一种大尺寸准分子灯制造技术

本发明专利技术公开了一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，所述准分子灯本体上具有密封放电容器的一端设有密封部，且准分子灯本体的另一端设有端头部，所述密封部和发光部构成发光管，所述发光部的外表面配置电镀金箔的外部电极，且发光部的内部配置网状内部电极，所述外部电极采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极的两端与埋设在密封部内部的金属箔连接并由密封部的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线。本发明专利技术可以实现大功率准分子光源的设计和生产，长度尺寸可以根据具体应用设计调整。

Large size excimer lamp

The invention discloses a large size excimer lamp, including excimer lamp body, the excimer lamp body has one end sealed discharge device is provided with a sealing part, and the other end is provided with an end head excimer lamp body, the sealing portion and a light emitting unit composed of light tube, the outer electrode configuration of the outer surface of gold plating the light-emitting portion, the internal configuration network internal electrode and the light-emitting portion, and the external electrode used in high UV quartz and gold plating show covering around the luminous tube and extends along the axial direction, the inner electrode from inside the light-emitting tube along the axis of the quartz tube rod and tube support center configuration the quartz tube winding molybdenum network, the two ends of the internal electrodes and buried in the sealing part of the internal metal foil connection by the sealing part of the glass support, the other end is connected with the external lead of the metal foil. The invention can realize the design and production of the high-power excimer light source, and the length size can be adjusted according to the specific application design.

