，可以发射UV光，而没有诸如电极的任何阻碍物。从而，可以只在需要照射紫外光的范围中以高效率照射紫外光。根据第九专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第一或第二专利技术中，还包括与控制电路相关联的照射范围调节部件，其输出范围选择信号，以便将脉冲电压从驱动电路施加到所选择的电极对。在第九专利技术中，设置照射范围调节部件。因此，可以对紫外光的照射强度和能够照射紫外光的范围进行微调。根据第十专利技术的紫外光照射装置以这样的方式构造在第九专利技术中，等离子体细管的阵列包括针对每多个UV光发射等离子体细管布置的可见光发射等离子体细管。在第十专利技术中，容易视觉地确定照射UV光的地方。在本专利技术中，与下述情况相比可以在更宽的范围中调节紫外光的照射强度其中， 例如，超高压汞灯或紫外荧光灯用作紫外光源。此外，对施加脉冲电压的电极对的选择使得可以调节能够照射紫外光的范围。附图说明图1是示出根据本专利技术实施例1的紫外光照射装置的外观的示意图。图2是示出根据本专利技术实施例1的紫外光源的构造的透视图。图3是沿着图2中所示的紫外光源的线A-A截取的横截面图。图4是沿着图2中所示的紫外光源的线B-B截取的横截面图。图5是示出根据本专利技术实施例1的紫外光源的构造的示意图。图6是沿着图2中所示的具有另一构造的紫外光源的线B-B截取的横截面图。图7是示出根据本专利技术实施例1的用于对紫外光源进行驱动和点火(lighting) 的电路的基本构造的电路图。图8是示出通过电极连接器从图7中所示的用于对紫外光源进行驱动和点火的电路中的脉冲驱动电路施加到X电极和Y电极的每一个脉冲电压的定时的时序图。图9A和图9B均是示出根据本专利技术实施例1的紫外光源的挠性的示意图。图10是示出下述状态的横截面图其中本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种紫外光照射装置，包括发射紫外光的紫外光源和保持该紫外光源的壳体，其中：紫外光源包括：相互平行地布置的多个等离子体细管的阵列，在每一个等离子体细管中形成有紫外荧光体层；挠性支撑片，所述挠性支撑片支撑多个等离子体细管的阵列；至少一个电极对，所述至少一个电极对设置在挠性支撑片和等离子体细管之间；驱动电路，所述驱动电路将脉冲电压施加到电极对；以及控制电路，所述控制电路控制要由驱动电路施加到电极对的脉冲电压的因子。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：粟本健司，郭滨刚，四户耕治，篠田传，千木庆隆，西本哲朗，田中宽之，小林幹弘，
申请(专利权)人：筱田等离子有限公司，株式会社优美科思，
类型：发明
国别省市：JP
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