准分子放电灯制造技术

提供一种能够缓和由于外侧电极的固定方法而发生的应力集中、能够可靠地得到期望的灯寿命的准分子放电灯。一种准分子放电灯，具备在内部封入有发光气体、且形成有经由缩径部而与管状的发光部的一端连续的密封部的发光管，在该发光管的外周面配设有网状的外侧电极，该准分子放电灯构成为，外侧电极的一端部经由在密封部的外表面设置的外侧电极固定用部件而被固定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如在光清洁处理或杀菌处理等中使用的准分子放电灯。
技术介绍
近年来，作为例如光清洁处理装置或杀菌处理装置等各种装置的光源而使用准分子放电灯。作为准分子放电灯，例如广泛地使用在由具有透光性的电介质材料构成的发光管的外表面配设电极(外侧电极)、在发光管的内部配置内侧电极而成的结构(例如参照专利文献1)。图6是概略地表示以往的准分子放电灯的一例的结构的立体图。图7是将图6所示的准分子放电灯的主要部的结构放大表示的长度方向剖视图。该准分子放电灯具备在内部封入有发光气体的发光管60。在发光管60的一个端部形成有密封部63。密封部63例如是埋设金属箔68并气密密封的所谓箔密封构造(例如夹封(pinch seal)构造)，经由弯曲的缩径部62而与圆管状的发光部61的另一端连续。此外，在发光管的另一个端部，设有末端(tip)部65，该末端部65是用来在灯的制造过程中将发光管60内排气的排气路径的残留部。在发光管60的外表面，以与发光管60的外表面密接的状态配设有外侧电极80。外侧电极80例如由通过具有导电性的多根金属细线形成的网状电极构成。此外，在发光管60的内部，以沿着发光管的长度方向延伸的状态配置有内侧电极70。内侧电极70由其主要部分卷绕为螺旋状而形成的线圈电极构成，另一端部位于末端部65内，一端部与埋设在密封部63中的金属箔68电连接。金属箔68与比发光管60的另一端更向外方突出而延伸的外部引线75电连接。在这样的结构的准分子放电灯中，外侧电极80被固定成不会随便移动。对外侧电极80的固定方法具体地说明如下，在发光管60的外表面上的缩径部62与密封部63间的边界部分附近，卷绕例如软Ni线等金属线85，由此将外侧电极80的一端部相对于发光管60固定。专利文献1：特开2014－154274号公报但是，在上述结构的准分子放电灯中，密封部63通过将构成发光管60的例如由石英玻璃形成的发光管形成材料的端部加热并用钳子(Pincher)压扁而形成。此时，发光管形成材料在被加热后急冷，所以在密封部残留因温度带来的应变(热应变)。此外，在产生真空紫外光的准分子放电灯中，在点灯中对发光管60的内面照射波长较短的真空紫外光，结果除了上述应变以外还积蓄紫外线应变。特别是，在发光管60的缩径部62，由于构成发光管60的玻璃的变形较大，所以热应变容易残留，并且在缩径部62所处的区域中也在内侧电极70与外侧电极80之间发生放电，发生因被照射真空紫外光引起的紫外线应变，所以应变的残留或积蓄较显著。在这样的容易残留或积蓄应变的区域中，如果如以往那样用卷绕Ni线等金属线85的方法将外侧电极80固定，则在该区域中容易发生应力集中，有发光管60有可能在规定的寿命前损坏的问题。
技术实现思路
本专利技术是基于以上那样的情况而做出的，目的是提供一种能够缓和由外侧电极的固定方法引起的应力集中、能够可靠地得到期望的灯寿命的准分子放电灯。本专利技术的准分子放电灯，具备在内部封入有发光气体、且形成有经由缩径部而与管状的发光部的一端连续的密封部的发光管，在该发光管的外周面配设有网状的外侧电极，其特征在于，上述外侧电极的一端部经由在上述密封部的外表面设置的外侧电极固定用部件而被固定。此外，本专利技术的准分子放电灯，具备在内部封入有发光气体、且形成有经由缩径部而与管状的发光部的一端连续的密封部的发光管，在该发光管的外周面配设有网状的外侧电极，其特征在于，上述外侧电极的一端部在位于上述密封部的外表面的状态下，被使该外侧电极的一端部与该密封部的外表面接触的保持部件保持固定。在本专利技术的准分子放电灯中，上述外侧电极固定用部件可以由安装于上述密封部的基础部件构成。在本专利技术的准分子放电灯中，构成为外侧电极延伸到与容易积蓄在灯的制造过程中发生的热应变及因放电带来的紫外线应变的缩径部相比靠发光管的管轴方向外方侧的位置，外侧电极的一端部在密封部上的位置处被固定。