受激准分子灯制造技术

提供一种有效利用照射的紫外线，不仅能够提高光触媒的处理效率，而且即使在作为放电气体使用氙气的情况下，点亮性能也良好的受激准分子灯。将在气密密封放电气体的放电管（2）中形成放电空间（3）的至少一部分形成为圆筒空间的同时，具备配置在该中心一侧上的中心电极（4A）和配置在外表面上的外表面电极（4B），外表面电极（4B）卷绕在形成有沿着一个方向连续的起伏的导电性网（14）上承载成为光触媒的锐钛矿型氧化钛（16）的多孔质光触媒片（111），以该起伏与放电管（2）的外表面接触的方式设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过电介质势垒放电照射紫外线的受激准分子灯，特别涉及通过光触媒作用进行净化处理的在空气净化器和净水器中使用的理想的受激准分子灯。
技术介绍
作为光触媒具有优异功能的锐钛矿型氧化钛希望应用于空气净化器和净水器等中，通过照射紫外线呈现光触媒活性，特别在波长小于等于320nm的UVB (280 315nm)区域上具有光触媒活性的峰值。因此，虽然进行用紫外线灯照射紫外线的方法，但因为一般的紫外线等使用水银，所以环境负荷大。另外，近年，还开发了紫外线LED，但不仅价格高，而且还存在不能得到足够的光强的问题。因此，关注不使用水银可以进行紫外线发光的受激准分子灯，还提出了在设置于受激准分子灯的放电管的外侧上的透明电极的表面上叠层形成光触媒层的除臭、杀菌用的紫外线灯(参照专利文献I)。如果采用该方案，因为所照射的紫外线透过透明电极照射在光触媒层上，所以光触媒被激活，能够对与之接触的空气进行除臭、杀菌。但是，透明电极一般对紫外光的透过率低，作为有代表性的透明电极的掺锡氧化铟膜(ITO)即使对可见光透明，因为对激活光触媒的UVB (280 315nm)区域的紫外光不透明，所以即使在透明电极的表面上形成光触媒，也绝不可能得到如专利文献I所述那样的效果。 因此，紫外线照射用的受激准分子灯如专利文献2所示那样，不得不在放电管的两侧相对位置上设置一对电极，从电极间隙照射紫外线(专利文献2:图2)，或者使用将金属线等制成网状的网状电极，从金属线间隙照射紫外线(专利文献2:图3)，因为紫外线都在电极的不透明部分上受到遮挡，所以存在光的利用效率低的问题。专利文献1:特开2002-150997号公报专利文献2:特开2010-163295号公报
技术实现思路
因而，本专利技术的技术课题在于提供一种有效地利用所照射的紫外线，不仅能够提高光触媒的处理效率，而且即使在使用氙气的情况下，点亮性能也优异的受激准分子灯。为了解决上述课题，以隔着在气密密封放电气体的放电管中形成的放电空间的方式将一对电极配置在其外侧，通过在该电极间施加高频电压，在上述放电空间内产生电介质势垒放电而照射紫外线，上述受激准分子灯的其特征在于:在将上述放电空间的至少一部分形成为圆筒空间的同时，上述一对电极由配置在圆筒空间的中心一侧的中心电极和配置在外周一侧的外表面电极组成，该外表面电极通过卷绕形成了多个微细透孔的导电性网上承载有光触媒的多孔质光触媒片，而设置在上述放电管的外表面。如果采用本专利技术，则在中心电极和外表面电极之间施加高频电压,在放电空间上产生电介质势垒放电，在设置于放电管的外表面上的外表面电极上照射紫外线。外表面电极因为由让导电性网承载成为光触媒的锐钛矿型氧化钛的多孔制光触媒片组成，所以其内侧承载的光触媒在受到从放电管照射的紫外线被激发的同时，承载在网的微细透孔的周边上的光触媒被透过该透孔的紫外线激发，因为透过微细流路的紫外线在其外侧开口部上发生衍射现象，所以被多孔质光触媒片的外侧承载的光触媒也受到激发。因而，从放电管照射的紫外线被外表面电极遮挡的光，透过微细流路的光因为其几乎全部都激发由外表面电极承载的光触媒，所以光的另一效率极高，而且，在外表面电极上承载的几乎全部的光触媒受到激发。因而，通过将涉及本专利技术的受激准分子灯配置在水和空气等的被处理流体的流路中，在被处理流体接触外表面电极的表面时，与受到紫外线激发的光触媒接触进行净化处理。