【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具有平面状UV (紫外)光源的紫外光照射装置，尤其涉及具有相互平行地布置的多个等离子体细管的阵列作为UV光源的紫外光照射装置。
技术介绍
传统上，例如，广泛利用超高压汞灯、紫外荧光灯等作为用于紫外光照射装置的UV 光源。特别地，作为需要高照射强度的紫外光的半导体曝光设备的UV光源，通常采用超高压汞灯。另一方面，在医用紫外光照射装置的领域中，紫外荧光灯主要用作UV光源。此外， 在JP2004-350946A中公开了一种由放电室构成的平板型紫外荧光灯，该放电室是通过将相互对置的两个玻璃基板的外围部分密封而形成的。但是，将作为点光源的超高压汞灯或者作为线光源的紫外荧光灯用作UV光源的紫外光照射装置具有如下问题，即为了获得在能够照射紫外光的范围内具有均勻照射强度的紫外光，需要光学上复杂的构造。例如，超高压汞灯用作其UV光源的紫外光照射装置， 为了将来自点光源的紫外光转换为在能够照射UV光的范围内具有均勻照射强度的紫外光，需要具有将诸如反射器、透镜、扩散板和波长选择滤波器等光学部件复杂地进行组合的构造。另外，紫外荧光灯用作其UV光源的紫外光照射装置，为了将来...
【技术保护点】
１．一种紫外光照射装置，包括发射紫外光的紫外光源和保持该紫外光源的壳体，其中：紫外光源包括：相互平行地布置的多个等离子体细管的阵列，在每一个等离子体细管中形成有紫外荧光体层；挠性支撑片，所述挠性支撑片支撑多个等离子体细管的阵列；至少一个电极对，所述至少一个电极对设置在挠性支撑片和等离子体细管之间；驱动电路，所述驱动电路将脉冲电压施加到电极对；以及控制电路，所述控制电路控制要由驱动电路施加到电极对的脉冲电压的因子。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：粟本健司，郭滨刚，四户耕治，篠田传，千木庆隆，西本哲朗，田中宽之，小林幹弘，
申请(专利权)人：筱田等离子有限公司，株式会社优美科思，
类型：发明
国别省市：JP
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