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸准分子灯
本专利技术涉及准分子灯
，具体为一种大尺寸准分子灯。
技术介绍
随着科技的发展，特别是半导体，液晶，光伏等产业的发展，产生了新的工业需求，液晶面板，半导体晶片，光伏硅片逐渐大型化，批量化生产，需要在工艺处理中使用紫外线进行清洁，刻蚀等处理，并且需要实现灯的长寿命化。因此，准分子灯作为一种为液晶面板基板，半导体晶片，光伏硅片等进行清洁，蚀刻等基板处理的先进技术手段而受到关注。准分子灯作为主要放射波长200nm以下的真空紫外光的光源，已被用于多种用途中。目前，现有技术中的准分子灯，一般由发光部，外部电极，内部电极构成。发光管由在内部封入有发光气体的发光部和在所述发光部的两端部形成的密封部构成，外部电极配置在所述发光部的外表面上，内部电极配置在所述发光部的内部。但是，市面上现有的准分子灯在设计和生产方面，都是小尺寸，灯体设计复杂，且供电方式不灵活，不利于工业现场使用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种大尺寸准分子灯，可以实现大功率准分子光源的设计和生产，经样品测试可以实现最大500W的功率，波峰在172nm，光源表面光照强度可达40mW/cm2，寿命超过3000小时，长度尺寸可以根据具体应用设计调整，解决了上述
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，所述准分子灯本体上具有密封放电容器的一端设有密封部，且准分子灯本体的另一端形成有作为排气端头余部的端头部，所述密封部和发光部构成发光管，所述发光管采用石英玻璃制成，所述发光部的外表面配置电镀金箔的外部电极，且发光部的内部配置网状内部电极，所述外部电极采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极的两端与埋设在密封部内部的金属箔连接并由密封部的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线，所述外部引线从密封部的端部向外部引出并与接口连接。优选的，所述密封部由将构成发光管的石英玻璃管的端部加热并压扁而形成的压紧密封部构成。优选的，所述发光部内封有氙气作为受激发光气体。优选的，所述外部电极的端部从发光部延伸并卷绕在发光部的密封部侧的根部上，且外部电极的端部至少延及外径从发光部朝着密封部逐渐变小的缩颈部的存在。优选的，所述内部电极通过采用封接钼片实现密封压封。与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：1、本专利技术通过设置将准分子灯本体的外部采用导电性能良好且不易氧化的电镀金箔制作外部电极，可根据不同应用需求沿着灯管轴向，按工艺要求以多条1-8毫米不同弧宽沿着轴向涂在高透石英管外层，两端与外电接触处可以加宽或者涂满。此外，外部电极重量轻而均匀，整个涂层厚度低于0.08毫米，几乎不增加灯管直径，最大限度的控制了安装尺寸，减少了工程造价与安全系数，并且不会对石英管造成多余应力；坚固，导电性能好，保证紫外光均匀利用。2、本专利技术通过由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑内部电极，石英管既有良好的绝缘性又有良好的透光性，保证了内部电极的在准分子灯本体的轴心线，确保紫外光的均匀的法向发射。此外，内部电极通过封接钼片结构实现密封压封，保证了灯管腔体的气密性，还通过外部引线与接口连接，采用标准接口方式，方便现场使用。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中：1-放电容器，2-密封部，3-端头部，4-发光部，5-外部电极，6-内部电极，7-外部引线，8-接口。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，本专利技术提供一种大尺寸准分子灯技术方案：一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，所述准分子灯本体上具有密封放电容器1的一端设有密封部2，且准分子灯本体的另一端形成有作为排气端头余部的端头部3，所述密封部2和发光部4构成发光管，所述发光管采用石英玻璃制成，所述密封部2由将构成发光管的石英玻璃管的端部加热并压扁而形成的压紧密封部2构成，所述发光部4内封有氙气作为受激发光气体，所述发光部4的外表面配置电镀金箔的外部电极5，且发光部4的内部配置网状内部电极6，所述外部电极5采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述外部电极5的端部从发光部4延伸并卷绕在发光部4的密封部2侧的根部上，且外部电极5的端部至少延及外径从发光部4朝着密封部2逐渐变小的缩颈部的存在，所述内部电极6由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极6通过采用封接钼片实现密封压封，所述内部电极6的两端与埋设在密封部2内部的金属箔连接并由密封部2的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线7，所述外部引线7从密封部2的端部向外部引出并与接口8连接。通过形成这样的结构，在上述缩径部中，外部电极5与内部电极6之间的距离比其它部分接近，并且与在该缩径部的内部形成的微小间隙相当的部分是电介质接近内部电极6的部位，外部电极5与内部电极6之间的电位差变得极小，所以容易经由电介质发生放电，使准分子灯良好地启动。另外，在发光管的两端部形成密封部2且具有外部引线7的准分子灯，仅在一端部形成密封部2，在该情况下，只要形成使外部引线7从该一端部的密封部2突出的结构即可。工作原理：通过设置将准分子灯本体的外部采用导电性能良好且不易氧化的电镀金箔制作外部电极5，可根据不同应用需求沿着灯管轴向，按工艺要求以多条1-8毫米不同弧宽沿着轴向涂在高透石英管外层，两端与外电接触处可以加宽或者涂满。此外，外部电极5重量轻而均匀，整个涂层厚度低于0.08毫米，几乎不增加灯管直径，最大限度的控制了安装尺寸，减少了工程造价与安全系数，并且不会对石英管造成多余应力；坚固，导电性能好，保证紫外光均匀利用，通过由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑内部电极6，石英管既有良好的绝缘性又有良好的透光性，保证了内部电极6的在准分子灯本体的轴心线，确保紫外光的均匀的法向发射。此外，内部电极6通过封接钼片结构实现密封压封，保证了灯管腔体的气密性，还通过外部引线7与接口8连接，采用标准接口8方式，方便现场使用，在晶圆蚀刻，紫外固化、材料沉积、薄膜制备、材料表面改性和污染控制等领域应用价值巨大。如以上所说明的那样，由于在发光管的发光部4的外表面配置的外部电极5的端部延伸并卷绕在该发光部4的密封部2侧的根部上，所以在从发光部4到密封部2的外径逐渐变小的缩径部的表面上存在外部电极5，该外部电极5与发光部4内的内部电极6物理性地接近，电位变得接近，所以在该内部电极6与外部电极5之间经由电介质(发光管)容易发生放电，由此灯的启动性大幅改善，即使将灯电压抑制得较低也能得到良好的启动性。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，其特征在于：所述准分子灯本体上具有密封放电容器(1)的一端设有密封部(2)，且准分子灯本体的另一端形成有作为排气端头余部的端头部(3)，所述密封部(2)和发光部(4)构成发光管，所述发光管采用石英玻璃制成，所述发光部(4)的外表面配置电镀金箔的外部电极(5)，且发光部(4)的内部配置网状内部电极(6)，所述外部电极(5)采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极(6)由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极(6)的两端与埋设在密封部(2)内部的金属箔连接并由密封部(2)的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线(7)，所述外部引线(7)从密封部(2)的端部向外部引出并与接口(8)连接。

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，其特征在于：所述准分子灯本体上具有密封放电容器(1)的一端设有密封部(2)，且准分子灯本体的另一端形成有作为排气端头余部的端头部(3)，所述密封部(2)和发光部(4)构成发光管，所述发光管采用石英玻璃制成，所述发光部(4)的外表面配置电镀金箔的外部电极(5)，且发光部(4)的内部配置网状内部电极(6)，所述外部电极(5)采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极(6)由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极(6)的两端与埋设在密封部(2)内部的金属箔连接并由密封部(2)的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线(7)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏金飞，姜汉兵，
申请(专利权)人：上海开若纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31