另外，如果外表面电极形成沿着一个方向连续的波浪形的起伏，则因为以该起伏与放电管的外表面线接触的方式被设置，所以在与放电管接触的部分和没有形成不接触的部分的部分之间形成间隙。在这种情况下，因为被处理流体通过流过该间隙而受到净化处理，所以净化处理效率提高。进而，如果 让外表面电极与放电管的外表面线接触，则因为形成在外表面电极和中心电极之间的电场集中在与放电管线接触的部分上，所以容易弓I起绝缘破坏，因而，在使用作为放电气体难以点亮的氙气的情况下，不施加大的电能也能够点亮。附图说明图1是表示涉及本专利技术的受激准分子灯的管轴方向剖面图。图2是其外观图。图3是该管轴正交剖面图。图4是多孔质光触媒片的外观图。图5是表示多孔质光触媒片的制造方法的说明图。图6是表示使用状态的说明图。图7是表示其他的实施方式的管轴正交剖面图。图8是进一步表示其他实施方式的管轴方向剖面图。图9是其外观图。图10是进一步表示其他实施方式的管轴方向剖面图。符号说明1:受激准分子灯；2:放电管；3:放电空间；4A、4B:电极；11:多孔质光触媒片；12:钛片；14:钛网(导电性网)；16:锐钛矿型氧化钛；20:光触媒层。具体实施方式本专利技术为了实现有效利用照射的紫外线，不仅能够提高光触媒的处理效率，而且即使在使用氙气的情况下也提高点亮性能的目的，在以隔着在气密密封放电气体气的放电管上形成的放电空间的方式将一对电极配置在其外侧上，通过在该电极间施加高频电压在上述放电空间内产生电介质势垒放电照射紫外线的受激准分子灯中，在将上述放电空间的至少一部分形成为圆筒空间的同时，上述一对电极由配置在圆筒空间的中心一侧上的中心电极和配置在外周一侧上的外表面电极组成，该外表面电极卷绕使形成有多个微细透孔的导电性网承载光触媒的多孔质光触媒片，设置在放电管的外表面上。实施例1图1 图3所示的本例子的受激准分子灯I在以隔着形成在由将放电气体气密密封的石英玻璃组成的放电管2中的放电空间3的方式将一对电极4A以及4B配置在其外侧上,通过在该电极4A以及4B之间从电源5施加高频电压，在上述放电空间3内产生电介质势垒放电。放电空间3在至少将一部分形成为圆筒空间的同时,上述一对电极4A以及4B由配置在圆筒空间的中心一侧上的中心电极4A和配置在外面一侧上的外表面电极4B组成。中心电极4A将其两端边缘6a、6b形成为如刀口那样尖锐的带板形，用作为电介质的石英玻璃7覆盖并配置在放电管2的中心。另外，外表面电极4B用在一个方向上连续形成波浪的起伏的多孔质光触媒片11形成，以其起伏与放电管2的外表面线接触的方式卷绕设置，在放电管2的表面上在和外表面电极4B之间形成沿着其管轴方向延伸的沟道形的间隙8……。多孔质光触媒片11如图4 图5所示那样，在从钛片12的单面或者双面采用非周期性的图案实施蚀刻处理形成贯通正反面的多个微细流路13的具有非周期性海绵结构的钛网(导电性网)14的表面上，由阳极氧化膜形成氧化钛基础15，在该氧化钛基础15上烧结形成成为光触媒的锐钛矿型氧化钛16。 图5是表示这种多孔质光触媒片11的制造方法的说明图。首先，进行在钛片12上形成微细流路13的蚀刻处理。蚀刻处理包含以下步骤:在压延纯钛形成的钛片12的正反两面上涂抹光敏抗蚀剂17的涂抹步骤(图5 (a));在光敏抗蚀剂17之上重叠形成有非周期性图案的屏蔽膜18、18进行曝光的曝光步骤(图5 (b ;曝光后，洗净抗蚀剂的未感光部分，使经过感光的部分残存在钛片12的表面上的洗净步骤(图5 (c));将用抗蚀剂17罩上非周期性网状图案的钛片12浸泡在蚀刻液中，通过从正反两面侵蚀到钛片12的厚度一半，形成贯通正反的多个微细流路13…浸泡步骤(图5 (d))。这样，从钛片12的两面实施蚀刻处理，因为在其屏蔽膜18的图案上没有周期性，所以从钛片12的正本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：森户祐幸，芹泽和泉，小林刚，盐谷幸男，安田诚，新津康司，藤岛昭，
申请(专利权)人：优维克斯股份有限公司，株式会社奥珂制作所，
类型：
国别省市：