因而，根据本专利技术的准分子放电灯，能够减小作用于缩径部的机械应力，能够避免在缩径部引起应力集中。此外，能够成为外侧电极位于从缩径部的外表面离开的位置的状态，所以能够抑制缩径部的真空紫外光的发生而缓和紫外线应变积蓄到缩径部的情况。结果，能够可靠地防止灯寿命末期的灯损坏，能够可靠地得到期望的灯寿命。附图说明图1A是表示本专利技术的准分子放电灯的一例的结构的概略的俯视图。图1B是表示图1A的A－A线截面的一部分的放大剖视图。图2A是表示本专利技术的准分子放电灯的另一例的结构的概略的俯视图。图2B是将图2A所示的准分子放电灯以省略了一部分的状态表示的、从长度方向一端侧外方观察的侧视图。图2C是表示图2A中的B－B线截面的一部分的放大剖视图。图3是表示本专利技术的准分子放电灯的再另一例的结构的一部分的放大剖视图。图4是将本专利技术的准分子放电灯的再另一例的结构的概略以省略了一部分的状态表示的从长度方向一端侧外方观察的侧视图。图5是表示本专利技术的准分子放电灯的再另一例的结构的一部分的放大剖视图。图6是概略地表示以往的准分子放电灯的一例的结构的立体图。图7是将图6所示的准分子放电灯的主要部的结构放大表示的长度方向剖视图。标号说明10 发光管11 发光部12 缩径部13 密封部15 末端部18 金属箔20 内侧电极21 线圈状部分22 一方的引线部分23 另一方的引线部分25 外部引线30 外侧电极31 网状电极形成部件32 金属单线部分35 布线40 一方的基础部件41 另一方的基础部件42 槽部45 电极固定用线材(Ni线)50 保持部件55 夹子部件56 夹持部57 连结部60 发光管61 发光部62 缩径部63 密封部65 末端部68 金属箔70 内侧电极75 外部引线80 外侧电极85 金属线C 发光管的管轴具体实施方式以下，对本专利技术的实施方式详细地说明。<第1实施方式>图1A是表示本专利技术的准分子放电灯的一例的结构的概略的俯视图。图1B是表示图1A的A－A线截面的一部分的放大剖视图。该准分子放电灯具备例如由合成石英玻璃等电介质材料构成的具有紫外线透射性的发光管10。发光管10具有圆管状的发光部11、和经由缩径部12而与该发光部11的一端连续的密封部13。在发光管10的另一端，形成有末端部15，该末端部15是用来在灯的制造过程中将发光管10内排气的排气路径的残留部。密封部13是将金属箔18埋设并气密密封的所谓箔密封构造，例如通过将构成发光管10的发光管形成材料的端部加热并用钳子压扁而形成(夹封构造)。这里，缩径部12在将发光管形成材料的端部压扁密封时形成，具有从发光部11朝向密封部13连续的斜面，以使发光管10的直径(外径)随着朝向密封部13而逐渐减小。在缩径部12，发光管10的内壁随着朝向密封部13而向后述的内侧电极20接近。在发光管10的两端部的各个端部，设有例如由无机绝缘性的陶瓷(例如氧化铝)等构成的筒状的基础部件40、41。基础部件40、41例如通过无机粘接剂相对于发光管10固定。在基础部件40、41的外周面，形成有遍及周向的全周延伸的槽部42。在发光管10的内部封入有发光气体，并且内侧电极20以沿着发光管10的管轴C延伸的方式配置。作为发光气体，例如使用氙气(Xe)、氩气(Ar)、氪气(Kr)等通过准分子放电形成准分子本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子放电灯，具备在内部封入有发光气体、且形成有经由缩径部而与管状的发光部的一端连续的密封部的发光管，在该发光管的外周面配设有网状的外侧电极，其特征在于，上述外侧电极的一端部经由在上述密封部的外表面设置的外侧电极固定用部件而被固定。

【技术特征摘要】
2015.02.04 JP 2015-0201311.一种准分子放电灯，具备在内部封入有发光气体、且形成有经由缩径部而与管状的发光部的一端连续的密封部的发光管，在该发光管的外周面配设有网状的外侧电极，其特征在于，上述外侧电极的一端部经由在上述密封部的外表面设置的外侧电极固定用部件而被固定。2.一种准分子放电灯，具备...

【专利技术属性】
技术研发人员：今村笃史，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP